用于粒子束产生装置的靶材及其加工设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于粒子束产生装置的靶材加工设备，能提升靶材的散热性能，减少起泡，增加靶材寿命。本实用新型专利技术的靶材包括作用层、抗发泡层、散热层，作用层与带电粒子束作用产生中子束，抗发泡层抑制带电粒子束引起的起泡，第一散热层将沉积在作用层的热量直接快速地传导到第二散热层，并在第二散热层通过冷却介质将热量排出；所述加工设备包括真空室、排气装置、蒸发源、支架和加热装置，排气装置用于对真空室排气以形成真空环境，蒸发源用于将抗发泡层、作用层的材料在真空室中依次蒸发为气体，支架用于放置散热层，加热装置用于将散热层加热后，使得所述气体的材料依次沉积在散热层面向所述蒸发源的表面。热层面向所述蒸发源的表面。热层面向所述蒸发源的表面。

【技术实现步骤摘要】
用于粒子束产生装置的靶材及其加工设备


[0001]本技术涉及一种用于辐射线照射系统的靶材，尤其涉及一种用于粒子束产生装置的靶材，另外还涉及靶材的加工设备。

技术介绍

[0002]随着原子科学的发展，例如钴六十、直线加速器、电子射束等放射线治疗已成为癌症治疗的主要手段之一。然而传统光子或电子治疗受到放射线本身物理条件的限制，在杀死肿瘤细胞的同时，也会对射束途径上大量的正常组织造成伤害；另外由于肿瘤细胞对放射线敏感程度的不同，传统放射治疗对于较具抗辐射性的恶性肿瘤(如：多行性胶质母细胞瘤(glioblastoma multiforme)、黑色素细胞瘤(melanoma))的治疗成效往往不佳。
[0003]为了减少肿瘤周边正常组织的辐射伤害，化学治疗(chemotherapy)中的标靶治疗概念便被应用于放射线治疗中；而针对高抗辐射性的肿瘤细胞，目前也积极发展具有高相对生物效应(relative biological effectiveness,RBE)的辐射源，如质子治疗、重粒子治疗、中子捕获治疗等。其中，中子捕获治疗便是结合上述两种概念，如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于粒子束产生装置的靶材的加工设备，其特征在于，所述靶材包括作用层、抗发泡层、散热层，所述加工设备包括真空室、排气装置、蒸发源、支架和加热装置；所述排气装置用于对所述真空室排气以形成真空环境，所述蒸发源用于将所述抗发泡层、作用层的材料在所述真空室中依次蒸发为气体，所述支架用于放置所述散热层，所述加热装置用于将所述散热层加热后，使得所述气体的材料依次沉积在所述散热层面向所述蒸发源的表面。2.如权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括膜厚度检测装置，所述膜厚度检测装置用于检测所述作用层、抗发泡层的厚度并控制气体的沉积速度。3.一种用于粒子束产生装置的靶材，其特征在于，所述靶材包括作用层、抗发泡层、散热层，利用权利要求1或2所述加工设备将所述作用层、抗发泡层以形成膜的方式加工到所述散热层上。4.如权利要求3所述的靶材，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘渊豪，林峻霆，
申请(专利权)人：中硼厦门医疗器械有限公司，
类型：新型
国别省市：