偏振旋转分束器和光子集成芯片制造技术

本发明专利技术提供了一种偏振旋转分束器和光子集成芯片，包括偏振旋转区和偏振分束区，其中，偏振旋转区的第一脊波导处于第一平板波导之上，偏振分束区的第二脊波导和第三脊波导分别处于第三平板波导之上，第三平板波导处于第二平板波导之上，而第一平板波导和第二平板波导相接且高度相等。本发明专利技术实施例的偏振旋转区的第一脊波导的脊高大于偏振旋转区的第二脊波导和第三脊波导的脊高，也即本发明专利技术实施例采用了不同刻蚀深度的脊波导作为偏振旋转区的波导和偏振分束区的波导，其中，偏振旋转区采用深刻蚀脊波导，能够使偏振旋转区具有更高的偏振旋转效率；偏振分束区采用浅刻蚀脊波导，能够使偏振分束区具有更高的耦合效率。够使偏振分束区具有更高的耦合效率。够使偏振分束区具有更高的耦合效率。

【技术实现步骤摘要】
偏振旋转分束器和光子集成芯片


[0001]本专利技术涉及光通信
，特别是涉及一种偏振旋转分束器和光子集成芯片。

技术介绍

[0002]近年来,不断增长的信息交换需求对通信传输容量提出了更高的要求，因而对偏振旋转分束器的带宽也有了更高的要求，但是现有的偏振旋转分束器大多只适合传输C波段(常规波段)的光信号，而适用于O波段的偏振旋转分束器较为稀缺。所以，设计一款尺寸小、消光比高、插入损耗低、可适用于O波段的偏振旋转分束器，对于硅基PIC的发展以及光通信领域的发展都具有重要意义。

技术实现思路

[0003]以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0004]本专利技术实施例提供一种能够缩小器件尺寸、提高消光比、降低插入损耗且适用于O波段光信号的偏振旋转分束器。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种偏振旋转分束器，包括偏振旋转区和偏振分束区；其中，
[0006]所述偏振旋转区包括第一平板波导和第一脊波导，所述第一脊波导设置于所述第一平板波导之上，所述第一平板波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种偏振旋转分束器，其特征在于，包括偏振旋转区和偏振分束区；其中，所述偏振旋转区包括第一平板波导和第一脊波导，所述第一脊波导设置于所述第一平板波导之上，所述第一平板波导的宽度朝所述偏振分束区方向逐渐变宽；所述偏振分束区包括第二平板波导、第三平板波导、第二脊波导和第三脊波导，所述第三平板波导设置于所述第二平板波导之上，所述第二脊波导和所述第三脊波导设置于所述第三平板波导之上，所述第二脊波导和所述第三脊波导并排设置且之间具有间隔，所述第一平板波导和所述第二平板波导相接且高度相等，所述第三平板波导、所述第二脊波导分别与所述第一脊波导相连；所述第一脊波导的高度为第一高度，所述第二脊波导和所述第三脊波导的高度分别为第二高度，所述第一高度大于所述第二高度。2.根据权利要求1所述的偏振旋转分束器，其特征在于，所述第一脊波导包括输入脊波导和至少一级第一过渡脊波导，所述输入脊波导经所述至少一级第一过渡脊波导与所述第三平板波导、所述第二脊波导分别连接；所述第一平板波导包括输入平板波导和至少一级第一过渡平板波导，所述输入平板波导经所述至少一级第一过渡平板波导与所述第二平板波导相连。3.根据权利要求2所述的偏振旋转分束器，其特征在于，所述输入脊波导、所述第一过渡脊波导、所述输入平板波导和所述第一过渡平板波导分别为梯形波导。4.根据权利要求2所述的偏振旋转分束器，其特征在于，所述输入脊波导的第一端和所述输入平板波导的第一端具有相等的宽度，所述输入脊波导的第二端的宽度小于所述输入平板波导的第二端的宽度。5.根据权利要求1所述的偏振旋转分束器，其特征在于，所述第二脊波导包括第一连接波导、第一耦合波导和第一输出脊波导，所述第一连接波导的第一端连接于所述第一脊波导，所述第一连接波导的第二端经所述第一耦合波导与所述第一输出脊波导连接；...

【专利技术属性】
技术研发人员：王希琪，
申请(专利权)人：中兴光电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：