一种双光路激光发射装置和激光切割设备制造方法及图纸

技术编号:37416983 阅读:13 留言:0更新日期:2023-04-30 09:40
本申请实施例涉及光学设备领域,尤其涉及一种双光路激光发射装置和激光切割设备。双光路激光发射装置包括:激光头、第一扩束镜、分光元件,用于将主激光束分光为第一激光束和第二激光束;第一光路组件,第一光路组件包括沿第一激光束传播方向分布的第一全反镜、第一振镜和第一聚焦镜;以及第二光路组件,第二光路组件包括沿第二激光束传播方向分布的第二全反镜、第二振镜和第二聚焦镜。激光头出射的主激光束通过分光元件分光后,分为两束激光束,由此,双光路激光发射装置发出的激光束可以照射至不同区域,使用双光路激光发射装置进行加工的过程中,可以提高加工效率。可以提高加工效率。可以提高加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种双光路激光发射装置和激光切割设备


[0001]本申请实施例涉及光学设备领域,尤其涉及一种双光路激光发射装置和激光切割设备。

技术介绍

[0002]随着科技的发展,芯片在各个领域的应用趋于成熟,由于芯片制备成本高,如何降低芯片的制备成本成为各个领域关注的问题。
[0003]在芯片后处理过程中,需要对芯片贴上对应标识。在贴标识的过程中,需要对标识多余的部分切除。通常,采用激光发射装置切除多余部分。
[0004]例如,CN202110889370.5公开的激光器由全反镜、直角棱镜、输出镜构成的U型谐振腔组成,该激光器的免温控,整机小型化、轻量化,提高了适用范围。但是该激光器的工作效率有限,有限的工作效率会影响工艺成本。
[0005]由此,本申请实施例旨在提高激光器的工作效率。

技术实现思路

[0006]本申请实施例提供一种双光路激光发射装置和激光切割设备,解决了现有的激光发射装置加工效率慢的问题。
[0007]为达到上述目的,本申请采用如下技术方案:
[0008]本申请实施例的第一方面,提供一种双光路激光发射装置,所述双光路激光发射装置包括:
[0009]激光头,用于出射主激光束;
[0010]第一扩束镜,用于对所述主激光束扩束和准直;
[0011]分光元件,用于将所述主激光束分光为第一激光束和第二激光束;
[0012]第一光路组件,所述第一光路组件包括沿所述第一激光束传播方向分布的第一全反镜、第一振镜和第一聚焦镜;以及
[0013]第二光路组件,所述第二光路组件包括沿所述第二激光束传播方向分布的第二全反镜、第二振镜和第二聚焦镜。
[0014]激光头出射的主激光束通过分光元件分光后,分为两束激光束,由此,双光路激光发射装置发出的激光束可以照射至不同区域,使用双光路激光发射装置进行加工的过程中,可以提高加工效率。另外,当一束激光束出现问题时,可以启用另一束激光束代替。此外,可以将两束激光束设置为能量不同,可以根据激光束的用途进行选择和调整。
[0015]结合第一方面,在一些可实现的方式中,第一光路组件还包括第三全反镜,沿所述第一激光束传播方向,所述第三全反镜位于所述第一全反镜和所述第一振镜之间。
[0016]第一激光束可以经过第一全反镜、第三全反镜反射后再通过第一振镜。可以两次改变第一激光束的方向,根据外壳的形状以节约空间,此外,还可以根据第一激光束和第二激光束的相对位置进行调整第三全反镜和第一全反镜。
[0017]结合第一方面,在一些可实现的方式中,双光路激光发射装置还包括:第一光闸,沿所述主激光束的传播方向,所述第一光闸位于所述激光头和所述第一扩束镜之间。
[0018]第一光闸可以根据实际需求基于光的单向性对主激光束进行单向隔离。
[0019]结合第一方面,在一些可实现的方式中,第一光路组件还包括:第二光闸,沿所述第一激光束传播方向,所述第二光闸位于所述第一全反镜和所述第一振镜之间。
[0020]第二光闸可以根据实际需求基于光的单向性对第一激光束进行单向隔离。
[0021]结合第一方面,在一些可实现的方式中,第二光路组件还包括:
[0022]第二扩束镜,沿所述第二激光束传播方向,所述第二扩束镜位于所述第二全反镜和所述第二振镜之间。
[0023]第二扩束镜可以对第二激光束扩束和准直。
[0024]结合第一方面,在一些可实现的方式中,第一光路组件还包括:第三扩束镜,沿所述第一激光束传播方向,所述第三扩束镜位于所述第一全反镜和所述第一振镜之间。
[0025]第三扩束镜可以对第一激光束扩束和准直。
[0026]结合第一方面,在一些可实现的方式中,从所述第一聚焦镜穿过的第一激光束、从所述第二聚焦镜穿过的第二激光束相互平行。
[0027]便于对第一激光束和第二激光束的路径进行同时观察和控制。
[0028]结合第一方面,在一些可实现的方式中,所述双光路激光发射装置还包括外壳,所述外壳具有密封腔,所述激光头、所述第一扩束镜、所述分光元件、所述第一光路组件和所述第二光路组件均位于所述密封腔内。
[0029]避免杂质进入密封腔内,影响双光路激光发射装置的使用寿命。
[0030]结合第一方面,在一些可实现的方式中,所述双光路激光发射装置还包括控制器,所述控制器与所述激光头信号连接。
[0031]本申请实施例的第二方面,提供一种激光切割设备,所述激光切割设备包括:切割单元和本申请实施例第一方面提供的任一种双光路激光发射装置,所述切割单元和所述的双光路激光发射装置沿所述第一激光束的传播方向或者所述第二激光束的传播方向分布。
[0032]由于双光路激光发射装置的激光的照射范围增加,且可以同时出射两束激光束,可以增加激光切割设备的效率。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0034]图1为本申请实施例提供的双光路激光发射装置的结构示意图。
[0035]图2为本申请实施例提供的双光路激光发射装置内部第一视角的结构示意图。
[0036]图3为本申请实施例提供的双光路激光发射装置内部第二视角的结构示意图。
[0037]图4为本申请实施例提供的双光路激光发射装置的结构框图。
[0038]图中:100

