一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，包括移载导轨架、存置箱架，所述移载导轨架的右侧设有存置箱架，所述存置箱架中存置有多组所述锁定架，所述锁定架中锁定有喷嘴，所述移载导轨架上安装有锁定移载组件，所述锁定移载组件用于锁定架的夹取锁定和存置归位。定移载组件用于锁定架的夹取锁定和存置归位。定移载组件用于锁定架的夹取锁定和存置归位。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置


[0001]本专利技术涉及涂胶显影设备
，具体为一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置。

技术介绍

[0002]显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解，在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术。而且，进行显影的方式有很多种，广泛使用的方法是喷洒方法。这种显影方式可以分为三个阶段，硅片被置于旋转台上，并且在硅片表面上喷洒显影液；然后硅片将在静止的状态下进行显影；显影完成后，需要经过漂洗，之后再烘干。喷洒显影液时，一般在喷管上安装多个喷嘴，对硅片表面进行均匀喷洒，其中，应用在显影中的喷嘴也有多个类型，有时会根据喷洒的方式，来选择对应的喷嘴，或涂胶显影机中的不同步骤中，更换喷嘴；现有的显影机中的喷管中的喷嘴，都是采用逐个安装锁定，且锁定后，再次更换、以及间距调节均较为繁琐，从而降低显影效率。
[0003]因此，本领域技术人员提供了一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案，一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，包括移载导轨架、存置箱架，所述移载导轨架的右侧设有存置箱架，所述存置箱架中存置有多组所述锁定架，所述锁定架中锁定有喷嘴，所述移载导轨架上安装有锁定移载组件，所述锁定移载组件用于锁定架的夹取锁定和存置归位。
[0005]进一步，作为优选，所述锁定移载组件包括存储箱，所述存储箱两端分别设有支脚，所述支脚下端与活动夹上端相铰接，活动夹下端固定有夹取座，所述支脚中部设有伸缩气缸，两侧所述活动夹中部共同铰接在伸缩气缸下输出端上，所述存储箱中连通有喷管，喷管上连通有多组的软管。
[0006]进一步，作为优选，所述锁定架包括上锁板、F型杆，所述上锁板两端分别固定有固位隔板，固位隔板外板面侧固定有转载块，所述上锁板长板面上开设有上滑道，上滑道中滑动有上万向壳座，上滑道两侧设有限位滑轨，限位滑轨固定在上锁板上，所述F型杆一端端头固定连接在上万向壳座上，F型杆中部杆端嵌入限位滑轨中滑动连接；
[0007]且上万向壳座内活动连接有上万向球套，上万向球套中嵌入固定有连通管，连通管的上端可拆卸的与软管相连接，所述连通管中还嵌入有可滑动的锁定管套，锁定管套上端外管壁固定活塞圈，活塞圈的外圈壁与连通管管壁贴合密封。
[0008]进一步，作为优选，左右侧的所述转载块外端块面分别固定有角板座，所述角板座上设有定位横移导轨，定位横移导轨上安装有衔接班，衔接板上固定有衔接滑杆，左右侧所述衔接滑杆上配合套有可滑动的下锁板，且下锁板的一端还连接在定位气缸输出端上，所述定位气缸的另一端固定在衔接板上；
[0009]且所述下锁板长板面上开设有下滑道，下滑道中滑动有下万向壳座，下万向可座
内活动连接有下万向球套，下万向球套中开设有用于安装喷嘴的安装孔。
[0010]进一步，作为优选，所述锁定管套下端口内壁上还固定有锁紧圈垫，所述锁紧圈垫同心间隔设置多组。
[0011]进一步，作为优选，所述限位滑轨的外侧还设有滑缝，F型杆另一端端头贯穿滑缝滑动连接，且F型杆另一端端头的底部还固定有限位滑块，限位滑块中还设有定位电机，定位电机输出端固定有直齿轮，直齿轮啮合连接在齿条上，所述齿条固定在固位隔板下板面上。
[0012]进一步，作为优选，所述下滑道与上滑道结构相同，所述下滑道中的侧滑面还设有气道槽，所述气道槽中铺设有多组密集的弹性网条，弹性网条横截于气道槽设置，多组所述弹性网条的外端头分别连接在弹性带条的内带面上，且所述弹性带条铺设在气道槽外部密封连接形成密封气腔，且所述密封气腔连通有气管，气管的另一端与外部设有的控气泵相连通。
[0013]进一步，作为优选，所述存置箱架上端还设有可升降的冲洗箱，冲洗箱下端安装有多组的冲洗管嘴，冲洗管嘴正下方设有托座，托座固定在存置托板上，存置托板两端下板面通过连接弹簧连接在存置箱架中部架面上，且所述存置箱架下端还设有收集箱。
[0014]与现有技术相比，本专利技术提供了一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，具备以下有益效果，
