一种夹套设备内胆外壁防止氯离子腐蚀方法技术

本发明专利技术公开了一种夹套设备内胆外壁防止氯离子腐蚀方法。本发明专利技术通过在单晶炉内胆外壁增设环绕外围铝合金阳极带，铝合金带作为牺牲阳极阴极保护措施生效，能对不锈钢内胆外壁形成阴极保护，有效缓解氯离子对设备的不锈钢外壁的腐蚀；或在单晶炉相应位置增设辅助阳极和参比电极，连接多路恒电位仪，通过附加电流的方式，实现设备内胆外壁始终保持富电子状态，从而实现对设备内胆外壁形成阴极保护，有效缓解氯离子对设备的不锈钢外壁的腐蚀。解氯离子对设备的不锈钢外壁的腐蚀。解氯离子对设备的不锈钢外壁的腐蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种夹套设备内胆外壁防止氯离子腐蚀方法


[0001]本专利技术属于单晶炉制备
，尤其涉及一种夹套设备内胆外壁防止氯离子腐蚀方法。

技术介绍

[0002]在单晶硅的工业生产过程中，核心设备为单晶炉，为了能够满足工艺要求，一般会采用夹套冷却的形式对设备进行冷却，冷却介质则采用循环水。由于单晶炉与水接触的部分通常采用不锈钢材质，以满足防锈要求，延长设备使用寿命。
[0003]但由于不锈钢材质对游离氯的耐腐蚀性较差，所以一般对循环水的水质是有一定要求的，通常要求水中游离氯离子含量不高于25ppm。不过，在设备运行过程中，循环水水质超标情况经常出现，一旦出现非正常工况，诸如循环水系统进入杂质或部分冷却设备出现内漏等情形，循环水中氯离子含量会急剧增加，会对单晶炉的不锈钢内胆产生腐蚀，一旦循环水水质超标，水中的游离氯离子就会破坏不锈钢材质表面的钝化层，从而对不锈钢内胆进行晶间腐蚀，由于单晶炉夹套层为非可拆卸结构，无法通过设备拆检进行清理，且内胆由于被夹套层覆盖，通常情况下也极难发现，只有当设备锈蚀穿孔才会被发现，此时，因单晶炉内温度高达1400本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹套设备内胆外壁防止氯离子腐蚀方法，其特征在于，所述方法是通过在夹套设备内胆外壁上设置阳极带形成牺牲阳极阴极保护系统，或者在夹套层设置阴极保护形成强制电流阴极保护系统。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述牺牲阳极阴极保护系统的构建方法为：在夹套设备的内胆外壁上缠绕阳极带，通过焊接将阳极带固定于内胆外壁，然后设置夹套。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述阳极带为铝合金带，所述阳极带为宽4cm，厚3cm的铝合金带，每平方米外壁设置1.9～2.1米的铝合金带；所述阳极带优选宽4cm，厚3cm长度为27米的铝合金带。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述牺牲阳极阴极保护系统的保护电流为0.65～2.6A，优选0.65A；保护电流密度为50～200mA/m2。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述强制电流阴极保护系统包括双路强制电流阴极保护系统，一路为设备副室外壁的强制电流阴极保护系统Ⅰ；另一路为设备炉体夹套外壁的强制电流阴极保护系统Ⅱ。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述强制电流阴极保护系统的保护电流为0.65～2.6A，保护电流密度为50～200mA/m2。7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述设备副室外壁的强制电流阴极保护...

【专利技术属性】
技术研发人员：马敏吉，金柯炜，任韶军，吕豪，蒋晓丽，
申请(专利权)人：无锡厚德石化工程设计有限公司，
类型：发明
国别省市：