一种芯片失效的筛选方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种芯片失效的筛选方法及装置，方法包括：在预设温度下对目标芯片施加读取电压，并获取所述目标芯片在所述读取电压下的读出电流值，所述读取电压位于所述目标芯片的工作电压范围内；将所述目标芯片的默认参考电流值调整为预设参考电流值，所述预设参考电流值大于所述默认参考电流值；将所述读出电流值与所述预设参考电流值进行比较；当所述读出电流值不小于所述预设参考电流值时，将所述目标芯片确定为优品；当所述读出电流值小于所述预设参考电流值时，将所述目标芯片确定为非优品。本发明专利技术在低压高温的测试环境下，通过增加参考电流的方式，筛选出高温异常芯片，有效地保证了产品的品质。地保证了产品的品质。地保证了产品的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片失效的筛选方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种芯片失效的筛选方法及装置。

技术介绍

[0002]随着制造工艺的提高、成本的降低，芯片的应用越来越广泛，从而使得其对使用环境的要求越来越高，尤其是高温环境。为了保证芯片在高温环境的应用，CP(晶圆测试)上会实测高温来筛选高温异常的芯片，但有些芯片在低压高温下持续工作较长的一段时间才会出现异常，为了筛选这种异常品，需要营造高温环境，从而使测试成本增加，也容易造成较多芯片的误宰。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种闪存失效的筛选方法及装置。
[0004]具体的，本专利技术的技术方案如下：
[0005]一方面，本专利技术提供一种芯片失效的筛选方法，包括：
[0006]在预设温度下对目标芯片施加读取电压，并获取所述目标芯片在所述读取电压下的读出电流值，所述读取电压位于所述目标芯片的工作电压范围内；
[0007]将所述目标芯片的默认参考电流值调整为预设参考电流值，所述预设参考电流值大于所述默认本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片失效的筛选方法，其特征在于，包括：在预设温度下对目标芯片施加读取电压，并获取所述目标芯片在所述读取电压下的读出电流值，所述读取电压位于所述目标芯片的工作电压范围内；将所述目标芯片的默认参考电流值调整为预设参考电流值，所述预设参考电流值大于所述默认参考电流值；将所述读出电流值与所述预设参考电流值进行比较；当所述读出电流值不小于所述预设参考电流值时，将所述目标芯片确定为优品；当所述读出电流值小于所述预设参考电流值时，将所述目标芯片确定为非优品。2.根据权利要求1所述一种芯片失效的筛选方法，其特征在于，当所述读出电流值小于所述预设参考电流值时，将所述目标芯片确定为非优品之后，包括：将所述非优品的所述读出电流值与所述默认参考电流值进行比较；当所述读出电流值超过所述默认参考电流值时，将所述非优品确定为合格品；当所述读出电流值未超过所述默认参考电流值时，将所述非优品确定为次品。3.根据权利要求1或2任一所述一种芯片失效的筛选方法，其特征在于，还包括：对所述合格品和/或所述优品进行可靠性测试，将通过所述可靠性测试的所述合格品或所述优品确定为有效芯片；所述可靠性测试包括烘烤测试和/或低温测试。4.根据权利要求1所述一种芯片失效的筛选方法，其特征在于，所述的在预设温度下对目标芯片施加读取电压，并获取所述目标芯片在所述读取电压下的读出电流值之前，包括：对待测芯片进行常温测试，将通过所述常温测试的所述待测芯片确定为所述目标芯片。5.一种芯片失效...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘乐，
申请(专利权)人：普冉半导体上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：