可拉伸显示面板制造技术

本发明专利技术公开一种可拉伸显示面板，包括可拉伸膜、图案化绝缘结构、多个发光元件、多条导线以及图案化的硬掩模层。可拉伸膜具有多个第一开口。图案化绝缘结构包括多个岛状部以及多个桥接部。相邻的岛状部经由对应的桥接部而相连。发光元件位于岛状部上方。多条导线位于桥接部中。图案化的硬掩模层覆盖图案化绝缘结构，且具有重叠于第一开口的多个第一通孔。图案化的硬掩模层的厚度小于或等于1000埃。案化的硬掩模层的厚度小于或等于1000埃。案化的硬掩模层的厚度小于或等于1000埃。

【技术实现步骤摘要】
可拉伸显示面板


[0001]本专利技术涉及一种可拉伸显示面板。

技术介绍

[0002]随着显示技术的发展，各种显示装置不断推陈出新。为提升显示装置在市面上的竞争力，许多厂商致力于发展新颖的显示装置，其中可拉伸显示装置逐渐受到消费者重视。可拉伸显示装置可以依据不同的应用方式以及应用环境而具有不同的外型。举例来说，可拉伸显示装置可以整合于球面上，由此获得球形的显示装置。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种可拉伸显示面板，可以提升可拉伸膜的第一开口的良率。
[0004]本专利技术的至少一实施例提供一种可拉伸显示面板，包括可拉伸膜、图案化绝缘结构、多个发光元件、多条导线以及图案化的硬掩模层。可拉伸膜具有多个第一开口。图案化绝缘结构包括多个岛状部以及多个桥接部。相邻的岛状部经由对应的桥接部而相连。发光元件位于岛状部上方。多条导线位于桥接部中。图案化的硬掩模层覆盖图案化绝缘结构，且具有重叠于第一开口的多个第一通孔。图案化的硬掩模层的厚度小于或等于1000埃。
[0005]本专利技术的至少一实施例提供一种可拉伸显示面板的制造方法，包括以下步骤。形成图案化绝缘结构于基板上，其中图案化绝缘结构包括多个岛状部以及多个桥接部，且相邻的岛状部经由对应的桥接部而相连。形成硬掩模层于图案化绝缘结构以及基板上。以去光致抗蚀剂液清洗硬掩模层的表面。形成图案化的光致抗蚀剂于硬掩模层的表面。以图案化的光致抗蚀剂为掩模图案化硬掩模层，以形成图案化的硬掩模层。以图案化的硬掩模层为掩模图案化基板，以形成可拉伸膜。r/>附图说明
[0006]图1A与图1B是本专利技术的一实施例的一种可拉伸显示面板的局部俯视示意图；
[0007]图2是沿着图1A的线a
‑
a
’
、b
‑
b
’
的剖面示意图；
[0008]图3A至图3F是图2的可拉伸显示面板的制造方法的剖面示意图；
[0009]图4是本专利技术的一实施例的一种可拉伸显示面板的剖面示意图。
[0010]符号说明
[0011]10,20:拉伸显示面板
[0012]100:可拉伸膜
[0013]100m:基板
[0014]210:第一绝缘层
[0015]220:第二绝缘层
[0016]230:第三绝缘层
[0017]310:第一缓冲层
[0018]320:第二缓冲层
[0019]330:第三缓冲层
[0020]340:第四缓冲层
[0021]410:第一导电层
[0022]412,422,432:导线
[0023]420:第二导电层
[0024]430:第三导电层
[0025]500:图案化的硬掩模层
[0026]500m:硬掩模层
[0027]610:发光元件
[0028]612:导电连接结构
[0029]710:缓冲层
[0030]720:栅绝缘层
[0031]730:层间介电层
[0032]800:半导体层
[0033]a
‑
a
’
,b
‑
b
’
:线
[0034]AE:主动(有源)元件
[0035]C:载板
[0036]DV:去光致抗蚀剂液
[0037]EC:蚀刻剂
[0038]E1:第一方向
[0039]E2:第二方向
[0040]HW:水平宽度
[0041]L1,L2:距离
[0042]O1:第一开口
[0043]O2:第二开口
[0044]OP1,OP2:开口
[0045]P:接垫
[0046]PIS:图案化绝缘结构
[0047]PL:等离子体
[0048]PR:光致抗蚀剂层
[0049]PR
’
:图案化的光致抗蚀剂
[0050]T1,T2:厚度
[0051]TP1:第一岛状部
[0052]TP2:第二岛状部
[0053]TH1:第一通孔
[0054]TH2:第二通孔
