电荷感应放大电路制造技术

本发明专利技术提供一种电荷感应放大电路，其包括：电荷感应放大器；耦接于所述电荷感应放大器的第一输入端和第一输出端之间的第一反馈电容和第一电阻网络；耦接于所述电荷感应放大器的第二输入端和第二输出端之间的第二反馈电容和第二电阻网络；输入共模放大器，其第一输入端与所述电荷感应放大器的第一输入端耦接，其第二输入端与所述电荷感应放大器的第二输入端耦接，其第三输入端耦接于共模参考电压，其输出端耦接至第一电阻网络和第二电阻网络。即便是存在漏电流，通过所述输入共模放大器的负反馈也可以使得输入共模电压保持恒定。器的负反馈也可以使得输入共模电压保持恒定。器的负反馈也可以使得输入共模电压保持恒定。

【技术实现步骤摘要】
电荷感应放大电路


[0001]本专利技术涉及电路设计领域，尤其涉及一种电荷感应放大电路(Charge Sense Amplifier)。

技术介绍

[0002]MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，微机电系统)传感器，比如MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等，目前应用非常广泛。这些MEMS传感器中通常会涉及到感应可变检测电容组上的电压变化，根据所述电压变化来测量加速度或角速度。
[0003]所述检测电容组通常包括第一检测电容和第二检测电容，两个检测电容的电容值随着感测物理量的变化而反向变化，比如一个增大，另一个就减小，一个减小，另一个就增大。所述MEMS传感器通过电荷感应放大器放大两个检测电容上的电压差。然而，由于所述电荷感应放大器存在不可避免的漏电流，使得所述电荷感应放大器的两个输入端的共模电压比预期电压要低，进而导致数据检测不准确。
[0004]因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

>[0005]本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电荷感应放大电路，其特征在于，其包括：电荷感应放大器，其包括第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端；耦接于所述电荷感应放大器的第一输入端和第一输出端之间的第一反馈电容和第一电阻网络；耦接于所述电荷感应放大器的第二输入端和第二输出端之间的第二反馈电容和第二电阻网络；输入共模放大器，其包括第一输入端、第二输入端、第三输入端和输出端，其第一输入端与所述电荷感应放大器的第一输入端耦接，其第二输入端与所述电荷感应放大器的第二输入端耦接，其第三输入端耦接于共模参考电压，其输出端耦接至第一电阻网络和第二电阻网络。2.根据权利要求1所述的电荷感应放大电路，其特征在于，所述输入共模放大器被配置的将其第一输入端的电压和第二输入端的电压的和的1/2与所述共模参考电压进行比较，并放大两者之间的电压差后输出，通过所述输入共模放大器的负反馈，使得其第一输入端的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：布莱克梅尔，
申请(专利权)人：美新半导体天津有限公司，
类型：发明
国别省市：