具有组分梯度无机层的薄膜、其制造方法和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术的薄膜通过调整在包含SiO

【技术实现步骤摘要】
具有组分梯度无机层的薄膜、其制造方法和显示装置


[0001]本专利技术涉及一种具有组成梯度无机层的薄膜、其制备方法和显示装置。

技术介绍

[0002]随着IT设备的发展所带来的需求，显示技术正在不断发展，曲面显示和通风显示等技术已经步入商业化进程。近来，在同时要求实现大屏幕和便携性的移动设备的领域，优选能够根据外力灵活弯曲或折叠的柔性显示装置。尤其是可折叠的显示装置，其最大的优点便是不使用时可折叠缩小，增加便携性，使用时，展开实现大屏。
[0003]透明聚酰亚胺薄膜或超薄玻璃(UTG)被适用于柔性显示装置的窗口，但依然存在一些问题，透明聚酰亚胺薄膜易受到外部划痕的影响，缺乏对水分或氧气的阻隔性能，而超薄玻璃则防碎性较弱。因此，窗口表面现适用具有良好的耐刮擦性和耐透湿性的无机薄膜，如金属氧化物或金属氮化物的保护膜。此外，近年来为了防止外部光在显示器前表面反射导致可视性下降，正在开发表面处理技术，用于降低适用于显示装置前表面膜的反射率。
[0004]例如，日本公开专利公报第2003～098306号公开了一种膜，其表面由氧化硅层和氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜，包含：基底层，和第一无机层，所述第一无机层设置在所述基底层的一侧表面；所述第一无机层包含碳氧化硅SiO
x
C
y
，且氧含量比和碳含量比在厚度方向发生变化。2.如权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述第一无机层具有与所述基底层相向的第一表面，和与所述第一表面相反的第二表面；随着从第一表面到第二表面而氧含量比逐渐减小，碳含量比逐渐增加。3.如权利要求2所述的薄膜，其特征在于，所述第一表面中，氧O:碳C的原子比为1.5～1.9:0.1～0.5，所述第二表面中，氧O:碳C的原子比为0.05～0.1:0.8～0.9。4.如权利要求2所述的薄膜，其特征在于，所述薄膜具有40％～60％的由下式定义的Txy：Txy(％)＝[(T0
‑
T1)/T0]
×
100其中，T0为所述第一无机层的厚度，单位为nm；T1为从所述第二表面到所述第一表面的厚度方向上通过SIMS进行成分分析时，测量到氧与碳的原子比x/y为2的地点的深度(nm)。5.如权利要求2所述的薄膜，从所述第一无机层的第二表面到第一表面的厚度方向上通过SIMS进行成分分析时，随着测量深度每增加10nm，与上述第二表面的碳含量相比，碳含量减少4％～8％。6.如权利要求1所述的薄膜，其特征在于，将所述薄膜的尺寸裁切为长15cm宽2.54cm，在常温条件下，以每2秒1次的速度重复折叠试验使基底层向内折叠并使其曲率半径为2R，直至发生层间剥离或开裂，此时折叠次数达到40000次以上，总透光率为85％以上；根据JIS
‑
5400...

【专利技术属性】
技术研发人员：李镕旭，朴钟湖，
申请(专利权)人：爱思开希高科技材料有限公司，
类型：发明
国别省市：