一种HWCVD用热丝的定型方法技术

本发明专利技术公开了一种HWCVD用热丝的定型方法，涉及镀膜设备技术领域。HWCVD用热丝的定型方法，包括：步骤S100：确定热丝所要定型的样式：步骤S200：根据所述热丝所要定型的样式后，在安装面板上安装热丝折角器，使得所述热丝绕过各个所述热丝折角器后，能够获得预设样式的热丝；步骤S300：将所述热丝绕过各个所述热丝折角器，所述热丝的两端分别通过热丝拉紧总成将热丝的两端固定，并将所述热丝拉紧，且保持预设时长，使得所述热丝定型，获得所要定型的热丝样式。采用本方法对HWCVD用热丝的进行定型，能够达到对热丝进行张紧、整形、定型的效果，将热丝从热丝拉紧总成上取下来以后，热丝依然能保持定型折线。依然能保持定型折线。依然能保持定型折线。

【技术实现步骤摘要】
一种HWCVD用热丝的定型方法


[0001]本专利技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种HWCVD用热丝的定型方法。

技术介绍

[0002]随着光伏产业的不断发展，异质结及钙钛矿太阳能电池的呼声越来越高，其大规模量产使用的热度也在不断提高。但目前异质结和钙钛矿太阳能电池技术还有多项关键技术点等待突破，异质结主要设备PECVD占4亿元/GW的异质结设备投资成本的50％左右，其成本下降的空间十分有限。相对于PECVD设备，HWCVD技术具有镀膜质量好、速度块、耗气量低、不产生粉尘、不需要NF3清洗、产能高、设备成本低和运行成本低等诸多优势，逐渐被行业采纳，其热度正在逐渐升高。
[0003]HWCVD设备中，裂解特气(裂解特气是指真空镀膜过程中，需要通入特气，如：PH3、B2H6、SIH4等)通入的气体在热丝高温环境中发生裂解，以此形成镀膜所需的离子。主要靠热丝的温度，所以热丝的整形与定型至关重要，其尺寸、与载盘的距离、温度大小和耐温特性等诸多特性参数均对镀膜效果和使用寿命有着密不可分的联系，所以热丝的选择与定型至关重要。目前因HWCVD技术在镀膜行业应用尚未普及，其热丝的整形与定型方法尚处于空白。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种HWCVD用热丝的定型方法，能够实现热丝按照预期要求进行定型。
[0005]根据本专利技术实施例的一种HWCVD用热丝的定型方法，包括：
[0006]步骤S100：确定热丝所要定型的样式：
[0007]步骤S200：根据所述热丝所要定型的样式后，在安装面板上安装热丝折角器，使得所述热丝绕过各个所述热丝折角器后，能够获得预设样式的热丝；
[0008]步骤S300：将所述热丝绕过各个所述热丝折角器，所述热丝的两端分别通过热丝拉紧总成将热丝的两端固定，并将所述热丝拉紧，且保持预设时长，使得所述热丝定型，获得所要定型的热丝样式。
[0009]根据本专利技术实施例的HWCVD用热丝的定型方法，至少具有如下有益效果：采用本方法对HWCVD用热丝的进行定型，能够达到对热丝进行张紧、整形、定型的效果，将热丝从热丝拉紧总成上取下来以后，热丝依然能保持定型折线。
[0010]根据本专利技术的一些实施例，所述热丝折角器的数量至少为一个，所述热丝折角器安装在所述安装面板上，所述热丝折角器设有绕线槽，所述绕线槽沿所述热丝的绕设路径设置，所述绕线槽的槽向路径到所述安装面之间的距离保持不变。
[0011]根据本专利技术的一些实施例，所述热丝拉紧总成包括热丝固定组件和拉动组件，所述热丝固定组件用于和所述热丝的一端固定连接，所述拉动组件安装在所述安装面板上，所述热丝固定组件与所述拉动组件连接，所述拉动组件能够带动所述热丝固定组件沿所述
热丝的预设拉紧方向运动。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述热丝固定组件包括热丝固定块和紧固件，所述热丝固定块设有供所述热丝穿入的热丝穿入孔，所述热丝固定块上设有热丝固定孔，所述热丝固定孔和所述热丝穿入孔连通，所述紧固件安装在所述热丝固定孔上，且能够将穿入所述热丝穿入孔中的所述热丝固定，所述热丝固定块与所述拉动组件连接。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述拉动组件上设有安装槽，所述热丝固定块可拆卸的安装在所述安装槽中。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述拉动组件包括安装块、导向座和拉动件，所述导向座安装在所述安装面板上，所述导向座具有导向行程，所述导向行程与所述热丝的预设拉紧方向同向，所述安装块安装在所述导向座上，所述热丝固定组件安装在所述安装块上，所述拉动件与所述安装块连接，能够拉动所述安装块沿所述导向行程运动。