一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法技术

技术编号:37235533 阅读:26 留言:0更新日期:2023-04-20 23:17
本申请公开了一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法,涉及芯片制造方法,包括以下步骤:在反应釜中配置电解液,并搅拌机构作用于电解液,使溶质充分搅拌混合均匀,用高分子导电膜作为阴极,在高分子导电膜上沉积形成湿膜,湿膜制作完成后用去离子水清洗,25

【技术实现步骤摘要】
一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法


[0001]本申请涉及传感器制备领域,尤其是涉及一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法。

技术介绍

[0002]尾气传感器芯片用功能电极在芯片的组成中具有非常重要的作用,决定着芯片的性能稳定性;其主要成分是铂金属,需同时具备较好的催化性能与导电性能。
[0003]现有的制备方法采用铂金浆料,丝网印刷的方法进行功能性电极的制备,印刷完成后进行共烧结,铂金浆料在烧结过程中形成多孔铂金层;多孔型铂金层比表面积大,催化效果好,同时不阻碍氧离子的迁移,导电性也能满足检测信号传输的需要。
[0004]在实现本上述加工过程中,专利技术人发现该技术中至少存在如下问题,该制备方法对于铂金微粒、氧化锆和其它等有机与无机添加物要求极高,材料的差异难于控制,极易造成功能电极的导电性与孔隙一致性差,影响芯片检测时的响应速度。

技术实现思路

[0005]为了解决尾气传感器用芯片功能性电极制作稳定性不高的问题,本申请提供一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法。
[0006]本申请提供的一种尾气传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、在反应釜(1)中配置电解液,电解质液包括阳离子型树脂乳液、铂金属微粉、铂盐Pt(NH3)2(NO2)2、乙酸、醇醚溶剂、氧化锆微粉、去离子水等;S2、搅拌机构作用于电解液,使溶质充分搅拌混合均匀;S3、用高分子导电膜作为阴极,在高分子导电膜上沉积形成湿膜;S4、湿膜制作完成后用去离子水清洗,25

30℃环境温度下沥水风干30分钟;S5、将湿膜覆盖在氧化锆陶瓷素胚两侧,100N压力压合,保压50S,揭掉两侧高分子导电膜,冲切成合适大小的陶瓷片素胚备用S6、芯片陶瓷片素胚层压,芯片900

1100℃烧结。2.根据权利要求1所述的一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法,其特征在于:所述电解液中阳离子型水性树脂乳液含量30%(重量)、铂金属微粉含量10%、铂盐Pt(NH3)2(NO2)2含量 5%、乙酸含量0.5%、醇醚溶剂含量1%、表面活性剂0.5%、氧化锆微粉2%、去离子水含量53%。3.根据权利要求2所述的一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法,其特征在于:电解液配置过程中加入的顺序依次是先加入去离子水、再加入乙酸、然后加入阳离子树脂、再加入醇醚;再加入表面活性剂、然后加入铂金微粉、再加入氧化锆微粉,最后加入铂盐。4.根据权利要求1所述的一种尾气传感器芯片用功能电极的制备方法,其特征在于:电沉积用电极采用电导率100S/CM高分子导电膜,电沉积电源采用...

【专利技术属性】
技术研发人员:金杰陈磊
申请(专利权)人:浙江朗德电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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