一种探针压力检测用的定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及探针压力检测用的定位装置，其包括插座的定位座和升降调节单元，升降调节单元包括升降部件和调节部件，其中升降部件包括至少两个升降件，且至少两个升降件自顶部齐平并形成水平升降面，定位座设置在升降面上；调节部件包括联动件和操作件，其中联动件连接在至少两个升降件之间，操作件驱动联动件并带动至少两个升降件同步升降运动。本实用新型专利技术通过联动件和操作件的配合，使得至少两个的升降件实现同步升降运动，这样一来，有效提高定位座升降调节后的位置精度，消除偏差，确保检测结果的精确度。检测结果的精确度。检测结果的精确度。

【技术实现步骤摘要】
一种探针压力检测用的定位装置


[0001]本技术属于半导体
，具体涉及一种探针压力检测用的定位装置。

技术介绍

[0002]众所周知，在半导体测试工艺中，插座是一个关键部件，极大的影响着测试工艺的精确性和测试的准确性，其中在插座中，探针是主要零部件，因此需要对探针的性能进行必要的检测。
[0003]目前，现有的针对探针性能的检测，一般首先将插座定位在定位座上，然后通过具有压力测试部件或/和阻值测试部件的机械手对定位在定位装置上的插座实施检测。
[0004]但是，涉及到更换不同厚度的插座时，通常采用升降结构来对应调整定位座的高度，现有的升降结构在定位座的底部一般具有至少两个驱动点，然而，在实际使用过程中，现有的升降机构在进行升降调节时，难以确保所有驱动点保持同步，导致定位座调节后的位置精度差，影响检测结果的精确度。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的探针压力检测用的定位装置。
[0006]为解决以上技术问题，本技术采用如下技术方案：
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针压力检测用的定位装置，其包括插座的定位座和升降调节单元，其特征在于：所述升降调节单元包括升降部件和调节部件，其中所述升降部件包括至少两个升降件，且所述至少两个升降件自顶部齐平并形成水平升降面，所述定位座设置在所述升降面上；所述调节部件包括联动件和操作件，其中所述联动件连接在所述至少两个升降件之间，所述操作件驱动所述联动件并带动所述至少两个升降件同步升降运动。2.根据权利要求1所述的探针压力检测用的定位装置，其特征在于：所述升降部件还包括固定座、上下活动设置在所述固定座上方的活动座，所述升降件有两个且并排间隔连接在所述固定座与所述活动座之间，所述定位座固定安装在所述活动座上。3.根据权利要求2所述的探针压力检测用的定位装置，其特征在于：所述固定座自顶面形成有向上延伸的下延伸部，所述活动座自底面形成有向下延伸的上延伸部，每个所述升降件分别对应连接在所述下延伸部和所述上延伸部上。4.根据权利要求3所述的探针压力检测用的定位装置，其特征在于：每个所述升降件包括共轴枢轴连接在所述下延伸部上的第一连杆和第二连杆、共轴枢轴连接在所述上延伸部上的第三连杆和第四连杆，其中所述第一连杆和所述第三连杆的端部通过第一枢轴连接，所述第二连杆和所述第四连杆的端部通过第二枢轴连接，且所述第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆之间围设成平行四边形。5.根据权利要求4所述的探针压力检测用的定位装置，其特征在于：每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静，莫右，朱军，
申请(专利权)人：苏州通富超威半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：