双光路激光发射装置;101

激光头;102

第一扩束镜;103

分光元件;104

第一光闸;110

第一光路组件;111

第一全反镜;112

第一振镜;113

第一聚焦镜;114

第三全反镜;116

第三扩束镜;120

第二光路组件;121

第二全反镜;122

第二振镜;123

第二聚焦镜;124

第二扩束镜;125

第二光闸;130

外壳。
具体实施方式
[0039]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0040]相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0041]在本技术实施例的描述中,需要本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双光路激光发射装置,其特征在于,所述双光路激光发射装置包括:激光头,用于出射主激光束;第一扩束镜,用于对所述主激光束扩束和准直;分光元件,用于将所述主激光束分光为第一激光束和第二激光束;第一光路组件,所述第一光路组件包括沿所述第一激光束传播方向分布的第一全反镜、第一振镜和第一聚焦镜;以及第二光路组件,所述第二光路组件包括沿所述第二激光束传播方向分布的第二全反镜、第二振镜和第二聚焦镜。2.根据权利要求1所述的双光路激光发射装置,其特征在于,所述第一光路组件还包括第三全反镜,沿所述第一激光束传播方向,所述第三全反镜位于所述第一全反镜和所述第一振镜之间。3.根据权利要求1所述的双光路激光发射装置,其特征在于,所述双光路激光发射装置还包括:第一光闸,沿所述主激光束的传播方向,所述第一光闸位于所述激光头和所述第一扩束镜之间。4.根据权利要求1所述的双光路激光发射装置,其特征在于,所述第二光路组件还包括:第二光闸,沿所述第二激光束传播方向,所述第二光闸位于所述第二全反镜和所述第二振镜之间。5.根据权利要求1所述的双光路激光发射装置,其特征在于,所述第二光路组件还包括:第二扩束镜,沿所述第二激光束传播方向,所述第二扩束镜位于...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈永智张满强王德友潘冬赵磊
申请(专利权)人:成都莱普科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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