一种石英坩埚内表面喷涂装置制造方法及图纸

技术编号:37250001 阅读:13 留言:0更新日期:2023-04-20 23:28
本实用新型专利技术提供的一种石英坩埚内表面喷涂装置,工作台安装在升降油缸的活塞上;坩埚夹具设置在工作台上;旋转机构安装在机架上端;连接杆安装在旋转机构的旋转端上;连接板固定安装在连接杆上;喷涂管连接在连接板上,喷涂管通过软管依次连接喷涂原料罐,电加热管安装在连接板上;采用上述技术方案,将坩埚置于工作台上,并通过坩埚夹具将其紧固,升降油缸用于调节坩埚的高度,旋转机构带动连接杆旋转,利用喷涂管对坩埚内壁进行均匀喷涂,形成涂层,待涂层干燥后,通过电加热管配合旋转机构对坩埚内表面进行均匀加热,使其形成致密涂层,本申请能够同时满足对坩埚内表面均匀喷涂及加热两道工序,结构简单、使用方便,适合大规模推广。模推广。模推广。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚内表面喷涂装置


[0001]本技术涉及石英坩埚内表面喷涂领域,特别涉及一种石英坩埚内表面喷涂装置。

技术介绍

[0002]目前太阳能发电用多晶硅主要采用定向凝固的铸造方法,在铸造过程中,高纯硅料放置在石英坩埚内,通过加热使其完全融化;然后通过降温造成一定的温度梯度,使硅熔液沿着某特定方向定向凝固。为了顺利取出凝固在石英坩埚中的多晶硅锭,避免硅液在凝固过程中黏附在坩埚上造成坩埚和硅锭破裂,需要在坩埚内壁涂覆一层脱模剂。
[0003]脱模剂喷涂工序如下:
[0004]在坩埚涂层的喷涂液中,加入烧结助剂,混合充分,然后喷涂于坩埚内表面上,形成涂层;
[0005]待涂层干燥后,对带有涂层的坩埚内表面进行加热,使其形成致密涂层。
[0006]上述步骤中,需要依次实现喷涂和加热两道工序,目前,市面上缺少能够同时实现上述两道加工工序的喷涂装置。

