【技术实现步骤摘要】
一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置
[0001]本技术涉及电子枪
,更具体地说,涉及一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置。
技术介绍
[0002]光学镀膜机,在成膜过程中,电子枪发射的电子束,通过磁极产生的磁场偏转,作用到坩埚中的材料上,熔化材料使材料蒸发。
[0003]现有的光学镀膜机局部结构示意图,如图1所述,电子枪磁极是固定在机台上,电机枪顶部为坩埚,左右两侧为磁极,而没有防护,膜料蒸发可以直接到磁极上,膜层累计到一定程度会崩膜。异物掉落到磁极上会导致蒸发不稳定,影响产品外观,使产品不良。
[0004]电子枪磁极没有防护,膜料蒸发可以直接到磁极上,每批次会用百洁布等软材料清洁磁极,在清洁过程中膜屑灰尘会有部分在蒸发室残留,影响蒸发室环境,如果灰尘飘落到产品片表面,会导致产品不良
技术实现思路
[0005]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种可以对磁极进行防护,提高产品质量的防止电子枪磁极受膜料污染的装置。
[0006]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案,一种防 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,其特征在于:包括底板(2),所述底板(2)中部开设有套在电子枪(12)枪口上的套孔(3),两侧内切形成有用于卡接磁极(13)的槽口(4),顶部抵在坩埚(14)上呈与坩埚(14)适配的弧状;还包括垂直安装在底板(2)上且位于槽口(4)与坩埚(14)之间用于阻挡膜料的挡板(5)。2.根据权利要求1所述的一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,其特征在于:所述挡板(5)位于槽口(4)靠近坩埚(14)的一侧边上且将磁极(13)完全遮挡。3.根据权利要求2所述的一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,其特征在于:所述底板(2)靠近底板(2)顶部的两侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘辉,章旭,林鸳,刘军,卢欢,路富亮,徐锋,钱亮亮,
申请(专利权)人:江西水晶光电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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