离轴抛物面镜失调的调节方法技术

一种离轴抛物面镜失调的调节方法，该方法通过图像传感器对离轴抛物面镜焦斑进行单次记录，利用含有深度学习模型的图像处理单元分析变形的焦斑，获得当前离轴抛物面镜的失调误差，再通过所述的多轴调节装置实现离轴抛物面镜的精准调节。本方法具有鲁棒性强、精度高、全自动化、速度快的优点，有助于离轴抛物面镜的高效调节。高效调节。高效调节。

【技术实现步骤摘要】
离轴抛物面镜失调的调节方法


[0001]本专利技术涉及离轴抛物面镜，特别是一种离轴抛物面镜失调的调节方法。

技术介绍

[0002]由于离轴抛物面镜属于没有单色像差和非线性效应的离轴反射型元件，非常适用于作为成像测量以及强激光聚焦的光学元件，在天文、航空、高功率激光等领域广泛应用。但相比传统的非离轴光学元件，离轴抛物面镜的容差很小，对装调精度要求极高，微小的失调误差都会导致焦斑的严重退化。因此，在实际实验中，需要对离轴抛物面镜进行高质量调节。现有的离轴抛物面镜校准方法主要是基于分析焦斑强度分布来调节，无法根据焦斑形态直接测量出失调量，因此实际过程需要通过多次反复调节来逐渐逼近最优焦斑，调节过程繁琐，影响实验效率。

技术实现思路

[0003]为了克服现有离轴抛物面镜光路失调测量方法的不足，本专利技术提出了一种离轴抛物面镜失调的调节方法。本方法具有鲁棒性强、精度高、全自动化、速度快的优点，有助于离轴抛物面镜的高效调节。
[0004]本专利技术采用以下技术方案实现：
[0005]一种离轴抛物面镜失调的调节方法，其特点在于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离轴抛物面镜失调的调节方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1)离轴抛物面镜(2)固定在多轴调节装置(5)的控制端，图像传感器(3)位于所述的离轴抛物面镜(2)焦点位置，所述的图像传感器(3)的输出端与含有深度学习模型的图像处理单元(4)的输入端相连，所述的含有深度学习模型的图像处理单元(4)的输出端与所述的多轴调节装置(5)的输入端相连，将输入光源(1)的输出光经过所述的离轴抛物面镜(2)聚焦并入射到所述的图像传感器(3)中，成像出焦斑图像；2)所述的图像传感器(3)将所述的焦斑图像输入所述的含有深度学习模型的图像处理单元(4)；3)所述的含有深度学习模型的图像处理单元(4)对所述的焦斑图像进行处理后，显示当前焦斑图像对应的离轴抛物面镜(2)的光轴与输入光源(1)的光轴的N个元素的误差向量，并向所述的多轴调节装置(5)输出，其中，N是所述的多轴调节装置(5)的可调整维度，N个元素的误差向量X1、X2、
……
、XN相对应维度的误差向量的元素值为E1、E2、
……
、EN；4)所述的多轴调节装置(5)根据所述的N个元素的误差向量的元素值E1、E2、
……
、EN，通过所述的多轴调节装置(5)对应维度的调节，使所述的离轴抛物面镜(2)的光轴与所述的输入光源(1)的光轴的误差达到最小，即完成所述的离轴抛物面镜(2)的失调的调节。2.根据权利要求1所述的离轴抛物面镜失调的调节方法，其特征在于所述的含有预训练深度学习模型的图像处理单元(4)对所述的焦斑图像的处理方法包括下列步骤：1)对输入的焦斑图像进行图像分割预处...

【专利技术属性】
技术研发人员：张栋俊，姚修宇，朱坪，易友建，康海涛，谢兴龙，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：