一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置及其修整方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置及其修整方法，包括：底座(1)，工作台(2)，修整器(3)，立柱(4)，主轴(5)，金刚石砂轮(6)；所述工作台(2)设置在所述底座(1)上，所述修整器(3)通过多个调平机构(9)设置在所述底座(1)上，所述底座(1)上还设置有所述立柱(4)，所述主轴(5)设置在所述立柱(4)的一侧，所述金刚石砂轮(6)设置在所述主轴(5)上，且与所述工作台(2)垂直，所述主轴(5)为所述金刚石砂轮(6)提供转动力。砂轮(6)提供转动力。砂轮(6)提供转动力。

【技术实现步骤摘要】
一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置及其修整方法


[0001]本专利技术涉及大口径非球面光学元件超精密加工
，更具体的说是涉及一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置及其修整方法。

技术介绍

[0002]目前，非球面光学元件能够消除球面元件在光束传递过程中产生的球差、慧差、像差等不利影响，在光束聚焦时能减少光能损失，提高聚焦和校准精度，在现代大型光学系统中获得了广泛的应用。采用超精密磨削加工的方法，实现非球面光学元件的精密成形，具有材料去除速率快、便于实现自动化等优点，目前已被国内外多项大型光学系统作为非球面光学元件制造的主工艺使用。超精密磨削加工利用金刚石砂轮，通过机床对砂轮位置的精确控制，按照理论的轨迹进行运动并实现材料的去除。因此，加工过程中，金刚石砂轮的形状误差会完全复印到元件表面，直接影响了元件最终的加工精度。面向于更大口径的非球面光学元件，在超硬光学材料的磨削去除过程中，金刚石砂轮极易磨损。相比于树脂等结合剂砂轮，金属基金刚石砂轮具有更高的耐磨性和形状精度保持性，更加适合于大口径非球面光学元件的加工。/>[0003]但是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，包括：底座(1)，工作台(2)，修整器(3)，立柱(4)，主轴(5)，金刚石砂轮(6)；所述工作台(2)设置在所述底座(1)上，所述修整器(3)通过多个调平机构(9)设置在所述底座(1)上，所述底座(1)上还设置有所述立柱(4)，所述主轴(5)设置在所述立柱(4)的一侧，所述金刚石砂轮(6)设置在所述主轴(5)上，且与所述工作台(2)垂直，所述主轴(5)为所述金刚石砂轮(6)提供转动力。2.根据权利要求1所述的一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，所述修整器(3)具体为：设置有摆动伺服电机(31)和立轴(32)的底板(33)，所述立轴(32)与所述底板(33)一体设置，所述立轴(32)上套设有第一同步带轮(34)和摆臂(35)，所述第一同步带轮(34)和摆臂(35)同步运动，所述摆动伺服电机(31)上设置有第二同步带轮(36)，所述第一同步带轮(34)和所述第二同步带轮(36)通过同步带(37)连接，所述立轴(32)的顶端设置有升降机构(38)，所述升降机构(38)上设置有第一修整机构(39)，所述摆臂(35)上设置有第二修整机构(310)。3.根据权利要求2所述的一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，所述第一修整机构(39)包括：电解液池(391)，电解阴极(392)，超声振子(393)；所述电解阴极(392)和所述超声振子(393)设置在所述电解液池(391)内，且所述电解阴极(392)与所述超声振子(393)的上表面形貌与所述金刚石砂轮(6)的外表面形貌相适配。4.根据权利要求2所述的一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，所述第二修整机构(310)具体包括：径向运动伺服电机(3101)，径向运动导轨(3102)，径向运动丝杆(3103)，径向运动滑块(3104)，径向运动滑台(3105)，修整电机(3106)和修整砂轮(3107)；所述径向运动伺服电机(3101)设置在所述摆臂(35)的端部，所述径向运动伺服电机(3101)上连接所述有径向运动丝杆(3103)，所述径向运动丝杆(3103)与所述摆臂(35)平行，且所述径向运动丝杆(3103)两侧平行设置所述有径向运动导轨(3102)，所述修整电机(3106)固定在所述径向运动滑台(3105)上，所述径向运动滑台(3105)设置在所述径向运动滑块(3104)上，所述径向运动滑块(3104)沿所述径向运动导轨(3102)滑动，在所述径向运动滑台(3105)底部设置有径向运动螺母，所述径向运动螺母和所述径向运动丝杆(3103)相适配，在所述径向运动伺服电机(3101)的驱动下，使所述径向运动滑块(3104)、所述径向运动滑台(3105)、所述修整电机(3106)及所述修整砂轮(3107)沿摆臂径向运动。5.根据权利要求1所述的一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，所述主轴(5)上还设置有冷却液管道(7)。6.根据权利要求2所述的一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，所述立轴(5)与所述第一同步带轮(34)、所述摆臂(35)之间设置有径向滚珠轴承(51)和轴向止推轴承(52)。7.根据权利要求1所述的一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，其特征在于，所述修整器(3)上还设置有纵向水平仪(311)和横向水平仪(312)。8.根据权利要求1所述的一种金属基金刚石砂轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：周炼，李洁，张清华，王建，袁志刚，韦前才，钟波，邓文辉，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
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