一种干式真空泵水冷变频器安全结构制造技术

本发明专利技术公开了一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区，所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管。本发明专利技术确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖可以防止意外的泵内漏水飞溅。内漏水飞溅。内漏水飞溅。

【技术实现步骤摘要】
一种干式真空泵水冷变频器安全结构


[0001]本专利技术涉及干式真空泵
，具体为一种干式真空泵水冷变频器安全结构。

技术介绍

[0002]干式真空泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，干式真空泵主要应用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺中。
[0003]现有技术的不足：干式真空泵向着高速化、小型化和节能化方向发展，要求各个零部件均需要实现小型化、节能化，水冷变频器是其发展趋势，水冷变频器可以实现在泵体罩板内安装，但由于真空泵和水冷变频器自身内具有水冷结构，一旦发生水的泄露会造成变频器等电气设备的短路等不安全问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种干式真空泵水冷变频器安全结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板（1）和水冷层（2），其特征在于：所述主板（1）的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层（3），所述隐蔽层（3）远离主板（1）一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区；所述水冷层（2）设置在主板（1）的下端，所述水冷层（2）包括有：水冷散热器（21），所述水冷散热器（21）设置在主板（1）的下端面上，所述水冷散热器（21）设置的内部设置有水冷通道（22）；进水管（23），所述进水管（23）与水冷通道（22）的进水口连接用于向水冷通道（22）注入冷却水冷；排水管（24），所述排水管（24）与水冷通道（22）的出水口连接用于排出经过水冷通道（22）的水体进行循环冷却。2.根据权利要求1所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述弱电区包括有；电源模块（4），所述电源模块（4）设置在隐蔽层（3）的上端面上：电源端子（5），所述电源端子（5）设置在隐蔽层（3）的上端面上并与电源模块（4）连接；通讯线引出口A（6），所述通讯线引出口A（6）设置在隐蔽层（3）上端面的一侧；通讯线引出口B（7），所述通讯线引出口B（7）设置在隐蔽层（3）的上端面上远离通讯线引出口A（6）一侧。3.根据权利要求1所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述排线区包括有：动力线端子RST（8），所述动力线端子RST（8）设置在隐蔽层（3）的上端面上，所述隐蔽层（3）的上端面上在动力线端子RST（8）的两侧设置有第一排线槽（9）；动力线输出端子UVW（10），所述动力线输出端子UVW（10）设置在隐蔽层（3）的上端面上，所述隐蔽层（3）的上端面上在动力线输出端子UVW（10）的两侧设置有第二排线槽（11）；动力线引线出口A（12），...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕德龙，王光玉，孔祥玲，刘在行，宋得雪，张军，郭丽娟，缪瑀，张佳崎，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：