一种E-Chuck清洗治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种E

【技术实现步骤摘要】
一种E
‑
Chuck清洗治具


[0001]本技术涉及清洗治具
，尤其涉及一种E
‑
Chuck清洗治具。

技术介绍

[0002]静电吸附技术在泛半导体、光学等领域中有着广泛应用，静电卡盘(E
‑
Chuck)是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，是PVD、ETCH、离子注入等高端装备的核心部件。
[0003]静电卡盘在使用过程中其表面会吸附大量灰尘颗粒，灰尘颗粒经过一端时间的聚集，覆盖在静电卡盘表面，会影响静电卡盘的散热效果，进而导致静电卡盘的使用寿命缩减，因此，静电卡盘需要经常进行清洗。
[0004]由于静电卡盘的材特殊，无论是使用刷子刷洗或是使用抹布擦拭，均容易损伤静电卡盘表面，因此对于静电卡盘的清洗较为困难。

技术实现思路

[0005]为解决由于静电卡盘的材特殊，无论是使用刷子刷洗或是使用抹布擦拭，均容易损伤静电卡盘表面，因此对于静电卡盘的清洗较为困难技术问题，本技术提供一种E
‑
Chuck清洗治具。
[0006]本技术提供的E
‑
Chuck清洗治具包括：清洗台，所述清洗台为方形结构，清洗台上表面开设有清洗槽，清洗槽上方通过螺栓固定连接有密封盖，清洗槽底部开设有三组通孔，三组通孔分别是进气口、进水口以及排污口，清洗槽内部放置有若干组密封胶。
[0007]优选的，所述清洗台表面四角处分别开设有固定孔，固定孔中固定贯穿有支撑杆，清洗槽外圈均匀分布有若干组装配孔，密封盖表面同样开设有若干组装配孔，密封盖上装配孔与清洗台上装配孔相对应。
[0008]优选的，所述清洗槽边沿处一体连接有遮挡沿，遮挡沿上表面粘贴有密封环。
[0009]优选的，所述进气口、进水口以及排污口外边缘处均开设有密封槽，密封槽中放置有密封圈，密封圈嵌入密封槽中并凸出于密封槽槽口。
[0010]优选的，所述清洗台下表面固定连接有泵吸头，泵吸头上有泵气头与泵水头，泵气头上密封连接有进气管，泵水头上密封连接有进水管，进气管与进水管另一端相通并密封连接于三接头上。
[0011]优选的，所述三接头一端通过联通管与管接头密封连接，该组管接头固定连接于清洗台上，三接头另一端通过联通管与污水盒相连，污水盒另一侧通过联通管以及另一组管接头与排污口密封连接，污水管另两侧分别连接有联通软管，联通软管另一端分别通过管接头与进气口以及进水口密封连接。
[0012]与相关技术相比较，本技术提供的E
‑
Chuck清洗治具具有如下有益效果：
[0013]通过增设清洗台，清洗台上表面开设有清洗槽，清洗槽底部开设有三组通孔，分别为进气口、进水口以及排污口，且三组通孔外沿均开设有密封槽，密封槽内粘贴有密封圈，
清洗槽边缘处一体连接有遮挡沿，遮挡沿上表面粘贴有密封环，密封环用于增加密封盖与清洗台之间连接的密封性，清洗槽底部根据待清洗件的结构形状设置有凸起，凸起能够很好的与待清洗件契合，且清洗槽内不同位置设置有若干组密封胶，密封胶用于将待清洗件上的通孔密封，通过密封圈、密封环以及密封胶能够在清洗静电卡盘时形成良好的密封环境，便于利用气压对静电卡盘进行去污清洗，同时通过水流将静电卡盘表面被气流剥落的灰尘颗粒洗掉，利用水气清洗静电卡盘，能够避免防止在过程中对静电卡盘表面造成的损伤，有效解决了由于静电卡盘的材特殊，无论是使用刷子刷洗或是使用抹布擦拭，均容易损伤静电卡盘表面，因此对于静电卡盘的清洗较为困难的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术提供的E
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Chuck清洗治具的一种较佳实施例的结构示意图；
[0015]图2为本技术的清洗台的结构示意图；
[0016]图3为本技术的清洗台的结构拆分示意图；
[0017]图4为本技术的清洗台底部的结构示意图。
[0018]图中标号：1、清洗台；2、密封盖；3、支撑杆；4、固定孔；5、清洗槽；6、密封胶；7、进气口；8、排污口；9、进水口；10、装配孔；11、遮挡沿；12、密封槽；13、密封圈；14、密封环；15、泵吸头；16、进水管；17、进气管；18、三接头；19、管接头；20、联通管；21、污水盒；22、联通软管。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0020]请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本技术提供的E
