一种氟碳反应自动安全控制系统及其使用办法技术方案

本发明专利技术公开了一种氟碳反应自动安全控制系统及其使用办法，包括氟碳反应系统和反应安全控制系统两个部分；氟碳反应系统包括反应器，氟气进气管接反应器顶部，管路上设有控制阀，四氟化碳出气管和放空管接反应器底部，管路上设有控制阀，反应器配有温度传感器、冷媒夹套，冷媒出口管配有流量传感器；反应安全控制系统包括温度高报警连锁停车程序和流量低报警连锁停车程序，温度高报警连锁停车程序能够分别设定温度高报警值和温度高连锁值，流量低报警连锁停车程序能够分别设定流量低报警值和流量低连锁值；温度传感器和流量传感器接入反应安全控制系统。通过该系统可以实现氟碳反应过程超温自动停车，提高氟碳反应过程的本质安全。质安全。质安全。

【技术实现步骤摘要】
一种氟碳反应自动安全控制系统及其使用办法


[0001]本专利技术涉及四氟化碳制备技术，特别涉及其安全控制系统。

技术介绍

[0002]四氟化碳是微电子行业重要的原材料，是应用最大的等离子刻蚀气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀，在电子器件表面清洗、光纤光缆制造、激光技术等多个领域有广泛的应用。其粗气的制备方法很多，公知的有采用烷烃直接氟化法、氟氯甲烷氟化法、氢氟甲烷氟化法及氟碳直接合成法等。目前行业内主要采用氟碳直接合成法进行粗气制备，即将氟气引入装填有固体碳的反应器内进行反应，反应过程是剧烈的燃烧放热反应，反应过程会释放大量的热量，若不加以控制会导致反应失控，轻则设备损毁，重则发生燃烧爆炸。公知的控制方式有两种，一是在反应过程引入惰性气体如氮气作为稀释气降低反应热，但是会降低反应效率，提高后续精制纯化成本；二是在反应器设置冷媒夹套将反应过程释放的热量由冷媒进行持续转移，从而实现反应过程安全可控。
[0003]专利文献CN103521138A公开了一种四氟化碳反应器、反应系统及四氟化碳制备工艺，其反应器本体外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟碳反应自动安全控制系统，其特征是包括氟碳反应系统和反应安全控制系统两个部分；氟碳反应系统包括反应器，氟气进气管接反应器顶部，管路上设有控制阀，四氟化碳出气管和放空管接反应器底部，管路上设有控制阀，反应器配有温度传感器、冷媒夹套，冷媒出口管配有流量传感器；反应安全控制系统包括温度高报警连锁停车程序和流量低报警连锁停车程序，温度高报警连锁停车程序能够分别设定温度高报警值和温度高连锁值，流量低报警连锁停车程序能够分别设定流量低报警值和流量低连锁值；温度传感器和流量传感器接入反应安全控制系统。2.根据权利要求1所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是系统中所用的阀门为带远程控制的阀门。3.根据权利要求1所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是温度传感器输出的温度信号和流量传感器输出的流量信号接入的氟碳反应安全控制系统后组成“或”门逻辑关系电路。4.根据权利要求1所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是所述的温度传感器输出的信号值高于报警值即触发声光报警，高于连锁值即触发温度高连锁停车程序。5.根据权利要求1所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是所述的流量传感器输出的信号值低于报警值即触发声光报警，低于连锁值即触发流量低报警连锁停车程序。6.根据权利要求1所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是氟碳反应系统包括至少两套并联的反应器，并联的反应器连接有共同的氟气进气管、四氟化碳出气管和放空管，氟气进气管接反应器顶部，管路上设有控制阀控制单一反应器，四氟化碳出气管和放空管接反应器底部，管路上设有控制阀控制单一反应器，每个反应器配有温度传感器、冷媒夹套，冷媒出口管配有流量传感器；每套反应器配置相同。7.根据权利要求6所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是两套及多套反应器通过氟气进气管阀门、四氟化碳出气管阀门和放空管阀门的开闭实现切换使用。8.根据权利要求6所述的氟碳反应自动安全控制系统，其特征是所述的反应器不能同时在线，当一套反应器处于在线状态时，其他反应器处于离线状态。9.一种权利要求1～5之一所述的氟碳反应自动安全控制系统的使用方法，包括以下步骤：(1)设定参数：将反应安全控制系统的温度高报警值设定为300～350℃，温度高连锁值设定为350～500℃；流量低报警值设定为6～10m3/h，流量低连锁值设定为0～6m3/h；反应器投入使用；(2)投用：点击按钮将反应安全控制系统的温度高报警连锁停车程序和流量低报警连锁停车程序投入运行状态；其中温度高报警连锁停车程...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贤武，何伟国，王娟，张鑫，苗凯，
申请(专利权)人：昊华气体有限公司，
类型：发明
国别省市：