一种复合薄膜的制备方法及薄膜技术

本发明专利技术公开了一种复合薄膜的制备方法及薄膜，应用于复合薄膜制备技术领域，包括：在前驱体溶液中添加碳纳米管，形成混合溶液；在基板的牺牲层表面设置混合溶液，固化后形成复合薄膜；对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品；将待分离样品沿倾斜角度浸入湿法腐蚀溶液，去除牺牲层，使复合薄膜与基板分离，至复合薄膜漂浮于湿法腐蚀溶液表面；通过清洗液清洗分离后的复合薄膜，晾干后制成复合薄膜。通过释放其应力，可以避免在后续分离步骤中因为应力造成复合薄膜的破裂；之后将待分离样品以倾斜角度浸入湿法腐蚀溶液，可以避免溶液对薄膜的破坏，且使得复合薄膜在分离时可以具有完整，平整的结构。平整的结构。平整的结构。

【技术实现步骤摘要】
一种复合薄膜的制备方法及薄膜


[0001]本专利技术涉及复合薄膜制备
，特别是涉及一种复合薄膜的制备方法以及一种复合薄膜。

技术介绍

[0002]PI(Polymide，聚酰亚胺)薄膜具有优异的机械性能、热稳定性和电学特性，非常适合应用在热探测器和热辐射器中作为像元的基本材质。例如可见光/红外转换薄膜，一种红外场景生成器件，需要依赖大尺寸自悬浮PI薄膜作为像元阵列的基底，实现对高分辨率可见光图像的热吸收，然后二次辐射高分辨率红外图像，已成功应用于红外成像制导半实物仿真系统试验中。但PI薄膜具有较高的透明度，需要额外的光吸收层进行光
‑
热
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光转换。虽然当前已有多种宽波段高吸收材料可以制备在PI薄膜上，例如超材料、纳米锥、多孔金属薄膜等。但超材料需要使用电子束刻蚀技术，工艺价格昂贵，目前难以在PI薄膜上大面积集成。纳米锥具有粗糙的表面，可以抑制宽波段电磁波反射，但是需要较高的厚度不适用于对热质量有较高要求的像元。多孔金属薄膜采用热蒸发技术制备，虽然热质量较小，但机械性能较差，长时间光照升温会引发脱落。因此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在前驱体溶液中添加碳纳米管，形成混合溶液；在基板的牺牲层表面设置所述混合溶液，固化后形成复合薄膜；对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品；将所述待分离样品沿倾斜角度浸入湿法腐蚀的溶液，去除所述牺牲层，使所述复合薄膜与所述基板分离，至所述复合薄膜漂浮于所述湿法腐蚀溶液表面；通过清洗液清洗分离后的所述复合薄膜，晾干后制成所述复合薄膜。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过清洗液清洗分离后的所述复合薄膜，晾干后制成所述复合薄膜包括：通过去离子水清洗分离后的所述复合薄膜；沿垂直方向从所述去离子水中将所述复合薄膜提拉出，晾干后制成所述复合薄膜。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品之后，还包括：沿所述待分离样品边缘划刻所述复合薄膜。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品包括：对附着在基板表面的复合薄膜加热进行应力释放，并自然恢复至室温，得到待分离样品。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述牺牲层为二氧化硅层，所述湿法腐蚀的溶液为氢氟酸溶液。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在设置于基板的牺牲层表面设置所述混合溶液，固化后形成复合薄膜之后，还包括：对所述复合薄膜进行图案化。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述碳纳米管为短多壁碳纳米管。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述在前驱体溶液中添加短多壁碳纳米管，形成混合溶液的步骤包括：对所述短多壁碳纳米管进行表面处理，以增加所述短多壁碳纳米管与聚酰亚胺基体之间的结合键；将经过表面处理的短多壁碳纳米管添加...

【专利技术属性】
技术研发人员：周朗，郭芬，
申请(专利权)人：山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：