一种光学测量仪器及其实时自动校准系统技术方案

本发明专利技术公开了一种光学测量仪器及其实时自动校准系统，该光学测量仪器的转换接头与套管之间固定有第一透镜，反射镜通过压力片固定，物镜通过物镜转换接口固定在棱镜装载体上，分光棱镜安装在棱镜装载体上，第二透镜安装在第一套筒和第二套筒之间，圆柱转接块采用螺丝挤压安装在第一套筒的第一螺纹孔处，柱镜固定在圆柱转接块的槽体上，滑动套筒通过紧配合安装在第二套筒上，四象限探测器通过滑动套筒设置的第二螺纹孔安装在滑动套筒上。本发明专利技术结构简单、成本低、集成度好并且精度较高；同时为光交换芯片的光封装过程中光纤阵列的微小偏移提供了检测系统，有助于实时复位光纤阵列保持光纤阵列与芯片之间耦合稳定，工作损耗稳定保持最小值。定保持最小值。定保持最小值。

【技术实现步骤摘要】
一种光学测量仪器及其实时自动校准系统


[0001]本专利技术涉及光学测量、观察
以及封装集成电路
，尤其涉及一种光学测量仪器及其实时自动校准系统。

技术介绍

[0002]实时测量物体的微纳米位移和振动在信息技术和微机电系统(MEMS)领域至关重要。有许多测量方法可以实现亚微米位移分辨率。光学测量作为一种重要的非接触无损检测技术，具有结构简单、精度高、稳定性好、易于实现等优点，得到了广泛的应用。主要技术包括差分干涉法、共焦显微镜、相干干涉法和像散法。而在硅光子芯片的封装过程中，常采用光栅耦合的形式将外部光信号通过光纤阵列传输到芯片上的光波导内。光纤阵列与片上光栅口耦合到最佳状态后，有最小的损耗。然而在整个封装过程中，有时光纤阵列并不在一个很稳定的环境下工作，例如在完成电学封装后，需要将光纤阵列与硅光子芯片仅仅进行耦合来测试片上光开关的静态工作点。整个测试时间较长，无法保证光纤阵列的位置不产生漂移。当漂移产生时，传统的校准方式是通过光功率计监测损耗的增加，人为地调节或者通过计算机扫描周围位置的损耗来调节。这样的校准方式校准时间往往较长，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学测量仪器，其特征在于，包括用于连接外部激光器20的转换接头(4)、套管(5)、反射镜(6)、压力片(7)、物镜(8)、物镜转换接口(9)、分光棱镜(10)、棱镜装载体(11)、第一套筒(12)、第二套筒(13)、滑动套筒(14)、第二透镜(15)、柱镜(16)、圆柱转接块(17)、第一螺纹孔(18)、第二螺纹孔(19)、第一透镜(21)和四象限探测器(22)；所述转换接头(4)与套管(5)之间固定有第一透镜(21)，所述压力片(7)将反射镜(6)固定在该光学测量仪器上，所述物镜(8)通过物镜转换接口(9)固定在棱镜装载体(11)上，所述分光棱镜(10)安装在棱镜装载体(11)上，所述第二透镜(15)镶嵌安装在第一套筒(12)和第二套筒(13)之间并压紧，所述第一套筒(12)和第二套筒(13)之间采用螺纹旋转连接，所述第一套筒(12)设置有第一螺纹孔(18)，所述圆柱转接块(17)采用螺丝挤压安装在第一螺纹孔(18)处，所述圆柱转接块(17)设置有槽体(171)和便于光能够透过柱镜(16)的通孔(172)，所述柱镜(16)通过速干胶固定在槽体(171)上，所述滑动套筒(14)通过紧配合安装在第二套筒(13)上，所述滑动套筒(14)设置有第二螺纹孔(19)，所述四象限探测器(22)通过第二螺纹孔(19)安装在滑动套筒(14)上。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：胡辰，王敬好，阮小可，储涛，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：