一种柔性压力传感器以及气流监测系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种柔性压力传感器以及气流监测系统。该柔性压力传感器包括由下至上依次设置的第一柔性基底层、电极层、压敏层、第二柔性基底层以及微纳结构层，所述电极层和所述压敏层之间间隔开布置；所述微纳结构层包括多根微纳结构，所述微纳结构形成在所述第二柔性基底层处的一端为固定端，另一端为自由端；所述微纳结构层的延伸方向与气流方向保持一致，以在所述微纳结构的所述自由端在所述气流作用下发生弯曲变形时在所述固定端产生应力集中。本实用新型专利技术的柔性压力传感器不仅可以检测出较大气流，还可以检测出微量气流。还可以检测出微量气流。还可以检测出微量气流。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性压力传感器以及气流监测系统


[0001]本技术涉及气流监测
，尤其涉及一种柔性压力传感器以及气流监测系统。

技术介绍

[0002]在气流监测领域，现有气流监测装置可以灵敏监测出较大气流，但是很难监测出微气流，或者对微气流监测的灵敏度较低。

技术实现思路

[0003]本技术的一个目的在于提供一种能够检测到环境中微气流的柔性压力传感器。
[0004]本技术的一个进一步的目的在于提供一种能够灵敏检测到环境中微气流的气流监测装置。
[0005]特别地，本技术提供了一种柔性压力传感器，包括由下至上依次设置的第一柔性基底层、电极层、压敏层、第二柔性基底层以及微纳结构层，所述电极层和所述压敏层之间间隔开布置；
[0006]所述微纳结构层包括多个微纳结构，所述微纳结构形成在所述第二柔性基底层处的一端为固定端，另一端为自由端；
[0007]所述微纳结构层的延伸方向与气流方向保持一致，以在所述微纳结构的所述自由端在所述气流作用下发生弯曲变形时在所述固定端产生应力集中。
[0008]可选地，所述微纳结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括由下至上依次设置的第一柔性基底层、电极层、压敏层、第二柔性基底层以及微纳结构层，所述电极层和所述压敏层之间间隔开布置；所述微纳结构层包括多个微纳结构，所述微纳结构形成在所述第二柔性基底层处的一端为固定端，另一端为自由端；所述微纳结构层的延伸方向与气流方向保持一致，以在所述微纳结构的所述自由端在所述气流作用下发生弯曲变形时在所述固定端产生应力集中。2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述微纳结构层中多个微纳结构以阵列方式设置。3.根据权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述微纳结构层的微纳结构为纳米线结构、柱状结构、板状结构、花型结构、锥形结构或簇状结构。4.根据权利要求3所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述微纳结构的长度为范围在0.1
‑
100μm中任一值。5.根据权利要求3所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述微纳结构为纳米线结...

【专利技术属性】
技术研发人员：王秋，雷浩，冯长海，孙旭辉，吴庆乐，
申请(专利权)人：苏州慧闻纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：