柔性压力传感器的制造方法及柔性压力传感器技术

本申请提供了一种柔性压力传感器的制造方法及柔性压力传感器。该制造方法通过易于实现的“附接

【技术实现步骤摘要】
柔性压力传感器的制造方法及柔性压力传感器


[0001]本申请涉及压力传感器领域，更具体地涉及一种柔性压力传感器的制造方法以及采用该制造方法制造的柔性压力传感器。

技术介绍

[0002]压力传感器是实现压力定量化的感知工具，能够赋予机器感测压力的能力，由此压力传感器在人机界面、健康监测、电子皮肤、工业控制、力学测量等领域发挥着重要的作用。随着科学技术的进步和应用场景的拓展，能够实现曲面应用、适应于复杂曲面的柔性压力传感器的需求日渐增加，柔性压力传感器的批量化生产的方案越来越受到重视。
[0003]激光诱导石墨烯具有多尺度微结构粗糙形貌，是理想的压敏材料，因此在现有技术中利用石墨烯构造压力传感器。例如，在公开号为CN 115096482A，名称为“一种柔性形变压力传感器及其制备方法”的中国专利技术专利中，在激光诱导石墨烯上浇筑弹性体基质以转印到柔性基底上，这种转印方式破坏了激光诱导石墨烯的构造，增加了加工工艺的复杂度且延长了加工时间。

技术实现思路

[0004]鉴于上述现有技术的状态而做出本申请。本申请的一个目的在于提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，包括：第一附接步骤，其中将膜状的碳基前驱体(1)附接于柔性衬底(2)的至少一侧表面上；诱导步骤，其中利用第一激光照射所述前驱体(1)，以使得所述前驱体(1)的一部分被激光诱导形成石墨烯层，由此通过所述前驱体(1)的一部分构成具有所述石墨烯层的压感单元(3a)；分离步骤，其中利用第二激光照射所述前驱体(1)的除了所述一部分之外的其它部分，以使所述前驱体(1)的其它部分与所述压感单元(3a)分离，并且从所述柔性衬底(2)去除所述其它部分；以及第二附接步骤，其中将所述压感单元(3a)附接于电极(4)，使得所述电极(4)的电极正端(42)和电极负端(43)经由所述压感单元(3a)电性导通。2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，在所述诱导步骤中，形成多个所述压感单元(3a)，相邻的所述压感单元(3a)彼此分隔开，从而使得多个所述压感单元(3a)构成压感阵列(3)。3.根据权利要求1或2所述的柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，所述第二激光的功率大于所述第一激光的功率，所述第二激光的功率被构造成能够消除所述前驱体(1)的被照射的部分。4.根据权利要求3所述的柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，在所述分离步骤中，利用所述第二激光照射所述前驱体(1)的其它部分与所述压感单元(3a)邻接的部分，使所述前驱体(1)的其它部分与所述压感单元(3a)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘冉，刘美翎，林荣赞，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：