一种体声波耳形通道谐振器制造技术

本发明专利技术提供了一种体声波耳形通道谐振器，属于半导体及微电子技术领域，本发明专利技术在紧邻实际有效面积的外围内侧在种子层、上电极、压电层和下电极四层上设置峰台，四层的峰台投影位置重合，紧邻峰台的内侧在种子层、上电极、压电层和下电极四层上设置谷台，四层谷台投影位置重合；紧邻实际有效面积的外围内侧在种子层、上电极、压电层和下电极四层上设置谷台，四层谷台在投影位置重合，紧邻谷台的内侧在种子层、上电极、压电层和下电极四层上设置峰台，四层峰台投影位置重合，相对于现有结构，Q值可以提升约30%。提升约30%。提升约30%。

【技术实现步骤摘要】
一种体声波耳形通道谐振器


[0001]本专利技术属于半导体及微电子
，尤其涉及一种体声波耳形通道谐振器。

技术介绍

[0002]为了降低电子设备的成本和尺寸，需要更小的信号滤波元件，而薄膜体声波谐振器作为新型的滤波元件，具有满足这些需求的潜力。薄膜体声波谐振器包括薄膜压电材料，其夹在两个金属电极之间，组成三明治结构，这种结构通过围绕在其周围的支撑层悬浮在空气中。当两个电极之间产生电场时，压电材料可将部分电能以声波的形式转化为机械能，且声波在三明治结构的纵向方向传播，理想情况下，能量都被困在纵向模式中，但实际情况却存在其它非纵向模式，即横向模式，而这种不需要的模式会使得体声波谐振器的损耗变大，Q值降低。目前已公开的减小横向模型的方法是在谐振器的上电极加一圈凸台、凹槽以及空气隙，Q值相对没有这种结构提升不少，随着通讯频段更加拥挤，滤波器及多工器的要求也更加严格，所以提升其Q值是一个无止境的工作。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的上述不足，本专利技术提供的一种体声波耳形通道谐振器，进一步降低了谐振器的损耗，进一步提升了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种体声波耳形通道谐振器，其特征在于，包括依次沉积的硅衬底（1）、种子层（2）、下电极（3）、压电层（4）和上电极（5）、保护层、下电极双耳通道结构（9）、上电极双耳通道结构（10）、设置于下电极双耳通道结构（9）和上电极双耳通道结构（10）上，且贯穿于保护层、上电极（5）、压电层（4）和下电极（3）的通孔（6）、由下电极双耳通道结构（9）和上电极双耳通道结构（10）合围起来的耳形通道谐振器的实际有效面积以及上电极（5）紧邻实际有效面积外侧的空气间隙（8）；紧邻实际有效面积的外围内侧在种子层（2）、上电极（5）、压电层（4）和下电极（3）四层上设置峰台，四层的峰台投影位置重合，紧邻峰台的内侧在种子层（2）、上电极（5）、压电层（4）和下电极（3）四层上设置谷台，四层谷台投影位置重合；紧邻实际有效面积的外围内侧在种子层（2）、上电极（5）、压电层（4）和下电极（3）四层上设置谷台，四层谷台在投影位置重合，紧邻谷台的内侧在种子层（2）、上电极（5）、压电层（4）和下电极（3）四层上设置峰台，四层峰台投影位置重合；所述下电极（3）被下电极双耳通道结构（9）分成第一大面积谐振器和第一小面积谐振器裙边，所述上电极（5）被上电极双耳通道结构（10）分成第二大面积谐振器和第二小面积谐振器裙边；所述下电极双耳通道结构（9）和上电极双耳通道结构（10）均由两端为两个耳形结构及中间为通道组成，且通道填充牺牲层。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，董元旦，雷强，杨涛，
申请(专利权)人：成都频岢微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：