一种PZT压电陶瓷、及其电极的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种PZT压电陶瓷电极、及其电极的制备方法，属于压电陶瓷的技术领域。包括步骤一、取用已印刷电极的陶瓷薄片，通入空气并升温至450～550℃，并保温45～90min；步骤二：提高空气流量，并继续升温至750～850℃，并保温10～30min；步骤三：保温结束，降温到550～650℃，通入氮气，保持3～5min；步骤四：降低氮气流量，随炉降温至常温取出。本发明专利技术采用空气与氮气制备锆钛酸铅压电陶瓷电极，利用氮气增加陶瓷晶体内氧空位的数量，减少电极表面氧化带来的缺陷和玻璃相中的微观缺陷，以此降低陶瓷的介电损耗、增加陶瓷的机电耦合系数，提高压电陶瓷薄片的电学特性，提升压电陶瓷高温稳定性和银层附着力。定性和银层附着力。

【技术实现步骤摘要】
一种PZT压电陶瓷、及其电极的制备方法


[0001]本专利技术属于压电陶瓷的
，尤其是一种PZT压电陶瓷、及其电极的制备方法。

技术介绍

[0002]压电陶瓷具有正、逆压电效应、响应快、功耗低、位移分辨率高等优点，其在生物工程、电子技术、精密机械、通讯技术等多个领域得到了广泛的应用。随着精密机械行业的发展，对压电陶瓷器件的微型化和性能提出了更高的要求。压电陶瓷作为产品的核心部件，承担着转化电能和机械能的重要作用，PZT压电陶瓷薄片因其电容大、居里温度较高、平面机电耦合系数大、介电损耗低等众多优异的性能而被广泛的用于光、电、声等高科技领域，尤其在压电泵和水声换能器领域有着广阔的应用前景。
[0003]在医疗行业微型压电泵的设计中，压电陶瓷在高频谐振点长期工作，振动位移达到40um以上，对陶瓷发热以及高可靠性提出了很高的要求；在压电泵的制造过程中，需要承受多道高温烘烤的工艺，对陶瓷Kp的稳定性有一定影响，目前常规丝网印刷
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烘烤
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高温烧银的生产工艺，Kp在120度烘烤后存在下降达到20％左右，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PZT压电陶瓷电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、取用已印刷电极的陶瓷薄片，通入空气并升温至450～550℃，并保温45～90min；步骤二：提高空气流量，并继续升温至750～850℃，并保温10～30min；步骤三：保温结束，降温到550～650℃，通入氮气，保持3～5min；步骤四：降低氮气流量，随炉降温至常温取出。2.根据权利要求1所述的PZT压电陶瓷电极的制备方法，其特征在于，在步骤一中，空气流量不小于2L/min；在步骤2中，空气流量不小于10L/min。3.根据权利要求1所述的PZT压电陶瓷电极的制备方法，其特征在于，在步骤一中，升温速度为8～12℃/min；在步骤2中，升温速度为18～25℃/min。4.根据权利要求1所述的PZT压电陶瓷电极的制备方法，其特征在于，在步骤3中，氮气流量为至12～18L/m...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀琴，吴逸飞，
申请(专利权)人：江苏波速传感器有限公司，
类型：发明
国别省市：