一种硅片烘干炉的温区隔离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片烘干炉的温区隔离装置，其包括底座，所述底座一侧设有滑轨，所述滑轨与所述底座垂直，所述滑轨上连接有滑块以及用于驱动所述滑块的驱动电机，所述滑块上固定连接有闸门，所述底座设有滑轨的一侧边缘位于所述滑轨与闸门之间；所述底座上还设有导向件，所述导向件一侧位于所述底座上，另一侧延伸出底座外，所述导向件从底座向上垂直延伸，且围合所述闸门。本实用新型专利技术能够实现自动开合，且在频繁开合时仍能稳定使用，采用该装置能够使硅片烘干时受热更均匀，从而提升硅片烘干效果、成品率及其性能，并且减少硅片烘干炉的能耗，降低加工成本。降低加工成本。降低加工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干炉的温区隔离装置


[0001]本技术涉及硅片烘干
，尤其是指一种硅片烘干炉的温区隔离装置。

技术介绍

[0002]HIT太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，申请号为201820626118.9的专利公开了一种卡塞式硅片烘干炉，通过在卡塞结构上设置若干装载单元，能够在一个卡塞结构上装载较多硅片，从而大大提高硅片烘干炉的加工效率，而上述硅片烘干炉的若干个加热温区是连通的，导致相邻加热温区的循环热送风系统在使用时互相影响，从而导致硅片受热不均，烘干效果欠佳，且增加硅片烘干炉的能耗，增加加工成本。由于上述硅片烘干炉温区内设有运输通道，温区需要在运输时连通，在烘干加热时相互隔离，因此，需要设计一种能够自动开合，且在频繁开合时仍能稳定使用的温区隔离装置。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中存在的不足，提供一种硅片烘干炉的温区隔离装置，其能实现自动开合，且在频繁开合时仍能稳定使用，采用该装置能够使硅片烘干时受热更均匀，从而提升硅片烘干效果、成品率及其性能，并且减少硅片烘干炉的能耗，降低加工成本。
[0004]按照本技术提供的技术方案，所述温区隔离装置包括底座，所述底座一侧设有滑轨，所述滑轨与所述底座垂直，所述滑轨上连接有滑块以及用于驱动所述滑块的驱动电机，所述滑块上固定连接有闸门，所述底座设有滑轨的一侧边缘位于所述滑轨与闸门之间；
[0005]所述底座上还设有导向件，所述导向件一侧位于所述底座上，另一侧延伸出底座外，所述导向件从底座向上垂直延伸，且围合所述闸门。
[0006]在本技术的一个实施例中，所述闸门上设多个通孔，所述导向件内壁上设有多个胶条，所述胶条与所述通孔一一对应，对应的所述胶条与通孔可分离插接。
[0007]在本技术的一个实施例中，所述滑轨与所述底座通过连接组件连接，所述连接组件包括第一连接件以及第二连接件；所述第二连接件呈“L”型，一面与所述底座连接，另一面与所述第一连接件连接；所述第一连接件上设有螺栓孔，通过所述螺栓孔与所述滑轨连接。
[0008]在本技术的一个实施例中，所述连接组件还包括加强件，所述加强件呈直角梯形，所述加强件上两角均为直角的腰以及较长的底边均与所述第二连接件连接。
[0009]在本技术的一个实施例中，包括多个平行设置的第一连接件以及多个第二连接件，所述第一连接件均匀间隔设置在所述第二连接件上，多个所述第二连接件分布在所述第一连接件两侧。
[0010]在本技术的一个实施例中，所述闸门下端部设有凸起，所述凸起可与硅片烘干炉的传输链适配卡接。
[0011]在本技术的一个实施例中，所述闸门由隔温材料制成。
[0012]在本技术的一个实施例中，所述滑轨上端部及下端部分别设有原点定位传感器，所述滑轨中端设有速度传感器。
[0013]在本技术的一个实施例中，所述滑轨下端部的原点定位传感器上连接有冷风管道。
[0014]在本技术的一个实施例中，所述闸门的尺寸大于硅片烘干炉运输通道的横截面积。
[0015]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0016]1、本技术温区隔离装置在硅片运输时自动上升阀门，使运输通道连通，在硅片烘干时自动下降闸门，使硅片烘干炉的若干个加热温区相互隔离，实现自动开合，从而使硅片烘干时受热更均匀，提升硅片烘干效果、成品率及其性能，并且减少硅片烘干炉的能耗，降低加工成本。
[0017]2、本技术温区隔离装置闸门在烘干炉传输链静止时隔离在各温区之间，减少温区内运输通道中的氮气泄漏，从而提升烘干效果及成品率。
[0018]3、本技术设有导向件，给闸门上升下降提供基准导向，避免闸门摇晃，提高闸门开合的稳定性。
[0019]4、本技术的闸门上设有与导向件上胶条适配的通孔，在闸门关闭时，通孔与胶条插接，可减少因闸门过重导致的摇晃，提高温区的密封性以及温区隔离装置的稳定性。
附图说明
[0020]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明。
[0021]图1是本技术隔离装置结构示意图；
[0022]图2是本技术隔离装置另一角度下的结构示意图。
[0023]说明书附图标记说明：1
