一种石英坩埚电极零位的校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚电极零位的校准装置，包括设置在冷却板上表面的激光发射器以及激光接收器，其中，所述激光发射器、所述激光接收器与所述冷却板的通孔位于同一直线上且位于所述通孔的异侧，用于检测通过所述通孔的电极的电极位置并输出。通过在冷却板设置激光发射器以及激光接收器，使得激光发射器、所述激光接收器与所述冷却板的通孔位于同一直线上且位于所述通孔的异侧，可以通过激光接收器是否检测到激光发射器的信号获得通过通孔的电极的电极位置并输出，实现对于电极位置的实时监测和输出，当电极升降到水冷板的上方，电极末端移动到激光接收器可以接收到信号时为电极零位，实现零位校准，提高坩埚制造的效率以及质量。效率以及质量。效率以及质量。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚电极零位的校准装置


[0001]本技术涉及石英坩埚的加工
，更具体地说，涉及一种石英坩埚电极零位的校准装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚是用于单晶硅行业的加工工具。通常石英坩埚的制造方法是电弧法加工：电弧法通过石墨电极作为载体，熔融过程中电极位置需要伸到埚里面，现场按设定程序对电极位置进行上下移动，每次生产完坩埚后断弧，运行员工都要手动目视将石墨电极升到距离水冷板下方300mm的位置，员工目视存在偏差。
[0003]此外，运行员工熔融前电极位置需要伸到水冷板以下300mm的位置，起弧后电极按照程序设定进行上下移动，每生产一个坩埚电极都会腐蚀掉一部分，生产3个坩埚需要消耗一组电极。
[0004]因此，需要解决起始位置不一样对坩埚的品质也会带来差异。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供了一种石英坩埚电极零位的校准装置，解决起始位置不一样对坩埚的品质也会带来差异，提高石英坩埚的品质以及制造效率。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种石英坩埚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚电极零位的校准装置，其特征在于，包括设置在冷却板上表面的激光发射器以及激光接收器，其中，所述激光发射器、所述激光接收器与所述冷却板的通孔位于同一直线上且位于所述通孔的异侧，用于检测通过所述通孔的电极的电极位置并输出。2.如权利要求1所述石英坩埚电极零位的校准装置，其特征在于，所述激光发射器与对应的所述激光接收器位于所述冷却板的同一直径上。3.如权利要求2所述石英坩埚电极零位的校准装置，其特征在于，所述激光发射器与对应的所述激光接收器位于所述冷却板的圆周边缘。4.如权利要求3所述石英坩埚电极零位的校准装置，其特征在于，所述激光发射器、所述激光接收器组成的检测组的数量为多组。5.如权利要求4所述石英坩埚电极零位的校准装置，其特征在于，多个所述检测组在所述冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：周勇，吴伟华，方志远，徐立涛，刘涛，
申请(专利权)人：宁夏鑫晶新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：