基板处理装置以及利用其的基板处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够稳定地移动基板，并将墨水喷出至准确的位置的基板处理装置以及利用其的基板处理方法。本发明专利技术的基板处理装置包括：机架，其沿第一方向延伸，并且基板沿所述第一方向移动；移动单元，其分别配置在沿所述第一方向延伸的所述工作台的两侧，并使所述基板沿所述第一方向移动；以及控制单元，其对齐所述基板，所述移动单元包括分别吸附所述基板的一侧以及另一侧的第一夹持器以及第二夹持器，所述第一夹持器吸附所述基板的一侧之后，所述控制单元对齐所述基板，所述基板被对齐之后，所述第二夹持器吸附所述基板的另一侧，并且所述基板沿所述第一方向移动。基板沿所述第一方向移动。基板沿所述第一方向移动。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置以及利用其的基板处理方法


[0001]本专利技术涉及基板处理装置以及利用其的基板处理方法。

技术介绍

[0002]通常，为了制造电子电路部件或诸如液晶显示面板的平板显示器(FPD：Flat Panel Display)，使用光阻剂液(PR：photoresist)或铜(Cu)、银(Ag)、铝(A1)等金属浆料(paste)来在玻璃表面或印刷电路板(PCB)上形成一定的图案，例如电极(electrodes)或点(dots)等。
[0003]作为用于在基板上形成一定的图案的方法，可以使用利用两个辊以胶印印刷方式将一定的图案直接图案化的方式或喷出墨滴的方式。其中，将墨滴喷出到基板上的喷墨打印系统与一般的喷墨打印机类似，采用使用喷嘴在基板上将一定的图案直接图案化的方法。
[0004]喷墨打印系统一边使基板沿一定方向移动一边将墨滴喷出至基板上。为了将墨滴喷出至所期望的位置，必须能够稳定地移动基板。在不沿直线方向一定地移动基板的情况下，可能无法将墨滴准确地喷出至所期望的位置。

技术实现思路

[0005]专利技术所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，包括：工作台，其沿第一方向延伸，并且基板沿着所述第一方向移动；移动单元，其分别配置在沿所述第一方向延伸的所述工作台的两侧，并使所述基板沿所述第一方向移动；以及控制单元，其对齐所述基板，所述移动单元包括分别吸附所述基板的一侧以及另一侧的第一夹持器以及第二夹持器，所述第一夹持器吸附所述基板的一侧之后，所述控制单元对齐所述基板，所述基板被对齐之后，所述第二夹持器吸附所述基板的另一侧，并且所述基板沿所述第一方向移动。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述第一夹持器能够以与所述第一方向不同的第二方向为轴旋转。3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述第一夹持器以及第二夹持器能够一边沿所述第一方向移动所述基板一边对所述基板进行横摆控制。4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述基板处理装置还包括：测量单元，其设置在所述工作台上并拍摄被配置在所述基板的顶点处的对齐标记。5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，所述控制单元利用所述测量单元拍摄所述对齐标记得到的图像来在所述对齐标记偏离预设基准点时，将所述对齐标记的位置设置为所述预设基准点。6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述基板处理装置还包括：头单元，其设置于在所述工作台上沿与所述第一方向不同的第二方向延伸的机架，并朝向所述基板喷出液滴，所述头单元能够沿所述第二方向移动。7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述工作台包括第一区域和第二区域，所述第一区域是装载所述基板并且所述第一夹持器以及第二夹持器分别吸附所述基板的第一面以及第二面的区域，所述第二区域是对所述基板执行印刷工序的区域。8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，所述第一区域是朝向所述基板喷射气体的区域，所述第二区域是朝向所述基板喷射气体并吸入所述基板与所述第二区域之间的气体的区域。9.一种基板处理装置，包括：工作台，其沿第一方向延伸，并且标有对齐标记的基板沿着所述第一方向移动；测量单元，其在所述工作台上，包括与所述基板的对齐标记对应并拍摄所述对齐标记的摄像头；第一夹持器，其吸附所述基板的第一面，并能够以与所述第一方向垂直的第二方向为
轴旋转；第二夹持器，其吸附与所述基板的所述第一面相向的第二面；以及控制单元，其控制所述第一夹持器，所述测量单元的摄像头在所述第一夹持器吸附所述第一面之后拍摄所述对齐标记，所述控制单元接收所述摄像头拍摄...

【专利技术属性】
技术研发人员：成普滥璨，李彦锡，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：