平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备制造技术

本发明专利技术公开了一种平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，在炉体的炉腔内至少分隔有加热腔、烘烤腔和回风通道，在加热腔和烘烤腔之间设置有滤清布风组件；炉体上的预热补风管和回风通道均通向加热腔，炉腔热风排放管与烘烤腔和/或回风通道相连通；门扇组件包括若干相互平行设置的门扇，每一门扇由对应的门扇启闭驱动装置驱动，门扇对应有门楣吸管；滤清布风组件包括安装于支架上的滤清器和布风器；门扇余热回收管和炉腔热风排放管通过换热室中的换热器通向排放风机；预热补风管与换热室的腔室连通，换热室的腔室还设有空气吸入口。该烘烤设备不仅能有效避免炉腔中有机挥发物的不良积累，而且能有效利用排放热能，减少炉腔温度波动，避免环境污染。避免环境污染。避免环境污染。

【技术实现步骤摘要】
平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备


[0001]本专利技术涉及平板显示器所用的玻璃基板制作设备，尤其涉及一种用于玻璃基板表面涂布光阻剂固化用烘烤箱炉。

技术介绍

[0002]玻璃基板是平板显示产业的关键基础材料，玻璃基板本身性能及品质表现与平板显示的分辨率、成像效果、厚度、重量等基础指标息息相关，因此对玻璃基板的性能要求越来越高，尤其在表面缺陷的要求上就更为严格；电子信息显示产品，诸如手机、PDA、MP3、GPS、平板电脑等都离不开平板显示器。
[0003]平板显示器玻璃基板表面缺陷要求极为严格，尤其是表面颗粒超标，污染基板玻璃表面的10um以下的杂质颗粒超标会造成面板生产中导电膜破及短路现象，严重影响玻璃基板的性能及成品率。为了制造平板显示器必须在平板状玻璃基板表面形成高精度的微细图案，虽然玻璃基板的生产工艺各有不同，而在玻璃基板上涂布光阻剂并使之固化总是生产工艺中的重要工序，而玻璃基板表面涂布光阻并使之固化是由专门的烘烤设备来完成的，以通过烘烤将玻璃表面的光阻有机溶剂去除使光阻固化。
[0004]现有的玻璃基板烘烤设备主要由烘烤箱体和玻璃卡架组成，结构比较简单，因而存在一些明显不足，直接影响玻璃基板性能指标的稳定和基板合格率。首先，现有烘烤炉在烘烤过程中玻璃基板表面的光阻剂挥发大量溶剂会导致炉腔污染而附着颗粒物质，进而造成热风循环不畅并加剧基板污染，随着挥发溶剂在炉腔中的积累加重，基板污染风险变得越来越大。第二，难以对烘烤热风洁净度形成有效管控，为了减少炉腔腔内挥发溶剂的积累而造成浓度超标，必须对炉腔热风进行排放和吸入更换，这不仅会引入空气中的微尘颗粒而加大污染风险，而且又会引起炉腔内烘烤温度较大的波动，不利于光阻固化，又带来热能的浪费损耗。第三，烘烤炉腔热空气的直接排空，以及炉门的打开关闭都不可避免地带来光阻挥发物的外泄，造成对外部环境的污染。

