一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置制造方法及图纸

技术编号:37392309 阅读:47 留言:0更新日期:2023-04-27 07:30
本实用新型专利技术公开了一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,包括底板,所述底板中部开设有套在电子枪枪口上的套孔,两侧内切形成有用于卡接磁极的槽口,顶部抵在坩埚上呈与坩埚适配的弧状;还包括垂直安装在底板上且位于槽口与坩埚之间用于阻挡膜料的挡板。在成膜过程中,电子枪发射的电子束,通过磁极产生的磁场偏转,作用到坩埚中的材料上,熔化材料使材料蒸发,蒸发的材料向材料的上半球空间运动,磁极方向的材料被挡板阻挡沉积在挡板上,磁极被保护起来,无材料沉积,进而可以确保产品质量。挡板对磁极进行防护,无需对磁极进行清洗,防止在清洁磁极过程中膜屑灰尘进入蒸发室的可能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置


[0001]本技术涉及电子枪
,更具体地说,涉及一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置。

技术介绍

[0002]光学镀膜机,在成膜过程中,电子枪发射的电子束,通过磁极产生的磁场偏转,作用到坩埚中的材料上,熔化材料使材料蒸发。
[0003]现有的光学镀膜机局部结构示意图,如图1所述,电子枪磁极是固定在机台上,电机枪顶部为坩埚,左右两侧为磁极,而没有防护,膜料蒸发可以直接到磁极上,膜层累计到一定程度会崩膜。异物掉落到磁极上会导致蒸发不稳定,影响产品外观,使产品不良。
[0004]电子枪磁极没有防护,膜料蒸发可以直接到磁极上,每批次会用百洁布等软材料清洁磁极,在清洁过程中膜屑灰尘会有部分在蒸发室残留,影响蒸发室环境,如果灰尘飘落到产品片表面,会导致产品不良

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种可以对磁极进行防护,提高产品质量的防止电子枪磁极受膜料污染的装置。
[0006]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案,一种防止电子枪磁极受膜料污本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,其特征在于:包括底板(2),所述底板(2)中部开设有套在电子枪(12)枪口上的套孔(3),两侧内切形成有用于卡接磁极(13)的槽口(4),顶部抵在坩埚(14)上呈与坩埚(14)适配的弧状;还包括垂直安装在底板(2)上且位于槽口(4)与坩埚(14)之间用于阻挡膜料的挡板(5)。2.根据权利要求1所述的一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,其特征在于:所述挡板(5)位于槽口(4)靠近坩埚(14)的一侧边上且将磁极(13)完全遮挡。3.根据权利要求2所述的一种防止电子枪磁极受膜料污染的装置,其特征在于:所述底板(2)靠近底板(2)顶部的两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘辉章旭林鸳刘军卢欢路富亮徐锋钱亮亮
申请(专利权)人:江西水晶光电有限公司
类型:新型
国别省市:

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