基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置制造方法及图纸

技术编号:37255621 阅读:24 留言:0更新日期:2023-04-20 23:32
本发明专利技术涉及半导体激光技术领域,公开了基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,包括水冷板;第一阶梯热沉安装在水冷板上;第一合束模块安装在第一阶梯热沉,用于发出第一激光波长;第二阶梯热沉安装在水冷板上;第二合束模块安装在第二阶梯热沉,用于发出第二激光波长;反射镜用于反射第一激光波长;波长合束镜设于反射镜前方,波长合束镜用于反射第二激光波长以及对第一激光波长和第二激光波长合束;聚焦镜安装在水冷板上,用于对第一激光波长和第二激光波长聚焦。本发明专利技术实现单台激光器实现双波高功率输出,整体结构紧凑,易于热管理,适于激光加工等领域。适于激光加工等领域。适于激光加工等领域。

【技术实现步骤摘要】
基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置


[0001]本专利技术涉及半导体激光
,特别涉及一种基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置。

技术介绍

[0002]近年来随着技术的进步,激光加工应用越来越广泛,多波长复合加工工艺发展迅速。如铜、镍等金属焊接工艺中,采用蓝光或绿光与红外光复合照射,可利用铜、镍等金属对蓝光、绿光吸收效率高的特点,提高焊接厚度,应用于新能源电池封焊等领域。
[0003]目前常用的双波长复合方式是采用两台不同波长的激光器,利用复合激光加工头将两波长激光复合在同一个焦点上对材料进行照射加工,如此技术制造的的设备通常尺寸较大。
[0004]故需对此作出改进。

