一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法，包括光谱共焦系统和斐索干涉系统，光谱共焦系统包括光源、共焦小孔和光学系统，光学系统包括第一半反半透镜、色焦镜头和分光镜；斐索干涉系统包括斐索干涉仪和计算机，斐索干涉仪包括激光发射组件和第一成像镜、参考镜、第二扩束镜、第二半反半透镜、第二成像镜和CCD相机。本发明专利技术利用光谱共焦系统测得带有误差分量的透镜中心厚度，在斐索干涉系统中利用视场标定与Zernike波面拟合对待测透镜的物理平移误差分量、倾斜误差分量进行实时检测，并利用误差修正公式对已测得的透镜中心厚度进行自动校正，进而实现对透镜中心厚度进行精准测量，可大幅节省人工和时间成本，提高检测效率。检测效率。检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法


[0001]本专利技术涉及透镜厚度检测
，尤其是涉及一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法。

技术介绍

[0002]共面电容法和光谱共焦法是测透镜厚度的常见方法，共面电容法难以寻找到透镜两边面的顶点位置，且该方法的测量精度易受空气湿度、温度等环境因素影响较大。光谱共焦法虽然对环境条件要求不高，但是在传统的光谱共焦法测透镜厚度中，需要保证待测透镜的光轴与光学系统光轴共线才能够保证测量精度，而固定待测透镜的方式一般使用手工或机夹的方式调整待测透镜的位置并固定，其中手工固定不仅对工作人员要求高，并且不能很好地将待测透镜偏移量控制在误差范围内，需要进行反复的位置调整，检测效率低；机夹的方式不仅增大成本，且固定透镜的同时很容易对待测透镜表面造成划痕和损伤，更加影响测量精度。
[0003]因此，为解决上述光谱共焦法测量透镜中心厚度过程中因待测透镜的光轴与光学系统的光轴不共线而导致的检测精度低和检测效率低的问题，需要提供一种新的透镜中心厚度检测装置和检测方法。

技术实现思路

[0004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透镜中心厚度的自动测量装置，其特征在于：包括光谱共焦系统和斐索干涉系统，所述光谱共焦系统包括光源、共焦小孔和光学系统，所述共焦小孔与光谱仪连接，所述光学系统包括从靠近所述光源到远离所述光源的方向依次设置的第一半反半透镜、色焦镜头和分光镜，所述光源通过Y型光纤与所述光谱仪连接，所述Y型光纤的出射光束与所述光学系统的光轴共轴，所述光源到所述光学系统的光轴的距离等于所述共焦小孔到所述光学系统的光轴的距离；所述斐索干涉系统包括斐索干涉仪和计算机，所述斐索干涉仪包括激光发射组件和依次排布的第一成像镜、参考镜、第二扩束镜、第二半反半透镜、第二成像镜和CCD相机，所述激光发射组件与所述第二半反半透镜对应设置，所述参考镜与PZT移相器连接，所述第一成像镜、所述参考镜、所述第二扩束镜、所述第二半反半透镜、所述第二成像镜和所述CCD相机的光轴位于同一直线且与所述光学系统的光轴垂直，所述第一成像镜和所述分光镜之间设有待测透镜放置位。2.根据权利要求1所述的一种透镜中心厚度的自动测量装置，其特征在于：所述激光发射组件包括激光器、反射镜和第一扩束镜，所述反射镜位于所述激光器的一侧，所述第一扩束镜位于所述反射镜和所述第二半反半透镜之间。3.根据权利要求2所述的一种透镜中心厚度的自动测量装置，其特征在于：所述CCD相机和所述第二半反半透镜之间设有滤光片。4.根据权利要求3所述的一种透镜中心厚度的自动测量装置，其特征在于：所述光源为溴钨点光源。5.一种采用如权利要求1
‑
4任意项所述的一种透镜中心厚度的自动测量装置的透镜中心厚度的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：校正视场，使第一成像镜、参考镜、第二扩束镜、第二半反半透镜和第二成像镜的光轴与CCD相机的光轴重合；步骤2：视场标定，即确定CCD相机的像素与实际物理空间距离的对应关系；步骤3：在待测透镜放置位安装待测透镜；步骤4：启动光源，利用光谱仪探测得到共焦小孔处射出光的光谱分布图，启动激光器发射组件，利用斐索干涉仪获得多幅干涉图像序列；步骤5：根据光谱分布图上两个波长λ1和λ2得到待测透镜中心厚度，具体方法为：根据相关标定得到的色差共焦系统的函数关系式，求得λ1波长的单色光在经...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志松，孙佳兴，崔佳雯，翟天宝，徐潇，胡红磊，
申请(专利权)人：上海电机学院，
类型：发明
国别省市：