一种显影液的喷洒设备制造技术

本实用新型专利技术涉及显影液喷洒技术领域，且公开了一种显影液的喷洒设备，包括主体机构、转动机构和喷洒机构，所述转动机构位于主体机构的上端，所述喷洒机构位于转动机构的上端，所述主体机构包括主体滚轮、调平支架、主体支腿、主体横梁三和主体横梁四，所述调平支架的下端固定连接在主体滚轮的上端，所述主体支腿的下端中部固定连接在调平支架的上端，所述主体横梁一的左右两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁二的前后两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁三的左右两端固定连接在主体支腿的中部，所述主体横梁四的前后两端固定连接在主体支腿的中部。该显影液的喷洒设备，通过转动机构的结构，大大的提高了该设备的使用便捷性。的使用便捷性。的使用便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种显影液的喷洒设备


[0001]本技术涉及显影液喷洒
，具体为一种显影液的喷洒设备。

技术介绍

[0002]光刻胶显影过程作为光刻技术中的一环，其主要目的是把掩模板图形准确复制到光刻胶中，如果不能正确地控制显影工艺，光刻胶图形就会出现问题，这些光刻胶问题对产品成品率会产生消极影响，在随后的刻蚀工艺中产生缺陷。
[0003]在半导体制造工艺中，对于光刻工艺中的显影技术，需要利用显影喷嘴装置向晶圆上的光致抗蚀剂表面喷洒显影液，由此可通过喷洒的显影液在晶圆上的光致抗蚀剂上形成三维图形。
[0004]目前，在对玻璃基板的表面进行显影液喷洒时多使用单个喷头进行喷洒，由于喷头的在喷洒时存在喷洒不均的现象，喷洒头不便于调节，导致显影液在玻璃基板表面的分布不均匀，对光刻生产造成影响。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]本技术的目的在于提供一种显影液的喷洒设备，以解决上述
技术介绍
中提出喷洒不均匀，喷洒头不便于调节的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显影液的喷洒设备，包括主体机构(1)、转动机构(2)和喷洒机构(3)，其特征在于：所述转动机构(2)位于主体机构(1)的上端，所述喷洒机构(3)位于转动机构(2)的上端，所述主体机构(1)包括主体滚轮(101)、调平支架(102)、主体支腿(103)、主体横梁一(104)、主体横梁二(105)、主体横梁三(106)和主体横梁四(107)，所述调平支架(102)的下端固定连接在主体滚轮(101)的上端中部，所述主体支腿(103)的下端中部固定连接在调平支架(102)的上端，所述主体横梁一(104)的左右两端固定连接在主体支腿(103)的中部，所述主体横梁二(105)的前后两端固定连接在主体支腿(103)的中部，所述主体横梁三(106)的左右两端固定连接在主体支腿(103)的中部，所述主体横梁四(107)的前后两端固定连接在主体支腿(103)的中部。2.根据权利要求1所述的一种显影液的喷洒设备，其特征在于：所述转动机构(2)包括转动横梁一(201)、转动横梁二(202)、转动滚轮(203)、滚轮连接杆(204)、齿轮(205)、传输带(206)、转动变速箱(207)和转动电机(208)，所述转动横梁一(201)的下端固定连接在主体支腿(103)的上端中部，所述转动横梁二(202)的下端固定连接在主体支腿(103)的上端中部，所述转动滚轮(203)的左端转动连接在转动横梁一(201)的前端中部。3.根据权利要求2所述的一种显影液的喷洒设备，其特征在于：所述转动滚轮(203)的右端固定连接在滚轮连接干的左端中部，所述滚轮连接杆(204)的右端固定连接在齿轮(205)的左端，所述齿轮(205)的右端转动连接在转动变速箱(207...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾一格，孙俊鹏，梁永慧，姚丹，
申请(专利权)人：上海辰和芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：