基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法技术

一种基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法，电调谐滤波器由下而上依次的硅衬底层、底部“回”字形金电极层、空气悬空层、顶部“S”形硅桥面层和顶部金“插指”电极层构成；硅顶部桥面层的桥面悬臂拐角和桥腿固定连接处为“圆弧”结构，顶部金“插指”电极层的四个内边各有一根“插指”电极，该“插指”电极的固定端的圆弧半径与硅顶部桥面层的拐角的桥面圆弧一致。本发明专利技术的圆弧形微桥结构有效解决传统“直臂”型结构中90

【技术实现步骤摘要】
基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及红外光谱探测领域中所需的核心动态光谱滤波器，特别是一种基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法。

技术介绍

[0002]红外焦平面探测芯片的发展，目前正处在第三代大规模、高密度，并逐渐明朗下一代发展方向之一，以强度探测为基础，融合光谱信息的“图谱合一”的新型探测技术。相比于传统强度探测方式，在云雾遮挡、沙尘等恶劣环境下无法进行目标的有效探测。结合红外光谱的“指纹”识别信息，可以针对复杂环境，主动选择光谱范围从而抑制背景噪声，提高信噪比，实现有效目标识别。利用高品质光谱选择增加光谱信息的获取通道。
[0003]实现系统级芯片(SOC)的关键是片上主动调谐分光技术。近年来以美国为主导的发达国家对此关键技术进行大力研究。目前主要技术路线集中于基于法布里
‑
珀罗(F
‑
P)原理的悬空微桥滤波方案。目前的技术以上层可动桥面
‑
中部悬空层
‑
下层固定桥面构成主要滤波结构，在上下电极电压偏置下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于圆弧型悬臂微桥的静电调谐滤波器，其特征在于，该静电调谐滤波器由下而上依次的硅衬底层(1)、底部“回”字形金电极层(2)、空气悬空层(3)、顶部“S”形硅桥面层(4)和顶部金“插指”电极层(5)构成；该静电调谐滤波器的俯视图呈正方形，所述的硅顶部桥面层(4)的桥面悬臂拐角(41)和桥腿固定连接处(42)为“圆弧”结构，所述的顶部金“插指”电极层(5)的四个内边各有一根“插指”电极(51)，该“插指”电极(51)的固定端(512)的圆弧半径R与所述的硅顶部桥面层(4)的拐角的桥面圆弧(41)，即桥腿固定处的圆弧半径(R1)一致，所述的四根“插指”电极(51)各自沿逆时针方向向对边延伸，所述的“插指”电极(51)的末端(511)与相邻内边的硅顶部桥面层(4)的桥面圆弧(41)的拐角的直径齐平，所述的“插指”电极(51)下的硅顶部桥面层(4)的桥面与所述的底部金电极层“回”字形区域(2)直接面对。2.权利要求1所述的基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器的制备方法，其特征在于包括下列步骤：1)在所述的硅衬底层(1)上用光刻剥离工艺，...

【专利技术属性】
技术研发人员：应翔霄，周易，周建，田惠莲，陈建新，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：