一种喷流装置制造方法及图纸

本申请实施例提出一种喷流装置，包括：上喷头、下喷头、喷流管、回流座；所述上下喷头之间增设喷流控制板，控制板内侧有均匀排布6个直径3mm喷射小圆孔，上下喷头并用六颗PTFE螺丝固定，以控制研磨液喷射的方向及角度，呈现出扇形的喷射效果。本申请实施例的一种喷流装置，其解决了研磨液在输送过程中容易在桶槽内结晶沉积的问题，使研磨液在输送CMP机台应用中有效避免结晶沉积导致晶圆研磨良率低，甚至导致机台宕机，使制程工艺更安全、更可靠、更稳定；其技术方案要点为喷头间隙的调整与喷流控制板的使用；改善混合喷流效果，使研磨液在桶槽内充分搅拌与均匀混合，提高晶圆品质。提高晶圆品质。提高晶圆品质。

【技术实现步骤摘要】
一种喷流装置


[0001]本申请涉及化学品设备领域，进一步涉及CMP机台研磨液输送领域，更具体地说，它涉及一种喷流装置。

技术介绍

[0002]在电子和半导体行业，化学品供应过程中桶槽内研磨液容易产生结晶及沉积、供液不及时，从而导致晶圆研磨良率低，设备宕机或损坏，产品报废。
[0003]14nm高晶圆制程和化学品与研磨液供应过程需要使用到喷流装置；而现有的喷流装置无喷流功能，效果非常不好，易沉积、易堵塞，拆卸不方便，难清洗、难维护。
[0004]因此，提出一种喷流装置。

技术实现思路

[0005]本申请实施例所要解决的技术问题在于，提供了一种喷流装置，能够防止研磨液在输送过程中容易在桶槽内结晶沉积的问题，使研磨液充分混合均匀，使研磨液在输送CMP机台应用中有效避免结晶沉积导致晶圆研磨良率低机台宕机，使制程工艺更安全、更可靠、更稳定。解决了现有技术中无喷流功能，效果非常不好，易沉积、易堵塞，拆卸不方便，难清洗、难维护的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本申请实施例提出了一种喷流装置，包括依次连接的上喷头本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷流装置，其特征在于，包括依次连接的上喷头、下喷头、喷流管以及回流座；其中，所述上喷头与下喷头之间设置有喷流控制板，以使液体在上喷头与下喷头之间沿着不同的方向均匀喷出。2.如权利要求1所述的喷流装置，其特征在于，所述喷流控制板为六角状结构，每个角之间设置有喷流孔，所述喷流管内的液体通过喷流孔沿着不同方向的夹角均匀喷出。3.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐彬，程一刚，
申请(专利权)人：骏一苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：