晶圆载台清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种晶圆载台清洁装置，包括清洁座，清洁座的第一侧设置有擦拭件，擦拭件的至少一部分外露于清洁座第一侧的表面；清洁座的第二侧设置有握持件，握持件与清洁座固定连接，清洁座的第二侧与第一侧相对布置。本实用新型专利技术能够方便的手动对晶圆载台进行清洁，且能够在空间狭小的环境下对晶圆载台进行清洁。洁。洁。

【技术实现步骤摘要】
晶圆载台清洁装置


[0001]本技术涉及半导体器件制造的
，尤其涉及一种用于对晶圆载台进行清洁的清洁装置。

技术介绍

[0002]随着电子技术的发展，半导体器件的应用越来越广泛。半导体器件通常需要使用光刻机，光刻机通常设置有一个晶圆载台，当光刻机使用一段时间后，晶圆载台上容易出现灰尘，因此，通常需要对晶圆载台进行清洁。
[0003]现有的一些光刻机自身设置有对晶圆载台进行清洁的装置，这些清洁装置由光刻机的控制机构进行驱动，完成对晶圆载台的清洁操作。但是，这些清洁装置通常结构复杂，并且需要由光刻机自身进行驱动，无法实现手动灵活的清洁操作。
[0004]而另一些光刻机并不设置对晶圆载台进行清洁的装置，为了对晶圆载台进行清洁，现有的处理方式是由操作工人手持无尘布直接对晶圆载台进行清洁，但是由于晶圆载台上方设置有镜头等精密的器件，晶圆载台上方的空间非常狭小，不利于进行手动的清洁。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种结构简单且能够手动进行清洁操作的晶圆载台清洁装置。
[0006]为了实现上述的目的，本技术提供的晶圆载台清洁装置包括清洁座，清洁座的第一侧设置有擦拭件，擦拭件的至少一部分外露于清洁座第一侧的表面；清洁座的第二侧设置有握持件，握持件与清洁座固定连接，清洁座的第二侧与第一侧相对布置。
[0007]由上述方案可见，在清洁座的一侧设置擦拭件，另一侧设置握持件，用户可以握持住握持件并带动清洁座运动，从而在晶圆载台上往复运动并由此对晶圆载台进行清洁，进而可以在狭小的空间内对晶圆载台进行清洁。
[0008]一个优选的方案是，清洁座包括清洁夹具以及底座，底座设置在清洁夹具的第一侧，底座与清洁夹具可拆卸的固定连接，擦拭件夹持于清洁夹具与底座之间。
[0009]由此可见，使用清洁夹具与底座夹持擦拭件，并且使擦拭件的一部分外露于底座表面，用户可以通过握持件移动晶圆载台清洁装置，可以在狭小的空间内对晶圆载台进行清洁。
[0010]一个优选的方案是，清洁夹具的第一侧设置有凸起部，底座上设置有镂空部，镂空部与凸起部相对设置，擦拭件的外露部分位于镂空部内。
[0011]由此可见，擦拭件可以外露于镂空部，并且由于凸起部的作用，使得擦拭件的表面可以外露在底座，使得擦拭件可以与晶圆载台的表面接触，从而实现对晶圆载台的清洁。
[0012]进一步的方案是，沿清洁夹具下表面的法向，凸起部的外表面外凸于底座的外表面。优选的，凸起部完全位于镂空部内。
[0013]可见，由于凸起部的外表面凸出于底座，使得擦拭件能够被凸起部顶起并与晶圆
载台接触，使得晶圆载台能够更好地被擦拭件清洁。
[0014]进一步的方案是，清洁夹具与底座之间设置有连接件，清洁夹具通过连接件与底座连接。
[0015]可见，通过连接件将清洁夹具与底座连接，在需要更换擦拭件时，可以方便的将底座从清洁夹具上取下，方便擦拭件的更换。
[0016]更进一步的方案是，连接件为磁体，清洁夹具与底座均使用磁性吸附材料制成；或者，连接件为双面吸盘。
[0017]由此可见，不管是磁体还是双面吸盘，连接件均不会外露于底座的外表面，这样可以避免连接件也晶圆载台接触，且连接件也不会外露于清洁夹具，避免连接件对晶圆载台上方的器件造成损坏。
[0018]更进一步的方案是，镂空部为圆形，连接件的数量为二个以上，多个连接件沿镂空部周向布置。
[0019]可见，多个连接件可以更好的对清洁夹具与底座进行连接，避免擦拭件以外脱落。
[0020]更进一步的方案是，底座为方形，多个连接件分别设置在底座的多个顶角处。
[0021]由此可见，在底座的多个顶角处设置连接件，使得清洁夹具与底座之间的连接更加可靠。
[0022]更进一步的方案是，握持件包括设置在清洁夹具第二侧的固定座，握持杆的固定端连接至固定座。
[0023]可见，用户可以通过握持件方便的带动清洁夹具运动，且握持件与清洁夹具固定连接，可以避免清洁夹具与握持件意外分离的情况。
