一种无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置及方法制造方法及图纸

本申请公开了一种无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置和方法，所述无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置包括：清洗槽，所述清洗槽连接至至少一个清洗液供给装置；循环水泵，所述循环水泵与所述清洗槽通过管路连接成循环清洗回路，其中，所述含砷磷污染物部件通过接口连接在循环清洗回路的管路中；或者，所述含砷磷污染物部件放入所述清洗槽中；以及PLC(可编程逻辑控制器)系统，所述PLC控制系统通过阀件控制清洗液供给装置和循环水泵的工作，以对循环清洗回路中的含砷磷污染物部件进行循环清洗。整个清洗过程中，人员基本无接触，且设备运行过程中，无烟、无尘、无毒性物质泄漏，反应过程无明火、爆炸等异常状况，清洗过程安全无污染。清洗过程安全无污染。清洗过程安全无污染。

【技术实现步骤摘要】
一种无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置及方法


[0001]本申请属于污染物处理
,具体涉及含砷磷污染物部件的清洗装置和方法。

技术介绍

[0002]以砷化镓为衬底的有机金属化学气相沉积的磊晶过程，投入过量的砷烷、磷烷、硅烷及铝、镓、铟、镁等有机金属化合物，故在尾气过滤器的冷却与过滤段以及阀件等，捕集了大量的磷、砷及自燃性的有机金属。传统的清洁处理方式有三种：
[0003]采用双氧水混合氨水的方法，令部件的内部组件，在空气中燃烧。
[0004]添加氨水的反应燃烧：将砷磷微粒捕集器放置于氨水中，将砷磷微粒捕集器的壳体分离成上下二个半体，然后分别把二个半体加入氨水反应燃烧。
[0005]授权号为CN 110449405 B的专利中提出一种砷磷微粒捕集器的清洗方法，该方法使用60℃左右的高温水对过滤器进行冲洗以溶解砷磷过滤器中的磷，随后将冲洗完成的砷磷过滤器拆解并转移至高温震荡清洗设备，使用双氧水进行高温震荡清洗。
[0006]采用第一种方式直接燃烧存在如下问题：a、燃烧过程中伴随产生巨大的火焰及爆震；b、磷、砷等燃本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置，包括：清洗槽，所述清洗槽连接至至少一个清洗液供给装置；循环水泵，所述循环水泵与所述清洗槽通过管路连接成封闭的循环清洗回路，其中，所述含砷磷污染物部件通过接口连接在循环清洗回路的管路中；或者，所述含砷磷污染物部件放入所述清洗槽中；以及PLC(可编程逻辑控制器)系统，所述PLC控制系统通过阀件控制清洗液供给装置和循环水泵的工作，以对循环清洗回路中的含砷磷污染物部件进行循环清洗。2.根据权利要求1所述的无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置,还包括：冷阱槽，所述冷阱槽连接到所述循环水泵的出水口，用于接收从循环清洗回路中排放的清洗液，冷阱槽内设置有制冷装置。3.根据权利要求1所述的无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置,其中，所述至少一个清洗液供给装置包括第一清洗液供给装置和第二清洗液供给装置，所述第一清洗液供给装置供给离子水、超纯水、自来水中的一种或者多种,所述第二清洗液供给装置供给能够氧化含砷磷污染物部件中的污染物的氧化性溶液。4.根据权利要求1所述的无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置,其中，所述清洗槽内设置有加热装置，用于将清洗槽内的清洗液加热至预定温度。5.一种无烟化清洗含砷磷污染物部件的方法，包括：将含含砷磷污染物部件连接至如权利要求1所述无烟化清洗含砷磷污染物部件的装置的循环清洗回路中，使得含含砷磷污染物部件需要清洗的部分能够与清洗液充分接触；利用循环水泵，使得第一流体在循环清洗回路中循环，对含砷磷污染物部件进行第一轮循环冲洗，所述第一流体被加热至能...

【专利技术属性】
技术研发人员：高璐，肖志，朱明星，王伟明，李华，
申请(专利权)人：江苏宜兴德融科技有限公司，
类型：发明
国别省市：