一种PVD设备水路系统技术方案

本申请公开了一种PVD设备水路系统，涉及PVD设备技术领域，包括进水管、出水管以及泄压组件；泄压组件连接于进水管与出水管之间，用于对进水管进行泄压。通过在水路系统中的进水管与出水管之间配置泄压组件，利用泄压组件来对进水管进行泄压，以保证进水管的压力处于稳定状态，避免对系统水路造成影响，进而保证水冷效果，而且进水管泄压流出的水直接经出水管一同排出处理，就不需要再去增加设置新的水路以处理进水管泄压流出的水，减少对水路系统的改动，节约成本。节约成本。节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD设备水路系统


[0001]本申请涉及PVD设备
，尤其涉及一种PVD设备水路系统。

技术介绍

[0002]PVD技术也即是物理气相沉积技术(Physical Vapor Deposition)，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体发生电离，利用电场加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上形成特定薄膜的技术。
[0003]水路系统是PVD设备中的重要组成部分之一，目前的PVD设备的水路系统仍存在一些不足：其水路系统存在管道过长的情况，这会导致供水端压力波动大，水压过大则会对水路造成影响，进而影响水冷效果，导致水冷效果不佳。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的是提供一种PVD设备水路系统，以解决
技术介绍
中的技术问题。
[0005]为达到上述技术目的，本申请提供了一种PVD设备水路系统，包括进水管、出水管以及泄压组件；
[0006]所述泄压组件连接于所述进水管与所述出水管之间，用于对所述进水管进行泄压。
[0007本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD设备水路系统，其特征在于，包括进水管(1)、出水管(2)以及泄压组件(3)；所述泄压组件(3)连接于所述进水管(1)与所述出水管(2)之间，用于对所述进水管(1)进行泄压。2.根据权利要求1所述的PVD设备水路系统，其特征在于，所述泄压组件(3)包括连通管路以及泄压阀(31)；所述连通管路由若干软管(32)组成，连接于所述进水管(1)与所述出水管(2)之间；所述泄压阀(31)安装于所述连通管路上。3.根据权利要求2所述的PVD设备水路系统，其特征在于，所述泄压组件(3)还包括单向阀(33)；所述单向阀(33)安装于所述连通管路上。4.根据权利要求3所述的PVD设备水路系统，其特征在于，所述泄压组件(3)还包括若干定型件；所述定型件设有供软管(32)穿过，且用于定型所述软管(32)的定型腔道。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：