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驱动电机；2
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固定座；3
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滑轨；4
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闸门；5
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第一连接件；6
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第二连接件；7
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加强件；8
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底座；9
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加热模组；10
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氮气风刀；11
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通孔；12
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导向件；13
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运输通道。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0025]参照图1所示，为了实现自动开合，且在频繁开合时仍能稳定使用，本技术包括底座8，所述底座8一侧设有滑轨3，所述滑轨3与所述底座8垂直，所述滑轨3上连接有滑块以及用于驱动所述滑块的驱动电机1，所述滑块上固定连接有闸门4，所述底座8设有滑轨3的一侧边缘位于所述滑轨3与闸门4之间；
[0026]所述底座8上还设有导向件12，所述导向件12一侧位于所述底座8上，另一侧延伸出底座8外，所述导向件12从底座8向上垂直延伸，且围合所述闸门4。
[0027]具体地，硅片烘干炉包括多个温区，任一温区包括一加热模组9，每一加热模组9内包括离心风机以及加热管，通过循环送风系统对加热模组9内的硅片进行烘干，烘干的具体
原理与工作过程均与现有相一致，此处不再赘述。如图1所示，加热模组9内设有凹槽，所述凹槽即为运输通道13，硅片通过传输链运输到加热模组9内进行加热烘干，传输链设置在加热膜组凹槽内，为隔离多个加热膜组，本技术温区隔离装置的底座8支撑在加热模组9的凹槽上方，底座8用于连接闸门4与加热模组9，在底座8边缘处设置滑轨3，滑轨3一面与底座8对应，另一面上连接滑块和闸门4，采用此种结构，可使闸门4悬置在加热模组9一侧，通过闸门4的上升或下降即可实现相邻加热模组9之间运输通道13的通断，运输通道13的通断具体是指相邻温区之间的通断。驱动电机1通过固定座2连接在滑轨上，通过驱动滑块实现闸门的上升和下降，具体与现有相一致，此处不再赘述。
[0028]具体实施时，闸门4初始状态为闭合状态，即闸门4保持隔离在相邻温区之间，当传输链传输时，闸门4上升，运输通道13打开，待烘干的硅片可由传输链运输至加热模组9内；当硅片运输到指定位置时，闸门4下降，闸门4的尺寸大于硅片烘干炉运输通道13的横截面积，传输通道关闭，加热模本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干炉的温区隔离装置，其特征在于：包括底座，所述底座一侧设有滑轨，所述滑轨与所述底座垂直，所述滑轨上连接有滑块以及用于驱动所述滑块的驱动电机，所述滑块上固定连接有闸门，所述底座设有滑轨的一侧边缘位于所述滑轨与闸门之间；所述底座上还设有导向件，所述导向件一侧位于所述底座上，另一侧延伸出底座外，所述导向件从底座向上垂直延伸，且围合所述闸门。2.根据权利要求1所述的硅片烘干炉的温区隔离装置，其特征在于：所述闸门上设多个通孔，所述导向件内壁上设有多个胶条，所述胶条与所述通孔一一对应，对应的所述胶条与通孔可分离插接。3.根据权利要求1所述的硅片烘干炉的温区隔离装置，其特征在于：所述滑轨与所述底座通过连接组件连接，所述连接组件包括第一连接件以及第二连接件；所述第二连接件呈“L”型，一面与所述底座连接，另一面与所述第一连接件连接；所述第一连接件上设有螺栓孔，通过所述螺栓孔与所述滑轨连接。4.根据权利要求3所述的硅片烘干炉的温区隔离装置，其特征在于：所述连接组件还包括加...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会，谭建辉，李运辉，
申请(专利权)人：苏州南北深科智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：