[0015]本专利技术中锁定架预先对喷嘴进行锁定，其中，通过上锁板和下锁板的设置方式，使得喷嘴的安装更加便捷高效，通过锁定圈垫保证了喷嘴的锁定牢固强度，通过活塞圈、锁定管套、连通管的结构，使得锁定管套与连通管活动对接，再配合定位横移导轨调控下锁板在平面上左右移动，定位导轨调控下锁板在平面上前后移动，调整喷嘴的朝向，从而使得喷嘴的所处位置和朝向的调控更加全面和精密，且在每次喷嘴使用完成后，并可冲洗管嘴快速直接对喷嘴进行冲洗，从而保证喷嘴的整洁性，因此，本装置中的锁定架、移载导轨架、锁定移载组件以及冲洗管嘴，不仅保证了喷嘴的锁定牢固强度、安装拆卸便捷高效，也使得锁定后的喷嘴的所处位置以及朝向便捷且调控精密。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的涂胶显影机用的喷嘴锁定装置结构示意图；
[0017]图2为本专利技术的锁定移载组件局部结构放大示意图；
[0018]图3为本专利技术的锁定架局部结构放大示意图；
[0019]图4为本专利技术的上锁板和下锁板局部剖视结构放大示意图；
[0020]图中，1、移载导轨架；2、锁定移载组件；3、锁定架；4、存置箱架；5、存置托板；6、托座；7、连接弹簧；8、冲洗箱；9、冲洗管嘴；10、收集箱；11、支脚；12、活动夹；13、伸缩气缸；14、夹取座；15、存储箱；16、喷管；17、软管；18、上锁板；181、固位隔板；182、转载块；183、上滑道；184、限位滑轨；185、滑缝；186、上万向壳座；187、F型杆；188、限位滑块；1861、上万向球套；1862、连通管；1863、锁定管套；1864、活塞圈；1865、锁紧圈垫；1881、定位电机；1882、直齿轮；1883、齿条；19、角板座；20、定位横移导轨；21、衔接板；22、下锁板；23、定位气缸；24、喷嘴；221、下滑道；222、下万向壳座；223、下万向球套；189、气道槽；1810、弹性网条；1811、弹性带条；1812、气管。
具体实施方式
[0021]参照图1
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4，本专利技术提供一种技术方案，一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，包括移载导轨架1、存置箱架4，所述移载导轨架1的右侧设有存置箱架4，所述存置箱架4中存置有多组所述锁定架3，所述锁定架3中锁定有喷嘴24，所述移载导轨架1上安装有锁定移载组件2，所述锁定移载组件2用于锁定架3的夹取锁定和存置归位，其中，通过锁定架将多个喷嘴、多个不同用途的喷嘴进行锁定固定，存置在存置箱架中，使得涂胶显影机所需使用喷嘴或不同用途的喷嘴时，能够快捷的进行更换。
[0022]本实施例中，所述锁定移载组件2包括存储箱15，所述存储箱15两端分别设有支脚11，所述支脚11下端与活动夹12上端相铰接，活动夹12下端固定有夹取座14，所述支脚11中部设有伸缩气缸13，两侧所述活动夹12中部共同铰接在伸缩气缸13下输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，包括移载导轨架(1)、存置箱架(4)，所述移载导轨架(1)的右侧设有存置箱架(4)，其特征在于：所述存置箱架(4)中存置有多组所述锁定架(3)，所述锁定架(3)中锁定有喷嘴(24)，所述移载导轨架(1)上安装有锁定移载组件(2)，所述锁定移载组件(2)用于锁定架(3)的夹取锁定和存置归位。2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，其特征在于，所述锁定移载组件(2)包括存储箱(15)，所述存储箱(15)两端分别设有支脚(11)，所述支脚(11)下端与活动夹(12)上端相铰接，活动夹(12)下端固定有夹取座(14)，所述支脚(11)中部设有伸缩气缸(13)，两侧所述活动夹(12)中部共同铰接在伸缩气缸(13)下输出端上，所述存储箱(15)中连通有喷管(16)，喷管(16)上连通有多组的软管(17)。3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，其特征在于，所述锁定架(3)包括上锁板(18)、F型杆(187)，所述上锁板(18)两端分别固定有固位隔板(181)，固位隔板(181)外板面侧固定有转载块(182)，所述上锁板(18)长板面上开设有上滑道(183)，上滑道(183)中滑动有上万向壳座(186)，上滑道(183)两侧设有限位滑轨(184)，限位滑轨(184)固定在上锁板(18)上，所述F型杆(187)一端端头固定连接在上万向壳座(186)上，F型杆(187)中部杆端嵌入限位滑轨(184)中滑动连接；且上万向壳座(186)内活动连接有上万向球套(1861)，上万向球套(1861)中嵌入固定有连通管(1862)，连通管(1862)的上端可拆卸的与软管(17)相连接，所述连通管(1862)中还嵌入有可滑动的锁定管套(1863)，锁定管套(1863)上端外管壁固定活塞圈(1864)，活塞圈(1864)的外圈壁与连通管(1862)管壁贴合密封。4.根据权利要求3所述的一种涂胶显影机用的喷嘴锁定装置，其特征在于，左右侧的所述转载块(182)外端块面分别固定有角板座(19)，所述角板座(19)上设有定位横移导轨(20)，定位横移导轨(20)上安装有衔接班(21)，衔接板(21)上固定有衔接滑杆，左...

【专利技术属性】
技术研发人员：安礼余，
申请(专利权)人：宇弘研科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：