【技术实现步骤摘要】
镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法
[0001]本专利技术属于纳米材料制备
,具体涉及一种镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法。
技术介绍
[0002]金属氧化物薄膜晶体管MO
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TFT作为平板显示背板,不同于α
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Si
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TFT和LTPS
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TFT技术,其在低成本、高迁移率、大面积均匀性方面的巨大优势满足了AMOLED等新型显示的发展需求,引起国内外众多企业和科研机构的研发热潮。与作为代表性的透明导电性薄膜的ITO膜相比,非晶态IZO薄膜表面平滑、沉积温度低、蚀刻速度快、带隙宽(3.37eV),而且,ZnO价格低,使得非晶态IZO薄膜在AMOLED等显示领域有更广阔的应用潜力。
[0003]研究表明,可将IZO和其他元素以适当的配比进行掺杂,形成新的多元氧化物,通过控制材料的化学组成来改善IZO薄膜的性能。利用稀土元素作为IZO的载流子抑制元素,在保持非晶态IZO薄膜本征高迁移率的同时大幅提升稳定性,可用于全透明柔性AMOLED显示 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法,其特征在于,包括:分别配置设定浓度的镧系稀土盐水溶液、铟盐水溶液、锌盐水溶液和沉淀剂水溶液;量取设定量的铟盐水溶液,倒入反应器中;在搅拌条件下,将沉淀剂水溶液滴加到反应器中,当pH值达到3~5时,停止加入沉淀剂水溶液,得到含铟前驱体溶液;量取设定量的镧系稀土盐水溶液,加入到得到的含铟前驱体溶液中;在搅拌条件下,滴加沉淀剂水溶液到反应器中,当pH值达到6~8时,停止加入沉淀剂水溶液,得到含铟和镧系稀土的前驱体溶液;量取一定量的锌盐水溶液,加入到得到的含铟和镧系稀土的前驱体溶液中;在搅拌条件下,滴加沉淀剂水溶液到反应器中,当pH值达到9~11时,停止加入沉淀剂水溶液,得到含镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液;将含有镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液升温、搅拌熟化设定时间;将熟化后的含有镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液冷却静置,分离洗涤,得到镧系稀土掺杂氧化铟锌的前驱体;将镧系稀土掺杂氧化铟锌的前驱体干燥、高温煅烧,得到镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体。2.根据权利要求1所述的镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法,其特征在于,配置所述镧系稀土盐水溶液的镧系稀土盐为硝酸盐、硫酸盐或氯盐。3.根据权利要求1所述的镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法,其特征在于,配置所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:王之君,韩冰雪,宋洪铭,孙本双,刘洋,何季麟,王成铎,陈杰,曾学云,刘苗,
申请(专利权)人:郑州大学,
类型:发明
国别省市:
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