技术实现思路

[0005]本专利技术解决的技术问题是针对上述现有技术中存在的缺陷,提供一种基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,其主要目的是通过将第一合束模块和第二合束模块进行空间合束,将多波长高功率的激光会聚到一个点或耦合进光纤进行传输,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题,本专利技术采取的技术方案如下:基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,包括:水冷板;第一阶梯热沉,所述第一阶梯热沉安装在所述水冷板上;第一合束模块,所述第一合束模块安装在所述第一阶梯热沉,所述第一合束模块用于发出第一激光波长;第二阶梯热沉,所述第二阶梯热沉安装在所述水冷板上,所述第二阶梯热沉设置在所述第一阶梯热沉一侧;第二合束模块,所述第二合束模块安装在所述第二阶梯热沉,所述第二合束模块用于发出第二激光波长;反射镜,所述反射镜安装在所述第一阶梯热沉与所述第二阶梯热沉之间,所述反射镜用于反射第一激光波长;波长合束镜,所述波长合束镜安装在所述第一阶梯热沉与所述第二阶梯热沉之间,所述波长合束镜设于所述反射镜前方,所述波长合束镜用于反射第二激光波长以及对第一激光波长和第二激光波长合束;聚焦镜,所述聚焦镜安装在所述水冷板上,所述聚焦镜用于对第一激光波长和第二激光波长聚焦。
[0007]进一步地,所述第一合束模块包括一个以上的第一单巴半导体激光器、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一快轴准直镜、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一光束转换镜、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一慢轴准直镜以及与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一反射镜,所述第一单巴半导体激光器安装在所述第一阶梯热沉上,所述第一快轴准直镜安装在所述第一单巴半导体激光器的出光口,所述第一光束转换镜设置在所述第一快轴准直镜前侧,所述第一慢轴准直镜设置在所述第一光束转换镜的前侧,所述第一反射镜设置在所述第一慢轴准直镜的前侧。
[0008]进一步地,所述第一阶梯热沉设有与所述第一单巴半导体激光器数量适配的阶梯。
[0009]进一步地,所述第一快轴准直镜、所述第一光束转换镜以及所述第一慢轴准直镜上镀有第一增透膜,所述第一反射镜上镀有第一反射膜,所述第一反射膜用于将第一激光波长反射至所述反射镜。
[0010]进一步地,所述反射镜上镀有反射膜,所述反射膜用于将第一激光波长发射至所述波长合束镜。
[0011]进一步地,所述第二合束模块包括一个以上的第二单巴半导体激光器、与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二快轴准直镜、与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二光束转换镜、与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二慢轴准直镜以及与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二反射镜,所述第二单巴半导体激光器安装在所述第二阶梯热沉上,所述第二快轴准直镜安装在所述第二单巴半导体激光器的出光口,所述第二光束转换镜设置在所述第二快轴准直镜前侧,所述第二慢轴准直镜设置在所述第二光束转换镜的前侧,所述第二反射镜设置在所述第二慢轴准直镜的前侧。
[0012]进一步地,所述第二阶梯热沉设有与所述第二单巴半导体激光器数量适配的阶梯。
[0013]进一步地,所述第二快轴准直镜、所述第二光束转换镜以及所述第二慢轴准直镜上镀有第二增透膜,所述第二反射镜上镀有第二反射膜,所述第二反射膜用于将第二激光波长反射至所述波长合束镜。
[0014]进一步地,所述波长合束镜上镀有用于第二激光波长的第三反射膜以及第一激光波长的第三增透膜。
[0015]进一步地,所述聚焦镜上镀有用于第一激光波长和第二激光坡长的第四增透膜。
[0016]与现有技术相比,本专利技术的有益效果在于:通过将第一合束模块和第二合束模块通过反射镜、波长合束镜合束,经由聚焦镜将聚焦,能够在单台激光器上进行实现双波长进行高功率及光输出,其整体结构更为紧凑,易于热管理,更适于激光加工等领域。
附图说明
[0017]图1是本专利技术结构示意图。
[0018]图2是第一合束模块的结构示意图。
[0019]图3是第一合束模块的局部放大结构示意图。
[0020]图4是第二合束模块的结构示意图。
[0021]图5是第二合束模块的局部放大结构示意图。
[0022]图6是本专利技术的原理结构示意图。
[0023]附图标记:1.水冷板;2.第一阶梯热沉;3.第一合束模块;4.第二阶梯热沉;5.第二合束模块;6.反射镜;7.波长合束镜;8.聚焦镜;9.第一单巴半导体激光器;10.第一快轴准直镜;11.第一光束转换镜;12.第一慢轴准直镜;13.第一反射镜;14.第二单巴半导体激光器;15.第二快轴准直镜;16.第二光束转换镜;17.第二慢轴准直镜;18.第二反射镜。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。
[0025]通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本申请,而不能理解为对本申请的限制。在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“若干个”、“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,其特征在于,包括:水冷板;第一阶梯热沉,所述第一阶梯热沉安装在所述水冷板上;第一合束模块,所述第一合束模块安装在所述第一阶梯热沉,所述第一合束模块用于发出第一激光波长;第二阶梯热沉,所述第二阶梯热沉安装在所述水冷板上,所述第二阶梯热沉设置在所述第一阶梯热沉一侧;第二合束模块,所述第二合束模块安装在所述第二阶梯热沉,所述第二合束模块用于发出第二激光波长;反射镜,所述反射镜安装在所述第一阶梯热沉与所述第二阶梯热沉之间,所述反射镜用于反射第一激光波长;波长合束镜,所述波长合束镜安装在所述第一阶梯热沉与所述第二阶梯热沉之间,所述波长合束镜设于所述反射镜前方,所述波长合束镜用于反射第二激光波长以及对第一激光波长和第二激光波长合束;聚焦镜,所述聚焦镜安装在所述水冷板上,所述聚焦镜用于对第一激光波长和第二激光波长聚焦。2.根据权利要求1所述的基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,其特征在于:所述第一合束模块包括一个以上的第一单巴半导体激光器、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一快轴准直镜、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一光束转换镜、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一慢轴准直镜以及与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一反射镜,所述第一单巴半导体激光器安装在所述第一阶梯热沉上,所述第一快轴准直镜安装在所述第一单巴半导体激光器的出光口,所述第一光束转换镜设置在所述第一快轴准直镜前侧,所述第一慢轴准直镜设置在所述第一光束转换镜的前侧,所述第一反射镜设置在所述第一慢轴准直镜的前侧。3.根据权利要求2所述的基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,其特征在于:所述第一阶梯热沉设有与所述第一单巴半导体激光器数量适配的阶梯。4.根据权利要求2所述的基于波长合束技术的双波长多单巴半导体激光合束装置,其特征在于:所述第一快轴准直镜、所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员:张辰刘大巍孙婷婷王一董洪斌
申请(专利权)人:东莞方孺光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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