一种叉指换能器及其声表面波谐振器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种叉指换能器及其声表面波谐振器，涉及声表面波器件技术领域，该叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条，第一汇流条连接有第一电极指，第二汇流条连接有第二电极指，第一电极指上有第一阻隔导电条，第二电极指上有第二阻隔导电条，所述第二阻隔导电条、第一电极指的端部和第二汇流条之间形成了至少两个第二指端阻隔间隙。该声表面波谐振器包括衬底层，衬底层的一侧表面设置有温度补偿层，温度补偿层的一侧表面设置有压电薄膜层，压电薄膜层的一侧表面设置有上述的叉指换能器。该声表面波谐振器使用了上述的叉指换能器，能够有效的抑制横向寄生模式的产生。能够有效的抑制横向寄生模式的产生。能够有效的抑制横向寄生模式的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种叉指换能器及其声表面波谐振器


[0001]本技术涉及声表面波器件
，尤其涉及一种叉指换能器及其声表面波谐振器。

技术介绍

[0002]声表面波可以指在固体半空间表面存在的一种沿表面传播，能量集中于表面附近的弹性波，因其能量密度高、传播速度慢等特点，基于声表面波制作的声表面波器件在谐振器、滤波器、传感器等产品中得到了广泛应用。随着声波器件技术的发展，声表面波器件向着小型化、高频化和宽带化的方向发展，同时对于声表面波器件的功率承受能力的要求也越来越高，由于声表面波是一种声波，基于其自身的特点，声表面波器件无可避免地会产生较多的横向寄生模式。而目前的叉指换能器的具体结构如图1所示，其包括相对设置的第一汇流条和第二汇流条，第一汇流条和第二汇流条的结构相同，第一汇流条连接有若干根第一导电条和第二导电条，第一导电条和第二导电条相互平行形成梳齿状，所述第一导电条的长度小于第二导电条的长度；相应的第二汇流条连接有若干根第三导电条和第四导电条，第三导电条和第四导电条相互平行形成梳齿状，所述第三导电条的长度小于第四导电条的长度；第一导电条和第四导电条共线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种叉指换能器，包括相对设置的第一汇流条和第二汇流条，其特征在于：所述第一汇流条连接有间隔排布的第一电极指，所述第二汇流条连接有间隔排布的第二电极指，所述第一电极指和第二电极指相互交错设置且之间设置有指间间隙，所述第一电极指与第二汇流条之间设置有第一指端区域，所述第二电极指与第一汇流条之间设置有第二指端区域，所述第一电极指上位于第二指端区域内设置有至少一条第一阻隔导电条，所述第一阻隔导电条、第二电极指的端部和第一汇流条之间形成了至少两个第一指端阻隔间隙；所述第二电极指上位于第一指端区域内设置有至少一条第二阻隔导电条，所述第二阻隔导电条、第一电极指的端部和第二汇流条之间形成了至少两个第二指端阻隔间隙。2.如权利要求1所述的一种叉指换能器，其特征在于：相邻的第一电极指上的第一阻隔导电条均相互独立设置且之间设置有第一隔条间隙，相邻的第二电极指上的第二阻隔导电条均相互独立设置且之间设置有第二隔条间隙。3.如权利要求1所述的一种叉指换能器，其特征在于：相邻的第一电极指上对应的第一阻隔导电条相连形成第一阻隔导电长条。4.如权利要求2或3所述的一种叉指换能器，其特征在于：所述第一阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：张啸云，王景虹，李晓辉，纪宣，
申请(专利权)人：苏州声芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：