技术实现思路

[0005]针对现有技术所存在的上述不足，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，不仅能有效避免炉腔中有机挥发物的不良积累，造成玻璃基板和烘烤设备污染，而且能有效利用排放热能，减少炉腔温度波动，避免有机挥发物外泄或排空对外都环境造成的污染。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术的平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，包括炉体和门扇组件，在炉体的炉腔中安装有玻璃卡架，所述炉体的炉腔内至少分隔有加热腔、烘烤腔和回风通道，所述玻璃卡架位于烘烤腔中，所述加热腔中设置有加热器和鼓风机，在加热腔和烘烤腔之间设置有滤清布风组件；所述炉体上连通有预热补风管和炉腔热风排放管，预热补风管和回风通道均通向加热腔，炉腔热风排放管与烘烤腔和/或回风通道相连通；所述炉体（1）炉腔的换风率为2
次/min—10次/min；所述门扇组件包括若干相互平行设置的门扇，每一门扇均铰支于炉体上，所述门扇由对应的门扇启闭驱动装置驱动，在每一门扇的启闭侧上方均设置有门楣吸管，该门楣吸管经气路阀通向废气收集侧管，该废气收集侧管又通向门扇余热回收管；所述滤清布风组件包括安装于支架上的滤清器和布风器，该滤清器由若干安装于支架上的滤芯构成，该布风器包括有若干可调节通风面积的通风孔；所述玻璃卡架包括卡架立框，在卡架立框上安装有托承杆，该托承杆上固定安装有托承钉；所述门扇余热回收管和炉腔热风排放管通过换热室中的换热器通向排放风机；所述预热补风管与换热室的腔室连通，该换热室的腔室还设有空气吸入口。
[0007]在本专利技术的技术方案中，由于烘烤腔的加热升温进风并不是直接引至炉外环境常温空气，而是经预热补风管和回风通道两股热风合并后进入到加热腔进行加热升温后，形成高温热风再送入到烘烤腔中进行烘烤，这样就形成了利用部分烘烤热风返送回用，同时补充引至预加热的炉外新鲜空气进行再加热升温至预定烘烤温度，有效地降低了加热能耗，稳定了烘烤腔中的烘烤温度，有效平抑了烘烤腔中温度波动，避免温度波动对玻璃基板形成的不良影响；烘烤腔中的部分烘烤热风又经炉腔热风排风管外排，而带走烘烤所产生的有机挥发物，从而有效地控制着烘烤气氛中的有机挥发物浓度，尤其通过精确控制回风通道的回风量和炉腔热风排风管的外排量；将炉体炉腔的换风率控制为2次/min—10次/min；这就使得炉体的炉腔中烘烤热风能够每分钟更换2—10次，不仅能有控制烘烤热风中的有机挥发物和微尘颗粒，避免有机挥发物和微尘颗粒累积，实现对烘烤热风洁净度的管控，而且能有效地降低烘烤温度过大波动和烘烤能源损耗。又由于在加热腔和烘烤腔之间设置有滤清布风组件，并且该滤清布风组件包括有滤清器和布风器，加热后的高温热风经滤清器过滤后再送入到烘烤腔中，保证了烘烤热风的洁净度，布风器又使得洁净热风能够均匀地吹到烘烤腔中，保证烘烤腔中烘烤温度场的均匀，提高烘烤效果。也由于在每一门扇的启闭侧上方均设置有门楣吸管，当门扇启闭驱动装置开启门扇时，气路阀自动打开而接通门楣吸管和废气收集侧管，门扇吸管将门扇开启侧的外泄气体收集吸走，完全避免了有机挥发物外泄所造成了环境污染。还由于门扇余热回收管和炉腔热风排放管是通过换热室的换热器实现外泄，并且在预热补风管与换热室的腔室相连通，该结构充分利用排放废气的余热既能减少烘烤设备能耗，又能降低炉腔烘烤温度的波动。玻璃卡架的卡架立框上安装有托承杆，并且托承杆上固定安装有托承钉，有利于玻璃基板的均匀烘烤和快捷进出料。
[0008]本专利技术的进一步实施方式，所述炉体炉腔工作温度为230℃—280℃；玻璃基板在炉体炉腔中升温速度18℃/min—28℃/min，玻璃基板的保温时间为10min—15min；所述炉体炉腔中粒径为0.3um的悬浮粒子每立方米少于或等于1020粒；玻璃基板炉外冷却速度48℃/min—52℃/min。有利于保证玻璃基板的烘烤品质和性能。
[0009]本专利技术进一步地，所述炉体炉腔的体积m
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为V；工作时炉腔热风排放管的排出流速m
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/min为U1，预热补风管的补风流速m
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/min为U2，所述炉体炉腔的换风率为（U1