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Chuck清洗治具的一种较佳实施例的结构示意图；图2为本技术的清洗台的结构示意图；图3为本技术的清洗台的结构拆分示意图；图4为本技术的清洗台底部的结构示意图。
[0021]在具体实施过程中，如图1和图2所示，包括清洗台1，清洗台1为方形结构，清洗台1上表面开设有清洗槽5，清洗槽5上方通过螺栓固定连接有密封盖2，清洗槽5底部开设有三组通孔，三组通孔分别是进气口7、进水口9以及排污口8，清洗槽5内部放置有若干组密封胶6，密封胶6呈椭圆形结构，静电卡盘放在清洗槽5中时，密封胶6恰好能够将静电卡盘上的通槽堵住密封，使静电卡盘与清洗槽5底部之间形成一个密封的空间，便于使通入的气流均匀冲向静电卡盘表面，将静电卡盘表面附着的灰尘颗粒松散的浮于静电卡盘表面，清洗台1表面四角处分别开设有固定孔4，固定孔4中固定贯穿有支撑杆3，清洗槽5外圈均匀分布有若干组装配孔10，密封盖2表面同样开设有若干组装配孔10，密封盖2上装配孔10与清洗台1上装配孔10相对应。
[0022]参考图2与图3所示，密封盖2将清洗槽5密封后，在清洗静电卡盘时不会使清洗后的污水飞溅到清洗台1外部，便于清理清洗台1，清洗槽5边沿处一体连接有遮挡沿11，遮挡沿11上表面粘贴有密封环14，密封盖2盖于清洗槽5上时，密封盖2内顶部与密封环14紧密接触，密封环14增加了密封盖2与遮挡沿11之间的密封性，进气口7、进水口9以及排污口8外边缘处均开设有密封槽12，密封槽12中放置有密封圈13，密封圈13嵌入密封槽12中并凸出于密封槽12槽口。
[0023]参考图3与图4所示，进气口7、进水口9以及排污口8的位置不局限于哪一个通孔，
均可通水通气，在清洗结束后，也能够同时排污，并将污水排至污水盒21中，清洗台1下表面固定连接有泵吸头15，泵吸头15能够将清水与气流输送至进气管17以及进水管16，泵吸头15上有泵气头与泵水头，泵气头上密封连接有进气管17，泵水头上密封连接有进水管16，进气管17与进水管16另一端相通并密封连接于三接头18上，三接头18一端通过联通管20与管接头19密封连接，该组管接头19固定连接于清洗台1上，三接头18另一端通过联通管20与污水盒21相连，污水盒21另一侧通过联通管20以及另一组管接头19与排污口8密封连接，污水管另两侧分别连接有联通软管22，联通软管22另一端分别通过管接头19与进气口7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种E
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Chuck清洗治具，包括：清洗台(1)，其特征在于，所述清洗台(1)为方形结构，清洗台(1)上表面开设有清洗槽(5)，清洗槽(5)上方通过螺栓固定连接有密封盖(2)，清洗槽(5)底部开设有三组通孔，三组通孔分别是进气口(7)、进水口(9)以及排污口(8)，清洗槽(5)内部放置有若干组密封胶(6)。2.根据权利要求1所述的E
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Chuck清洗治具，其特征在于，所述清洗台(1)表面四角处分别开设有固定孔(4)，固定孔(4)中固定贯穿有支撑杆(3)，清洗槽(5)外圈均匀分布有若干组装配孔(10)，密封盖(2)表面同样开设有若干组装配孔(10)，密封盖(2)上装配孔(10)与清洗台(1)上装配孔(10)相对应。3.根据权利要求1所述的E
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Chuck清洗治具，其特征在于，所述清洗槽(5)边沿处一体连接有遮挡沿(11)，遮挡沿(11)上表面粘贴有密封环(14)。4.根据权利要求1所述的E
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Chuck清洗治具，其特征在于，所述进气口(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈仕超，杨佐东，文海波，赵薇，程润心，
申请(专利权)人：湖北芯洁电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：