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述导向座设有导向槽，所述导向槽沿所述导向行程设置，所述安装块滑动安装在所述导向槽内，所述拉动件能够拉动所述安装块沿所述导向槽运动。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，所述拉动件包括固定座、螺杆和螺母，所述固定座固定在所述安装面上，所述螺杆与所述导向行程平行设置，所述螺杆的一端与所述安装块固定连接，另一端穿过所述固定座和所述螺母连接。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，所述热丝所要成型的样式呈“U”型，所述热丝折角器的数量为多个，并以“几”字走向交错布置，步骤S300中，在所述热丝定型后，沿着定型后所述热丝的横向将定型后所述热丝斩断，且斩断位置位于定型后所述热丝的中间位置，获得多个“U”型的所述热丝。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，还包括斩断定位板，所述热丝的斩断位置的连线构成斩断线，所述斩断线两侧相邻的所述热丝折角器之间均设有所述斩断定位板，所述斩断定位板沿所述斩断线设置，所述斩断定位板位于所述热丝的绕设路径上，所述斩断定位板到两侧所述热丝折角器的距离相等，在对所述热丝进行斩断时，沿所述斩断定位板对定型后所述热丝进行斩断。
[0019]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0021]图1为本专利技术一种HWCVD用热丝的定型方法的流程示意图；
[0022]图2为本专利技术一种实施例的热丝定型工装的立体结构示意图；
[0023]图3为本专利技术一种实施例的热丝定型工装的平面结构示意图；
[0024]图4为热丝折角器结构示意图；
[0025]图5为本专利技术一种实施例的热丝定型工装的局部放大示意图；
[0026]图6为热丝定型后的结构示意图；
[0027]图7为热丝固定块的剖视示意图；
[0028]图8为热丝分段以后的示意图；
[0029]图9为斩断定位板的结构示意图。
[0030]附图标号：
[0031]安装面板100；安装面110；斩断线120；
[0032]热丝折角器200；绕线槽210；
[0033]热丝300；
[0034]热丝拉紧总成400；热丝固定组件410；热丝固定块411；热丝穿入孔4111；热丝固定孔4112；拉动组件420；安装块421；装槽4211；导向座422；导向槽4221；拉动件423；固定座4231；螺杆4232；螺母4233；
[0035]斩断定位板500；定位槽510。
具体实施方式
[0036]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0037]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种HWCVD用热丝的定型方法，其特征在于，包括：步骤S100：确定热丝所要定型的样式；步骤S200：根据所述热丝所要定型的样式后，在安装面板上安装热丝折角器，使得所述热丝绕过各个所述热丝折角器后，能够获得预设样式的热丝；步骤S300：将所述热丝绕过各个所述热丝折角器，所述热丝的两端分别通过热丝拉紧总成将热丝的两端固定，并将所述热丝拉紧，且保持预设时长，使得所述热丝定型，获得所要定型的热丝样式。2.根据权利要求1所述的HWCVD用热丝的定型方法，其特征在于：所述热丝折角器的数量至少为一个，所述热丝折角器安装在所述安装面板上，所述热丝折角器设有绕线槽，所述绕线槽沿所述热丝的绕设路径设置，所述绕线槽的槽向路径到所述安装面之间的距离保持不变。3.根据权利要求1所述的HWCVD用热丝的定型方法，其特征在于：所述热丝拉紧总成包括热丝固定组件和拉动组件，所述热丝固定组件用于和所述热丝的一端固定连接，所述拉动组件安装在所述安装面板上，所述热丝固定组件与所述拉动组件连接，所述拉动组件能够带动所述热丝固定组件沿所述热丝的预设拉紧方向运动。4.根据权利要求3所述的HWCVD用热丝的定型方法，其特征在于：所述热丝固定组件包括热丝固定块和紧固件，所述热丝固定块设有供所述热丝穿入的热丝穿入孔，所述热丝固定块上设有热丝固定孔，所述热丝固定孔和所述热丝穿入孔连通，所述紧固件安装在所述热丝固定孔上，且能够将穿入所述热丝穿入孔中的所述热丝固定，所述热丝固定块与所述拉动组件连接。5.根据权利要求4所述的HWCVD用热丝的定型方法，其特征在于：所述拉动组件上设有安装槽，所述热丝固定块可拆卸的安装在所述安装槽中。6.根据权利要求3所述的H...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，程培勇，杨福满，赵步举，张海涛，刘顺，谭晓华，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：