技术实现思路

[0007](一)要解决的技术问题
[0008]为了解决现有技术的上述问题,本技术提供一种石英坩埚内表面喷涂装置。
[0009](二)技术方案
[0010]为了达到上述目的,本技术采用的主要技术方案包括:
[0011]一种石英坩埚内表面喷涂装置,包括机架、工作台、坩埚夹具、升降油缸、连接杆、连接板、旋转机构、喷涂管以及电加热管;
[0012]所述升降油缸安装在所述机架上;
[0013]所述工作台安装在所述升降油缸的活塞上;
[0014]所述坩埚夹具设置在所述工作台上;
[0015]所述旋转机构安装在所述机架上端;
[0016]所述连接杆安装在所述旋转机构的旋转端上;
[0017]所述连接板固定安装在所述连接杆上;
[0018]所述喷涂管连接在所述连接板上,所述喷涂管通过软管依次连接喷涂原料罐,
[0019]所述电加热管安装在所述连接板上。
[0020]优选的,所述旋转机构包括外壳、主动齿轮、从动齿轮、电机、轴座以及同步带;
[0021]所述轴座安装在所述外壳底部,所述轴座内连接所述连接杆;
[0022]所述从动齿轮安装在所述连接杆上;
[0023]所述电机设置在所述外壳上;
[0024]所述主动齿轮设置在所述电机的输出端;
[0025]所述同步带连接所述主动齿轮和所述从动齿轮。
[0026]优选的,所述坩埚夹具包括两组对称设置的夹持组件,所述夹持组件包括夹板、固定板、螺纹杆以及手轮;
[0027]所述固定板设置在所述工作台边缘一侧;
[0028]所述螺纹杆螺纹连接所述固定板;
[0029]所述夹板转动安装在所述螺纹杆相互靠近的一端上,所述夹板上开设有与坩埚相适配的夹槽;
[0030]所述手轮固定安装在所述螺纹杆远离所述夹板的一端。
[0031]优选的,所述喷涂管呈J状,所述喷涂管外壁一侧均布有多个喷嘴。
[0032]优选的,所述连接杆呈空心结构,干燥气体通过连接杆通入坩埚内。
[0033]优选的,还包括箱体和箱门,所述机架、工作台、坩埚夹具、升降油缸、连接杆、连接板、旋转机构、喷涂管以及电加热管均安装在所述箱体内,箱门铰接在所述箱体上。
[0034](三)有益效果
[0035]本技术的有益效果在于:采用上述技术方案,将坩埚置于工作台上,并通过坩埚夹具将其紧固,升降油缸用于调节坩埚的高度,旋转机构带动连接杆旋转,利用喷涂管对坩埚内壁进行均匀喷涂,形成涂层,待涂层干燥后,通过电加热管配合旋转机构对坩埚内表面进行均匀加热,使其形成致密涂层,本申请能够同时满足对坩埚内表面均匀喷涂及加热两道工序,结构简单、使用方便,适合大规模推广。
附图说明
[0036]图1为一种石英坩埚内表面喷涂装置的结构示意图一。
[0037]图2为一种石英坩埚内表面喷涂装置的结构示意图二。
[0038]图3为旋转机构的结构示意图。
[0039]图4为本技术第二实施例的结构示意图。
[0040]【附图标记说明】
[0041]1、机架;
[0042]2、升降油缸;
[0043]3、工作台;
[0044]4、坩埚夹具;41、固定板;42、夹板;43、螺纹杆;44、手轮;
[0045]5、旋转机构;51、外壳;52、从动齿轮;53、主动齿轮;54、电机;55、同步带;56、轴座;
[0046]6、连接杆;
[0047]7、连接板;
[0048]8、电加热管;
[0049]9、喷涂管;
[0050]10、箱体;
[0051]11、箱门。
具体实施方式
[0052]为了更好的解释本技术,以便于理解,下面结合附图,通过具体实施方式,对
本技术作详细描述。
[0053]请参照图1至图2,本技术提供一种石英坩埚内表面喷涂装置,包括机架1、工作台3、坩埚夹具4、升降油缸2、连接杆6、连接板7、旋转机构5、喷涂管9以及电加热管8;
[0054]升降油缸2安装在机架1上;
[0055]工作台3安装在升降油缸2的活塞上;
[0056]坩埚夹具4设置在工作台3上;
[0057]旋转机构5安装在机架1上端;
[0058]连接杆6安装在旋转机构5的旋转端上;
[0059]连接板7固定安装在连接杆6上;
[0060]喷涂管9连接在连接板7上,喷涂管9通过软管依次连接喷涂原料罐,
[0061]电加热管8安装在连接板7上。
[0062]使用时,将坩埚置于工作台3上,并通过坩埚夹具4将其紧固,升降油缸2用于调节坩埚的高度,旋转机构5带动连接杆6旋转,利用喷涂管9对坩埚内壁进行均匀喷涂,形成涂层,待涂层干燥后,通过电加热管8配合旋转机构5对坩埚内表面进行均匀加热,使其形成致密涂层,本申请能够同时满足对坩埚内表面均匀喷涂及加热两道工序,结构简单、使用方便,适合大规模推广。
[0063]参考图3,本实施例中,旋转机构5包括外壳51、主动齿轮53、从动齿轮52、电机54、轴座56以及同步带55;
[0064]轴座56安装在外壳51底部,轴座56内连接连接杆6;
[0065]从动齿轮52安装在连接杆6上;
[0066]电机54设置在外壳51上;
[0067]主动齿轮53设置在电机54的输出端;
[0068]同步带55连接主动齿轮53和从动齿轮52。
[0069]电机54带动主动齿轮53旋转,在同步带55和从动齿轮52的配合下,实现连接杆6的转动。
[0070]本实施例中,坩埚夹具4包括两组对称设置的夹持组件,夹持组件包括夹板42、固定板41、螺纹杆43以及手轮44;
[0071]固定板41设置在工作台3边缘一侧;
[0072]螺纹杆43螺纹连接固定板41;
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚内表面喷涂装置,其特征在于,包括机架、工作台、坩埚夹具、升降油缸、连接杆、连接板、旋转机构、喷涂管以及电加热管;所述升降油缸安装在所述机架上;所述工作台安装在所述升降油缸的活塞上;所述坩埚夹具设置在所述工作台上;所述旋转机构安装在所述机架上端;所述连接杆安装在所述旋转机构的旋转端上;所述连接板固定安装在所述连接杆上;所述喷涂管连接在所述连接板上,所述喷涂管通过软管依次连接喷涂原料罐,所述电加热管安装在所述连接板上。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚内表面喷涂装置,其特征在于,所述旋转机构包括外壳、主动齿轮、从动齿轮、电机、轴座以及同步带;所述轴座安装在所述外壳底部,所述轴座内连接所述连接杆;所述从动齿轮安装在所述连接杆上;所述电机设置在所述外壳上;所述主动齿轮设置在所述电机的输出端;所述同步带连接所述主动齿轮和所述从动齿轮。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡士德杨云翔王建
申请(专利权)人:红河邦德新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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