[0024]更进一步的方案是，握持杆的固定端与固定座铰接，优选的，握持杆为伸缩套管。
[0025]由此可见，用户可以根据实际生产需要，使用将伸缩套管伸长或者缩短，且握持杆可以与清洁夹具之间转动，使得晶圆载台清洁装置适应不同的空间。
[0026]可选的方案是，握持件包括夹持部，夹持部具有两个手指夹持位。这样，在空间较大的场景下，用户可以直接手持握持件并方便的对晶圆载台进行清洁。
[0027]更进一步的方案是，擦拭件为无尘布。一方面，无尘布作为常见的擦拭件，能够有效的对晶圆载台进行清洁，另一方面，无尘布制作成本较低，能够降低晶圆载台清洁装置的生产成本。
[0028]可选的方案是，擦拭件为油石，油石粘接在清洁座的第一侧。由于油石硬度较高，不需要经常更换，使用更加方便。并且，由于油石清洁完毕后，不会残留丝线等污染物，清洁效果更佳。
附图说明
[0029]图1是本技术第一实施例第一视角的结构图。
[0030]图2是本技术第一实施例第二视角的结构图。
[0031]图3是本技术第一实施例第一视角的结构分解图。
[0032]图4是本技术第一实施例第二视角的结构分解图。
[0033]图5是本技术第一实施例的清洁夹具、底座与擦拭件的局部剖视图。
[0034]图6是本技术第一实施例的清洁夹具、底座、连接件与擦拭件的结构分解图。
[0035]图7是本技术第二实施例的结构图。
[0036]以下结合附图及实施例对本技术作进一步说明。
具体实施方式
[0037]本技术的晶圆载台清洁装置用于对晶圆载台进行清洁，尤其是针对不设置清洁装置的光刻机，需要人工对晶圆载台进行清洁的场景。由于光刻机的晶圆载台上方还设置有精密的仪器，且晶圆载台上方的空间非常狭小，往往难以将手伸入较深的地方进行清洁，为此，本技术提供的晶圆载台清洁装置能够针对空间狭小的场景下对晶圆载台进行清洁。
[0038]第一实施例：
[0039]参见图1与图2，本实施例具有一个清洁座，清洁座包括一个清洁夹具10，清洁夹具10大致呈正方形，从图1的视角看，清洁夹具10的第二侧为清洁夹具上方侧。在清洁夹具10的第二侧设置有握持件，其中，本实施例的握持件包括握持杆组件以及夹持部40，握持杆组件包括一根握持杆36以及固定座30，握持杆36与固定座30铰接，优选的，为了节省空间，将晶圆载台清洁装置做得小型化，夹持部40与固定座30相邻设置。
[0040]清洁座还包括底座20，底座20设置在在清洁夹具10的第一侧，即图1的视角中，清洁夹具10的下方侧。本实施例还包括擦拭件18，参见图3与图4，底座20大致呈方形，中间形成有一个圆形的镂空部21，擦拭件18为无尘布，大致呈方形，擦拭件18质地柔软，可以灵活变形。擦拭件18被夹持在清本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆载台清洁装置，其特征在于，包括：清洁座，所述清洁座的第一侧设置有擦拭件，所述擦拭件的至少一部分外露于所述清洁座第一侧的表面；所述清洁座的第二侧设置有握持件，所述握持件与所述清洁座固定连接，所述清洁座的第二侧与所述第一侧相对布置。2.根据权利要求1所述的晶圆载台清洁装置，其特征在于：所述清洁座包括清洁夹具以及底座，所述底座设置在所述清洁夹具的第一侧，所述底座与所述清洁夹具可拆卸的固定连接，所述擦拭件夹持于所述清洁夹具与所述底座之间。3.根据权利要求2所述的晶圆载台清洁装置，其特征在于：所述清洁夹具的第一侧设置有凸起部，所述底座上设置有镂空部，所述镂空部与所述凸起部相对设置，所述擦拭件的外露部分位于所述镂空部内。4.根据权利要求3所述的晶圆载台清洁装置，其特征在于：沿所述清洁夹具下表面的法向，所述凸起部的外表面外凸于所述底座的外表面。5.根据权利要求3所述的晶圆载台清洁装置，其特征在于：所述凸起部完全位于所述镂空部内。6.根据权利要求3至5任一项所述的晶圆载台清洁装置，其特征在于：所述清洁夹具与所述底座之间设置有连接件，所述清洁夹具通过所述连接件与所述底座连接。7.根据权利要求6所述的晶圆载台清洁装置，其特征在于：所述连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：晏秋实，
申请(专利权)人：英诺赛科苏州半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：