[0055]W1,W2,W3,W4:宽度
[0056]WP1:第一桥接部
[0057]WP2:第二桥接部
具体实施方式
[0058]图1A与图1B是依照本专利技术的一实施例的一种可拉伸显示面板的局部俯视示意图，其中图1B是图1A的可拉伸显示面板沿着箭头F的方向拉伸后的状态。图2是沿着图1A的线a
‑
a
’
、b
‑
b
’
的剖面示意图。图1A与图1B绘示了可拉伸膜100、图案化绝缘结构PIS、以及发光元件LD，并省略绘示其他构件。
[0059]请参考图1A、图1B、图2A以及图2B，可拉伸显示面板10包括可拉伸膜100、图案化绝缘结构PIS、多个发光元件610、多条导线412、422、432以及图案化的硬掩模层500。在本实施例中，可拉伸显示面板10还包括接垫P。
[0060]可拉伸膜100具有多个第一开口O1。在本实施例中，可拉伸膜100包括多个第一岛状部TP1以及多个第一桥接部WP1。相邻的第一岛状部TP1经由对应的第一桥接部WP1而相连。各第一桥接部WP1的宽度W1小于各第一岛状部TP1的宽度W2。第一岛状部TP1沿着第一方向E1以及第二方向E2排成阵列。至少部分第一桥接部WP1的两端分别连接至对应的两个的第一岛状部TP1。第一岛状部TP1中的至少两个被第一开口O1隔开。在本实施例中，每个第一开口O1被第一岛状部TP1中对应的四个以及第一桥接部WP1中对应的四个所环绕。在本实施例中，可拉伸膜100的第一开口O1为哑铃状，部分第一开口O1沿着第一方向E1延伸，且另一部分第一开口O1沿着第二方向E2延伸。沿着第一方向E1延伸的部分第一开口O1以及沿着第二方向E2延伸的另一部分第一开口O1交替排列，由此提升可拉伸显示面板10的可伸缩性。
[0061]在一些实施例中，可拉伸膜100的材质包括聚酰亚胺(polyimide；PI)、聚萘二甲酸乙醇酯(polyethylene naphthalate；PEN)、聚对苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate；PET)、聚碳酸酯(polycarbonates；PC)、聚醚砜(polyether sulfone；PES)或聚芳基酸酯(polyarylate)或其组合或其他合适的材料。在一些实施例中，可拉伸膜100选用可以承受薄膜晶体管制作工艺的温度的材料。在一些实施例中，可拉伸膜100的厚度T1为1微米至10微米。
[0062]图案化绝缘结构PIS位于可拉伸膜100上。在本实施例中，图案化绝缘结构PIS包括第一绝缘层210、第二绝缘层220以及第三绝缘层230，且选择性地包括第一缓冲层310、第二缓冲层320以及第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拉伸显示面板，包括：可拉伸膜，具有多个第一开口；图案化绝缘结构，包括：多个岛状部；以及多个桥接部，其中相邻的该些岛状部经由对应的该些桥接部而相连；多个发光元件，位于该些岛状部上方；多条导线，位于该些桥接部中；以及图案化的硬掩模层，覆盖该图案化绝缘结构，且具有重叠于该些第一开口的多个第一通孔，其中该图案化的硬掩模层的厚度小于或等于1000埃。2.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，其中各该第一通孔包括倾斜侧壁，且该倾斜侧壁的水平宽度小于0.5微米。3.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，还包括：多个主动元件，设置于该些岛状部中。4.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，还包括：多个接垫，设置于该些岛状部的表面，且该图案化的硬掩模层还包括重叠于该些接垫的多个第二通孔。5.如权利要求4所述的可拉伸显示面板，其中该图案化的硬掩模层接触该些接垫。6.如权利要求1所述的可拉伸显示面板，其中该图案化的硬掩模层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：江丞伟，何毅达，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：