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U2）/V。既避免有机挥发物和微尘颗粒累积，又能有效地降低烘烤温度过大波动和烘烤能源损耗。
[0010]本专利技术再进一步实施方式，所述门扇余热回收管和炉腔热风排放管分别通过换热室中对应的换热器依次经冷凝室和滤清室通向风机；所述冷凝室的腔室内设置有冷凝器，
在滤清室腔室内安装有滤芯。所述换热器包括换热输入管和换热输出管，该换热输入管通过若干换热列管通向换热输出管；该换热输出管通过积液盒通向冷凝室，该冷凝室经滤清室通向风机；在冷凝室的下方连接有冷凝积液盒。通过冷凝室和滤清室对外排废气进行进一步后处理，实现零污染排放。
[0011]本专利技术的优选实施方式，所述门扇启闭驱动装置包括门扇铰支侧两端的门扇铰支轴，门扇铰支轴转动支承于炉体上，在门扇铰支轴上固定连接有门扇摆杆上，门扇摆杆的外伸端与门扇启闭气缸的活塞杆相铰连，该门扇启闭气缸的缸体铰支于炉体上。所述气路阀包括相对设置的气阀密封垫和阀板，所述阀板与阀动气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，包括炉体（1）和门扇组件（3），在炉体（1）的炉腔中安装有玻璃卡架（5），其特征在于：所述炉体（1）的炉腔内至少分隔有加热腔（17）、烘烤腔（19）和回风通道（18），所述玻璃卡架（5）位于烘烤腔（19）中，所述加热腔（17）中设置有加热器（8）和鼓风机（7），在加热腔（17）和烘烤腔（19）之间设置有滤清布风组件（6）；所述炉体（1）上连通有预热补风管（9）和炉腔热风排放管（4），预热补风管（9）和回风通道（18）均通向加热腔（17），炉腔热风排放管（4）与烘烤腔（19）和/或回风通道（18）相连通；所述炉体（1）炉腔的换风率为2次/min—10次/min；所述门扇组件（3）包括若干相互平行设置的门扇（301），每一门扇（301）均铰支于炉体（1）上，所述门扇（301）由对应的门扇启闭驱动装置驱动，在每一门扇（301）的启闭侧上方均设置有门楣吸管（305），该门楣吸管（305）经气路阀通向废气收集侧管（302），该废气收集侧管（302）又通向门扇余热回收管（2）；所述滤清布风组件（6）包括安装于支架（603）上的滤清器（602）和布风器（601），该滤清器（602）由若干安装于支架（603）上的滤芯构成，该布风器（601）包括有若干可调节通风面积的通风孔（606）；所述玻璃卡架（5）包括卡架立框（501），在卡架立框（501）上安装有托承杆，该托承杆上固定安装有托承钉（504）；所述门扇余热回收管（2）和炉腔热风排放管（4）通过换热室（10）中的换热器（101）通向排放风机（15）；所述预热补风管（9）与换热室（10）的腔室连通，该换热室（10）的腔室还设有空气吸入口（11）。2.根据权利要求1所述平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，其特征在于：所述炉体（1）炉腔工作温度为230℃—280℃；玻璃基板在炉体（1）炉腔中升温速度18℃/min—28℃/min，玻璃基板的保温时间为10min—15min；所述炉体（1）炉腔中粒径为0.3um的悬浮粒子每立方米少于或等于1020粒；玻璃基板炉外冷却速度48℃/min—52℃/min。3.根据权利要求1或2所述平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，其特征在于：所述炉体（1）炉腔的体积m
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为V；工作时炉腔热风排放管(4)的排出流速m
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/min为U1，预热补风管（9）的补风流速m
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/min为U2，所述炉体（1）炉腔的换风率为（U1
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U2）/V。4.根据权利要求1所述平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备，其特征在于：所述门扇余热回收管...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘明华，万堃鋆，
申请(专利权)人：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：