【技术实现步骤摘要】
和二维扫描振镜1
‑
6与计算机控制系统1
‑
7相连,并受其控制;
[0010]3)高重频飞秒激光器1
‑
2受计算机控制系统1
‑
7控制输出基模高斯激光,波长为1030nm、脉宽240fs、单脉冲能量30μJ、重复频率1
‑
200KHz可调、平均功率1
‑
20W可调;
[0011]4)将紫铜板材基底固定于三维移动平台系统1
‑
5的移动载物平台上,通过计算机控制系统1
‑
7调整激光焦点位于紫铜板材基底加工表面上,调控激光重复频率、扫描速度、以及扫描次数等参数,通过计算机控制系统1
‑
7控制二维扫描振镜1
‑
6,依次按照所规划不同扫描路径扫描不同次数,以在紫铜板材基底待加工表面获得预期微纳复合阵列结构,得到激光加工完成样品2
‑
5;
[0012]5)搭建石蜡蒸发沉积处理实验装置2:石蜡蒸发沉积实验装置2包括铁架台2
‑
1、两爪夹2 />‑
2、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于飞秒激光和石蜡蒸发沉积处理制备超疏水表面的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)采用紫铜基底作为加工对象;2)搭建飞秒激光扫描加工系统(1):飞秒激光扫描加工系统(1)包括防震平台(1
‑
1)、高重频飞秒激光器(1
‑
2)、反射镜组(1
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3)、扩束镜(1
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4)、三维移动平台系统(1
‑
5)、二维扫描振镜(1
‑
6)和计算机控制系统(1
‑
7);高重频飞秒激光器(1
‑
2)、反射镜组(1
‑
3)、扩束镜(1
‑
4)、三维移动平台系统(1
‑
5)、二维扫描振镜(1
‑
6)和计算机控制系统(1
‑
7)均布置在防震平台(1
‑
1)上,高重频飞秒激光器(1
‑
2)发射出的激光高斯光束经过反射镜组(1
‑
3)折转光路和扩束镜(1
‑
4)扩束后进入二维扫描振镜(1
‑
6),二维扫描振镜(1
‑
6)将光束聚焦在三维移动平台系统(1
‑
5)的移动平台上表面,并通过三维移动平台系统(1
‑
5)调整焦点在Z轴上的位置;高重频飞秒激光器(1
‑
2)、三维移动平台系统(1
‑
5)和二维扫描振镜(1
‑
6)与计算机控制系统(1
‑
7)相连,并受其控制;3)高重频飞秒激光器(1
‑
2)受计算机控制系统(1
‑
7)控制输出基模高斯激光,波长为1030nm、脉宽240fs、单脉冲能量30μJ、重复频率1
‑
200KHz可调、平均功率1
‑
20W可调;4)将紫铜板材基底固定于三维移动平台系统(1
‑
5)的移动载物平台上,通过计算机控制系统(1
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员:王文君,刘晓,潘爱飞,袁斯宾,樊盼盼,周梦,闫英杰,
申请(专利权)人:西安交通大学,
类型:发明
国别省市:
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