光波导元件及光调制器制造技术

本发明专利技术的目的在于，在使用凸状光波导的光波导元件中，通过与控制传播光的电极的存在来有效地抑制在传播光中产生损失的情况。本发明专利技术的光波导元件具有：基板(220)，形成有光波导(226a)；及电极(230a、230b)，形成于基板之上，对在光波导中传播的光波进行控制，其中，上述光波导(226a)由在基板上延伸的凸部(300)构成，电极(230a、230b)由基底层(304a、304b)和上部层(302a、302b)构成，基底层(304a、304b)在电极(230a、230b)与上述基板之间由Nb构成，上部层(302a、302b)形成于基底层之上。302b)形成于基底层之上。302b)形成于基底层之上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光波导元件及光调制器


[0001]本专利技术涉及使用光波导的作为功能元件的光波导元件以及使用作为光波导元件的光调制元件的光调制器。

技术介绍

[0002]在高速/大容量光纤通信系统中，较多地使用装入有波导型的光调制器的光发送装置。其中，将具有电光效应的LiNbO3(以下，也称为LN)使用于基板的光调制元件与使用磷化铟(InP)、硅(Si)或砷化镓(GaAs)等半导体系材料的光调制元件相比，光的损失少且能实现宽带的光调制特性，因此在高速/大容量光纤通信系统中广泛使用。
[0003]另一方面，光纤通信系统中的调制方式受到近年来的传送容量的增大化的潮流的影响，QPSK(Quadrature Phase Shift Keying，四比特相位偏移调制)、DP
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QPSK(Dual Polarization
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Quadrature Phase Shift Keying，双极化四相相移键控)等多级调制、对多级调制采用了偏振复用的传送制式成为主流。
[0004]近年来的互联网服务的普及加速会招致通信信息量的进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光波导元件，具有：基板，形成有光波导；及电极，形成于所述基板之上，对在所述光波导中传播的光波进行控制，其中，所述光波导由在所述基板上延伸的凸部构成，所述电极由基底层和上部层构成，该基底层在所述电极与所述基板之间由Nb构成，该上部层形成于基底层之上。2.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，所述基底层为30nm以下的厚度。3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其中，所述基底层形成于含有氧原子的所述基板上，或者形成于在所述基板上形成的氧化物的膜之上。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：大石健太，片冈优，高野真悟，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：