一种卡塞清洗机构制造技术

本实用新型专利技术提出了一种卡塞清洗机构，其包括箱体、毛刷组件、驱动装置及定位件；其中，所述毛刷组件水平转动设置在箱体内；所述定位件固定设置在箱体内，用于对卡塞进行倒扣安装；所述驱动装置设置在箱体外侧，用于驱动毛刷组件旋转以对定位件上的卡塞内部进行清洗；还包括去污组件，所述去污组件固定设置在箱体内，用于对毛刷组件上的污垢进行去除。本实用新型专利技术通过设置去污组件，可以去除毛刷组件在清洗卡塞狭缝过程中粘附的污垢，从而保证毛刷组件表面尽可能少的粘附污染物，从而减少毛刷组件上的污染物向卡塞的狭缝中转移，提高卡塞狭缝的清洗效果。清洗效果。清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
一种卡塞清洗机构


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种卡塞清洗机构。

技术介绍

[0002]卡塞也称之为晶圆盒，其是用来在半导体晶圆片的生产过程中，将晶圆片放置于卡塞内进行暂存或周转使用，在长期使用过程中，由于各种溶液以及环境的影响，会使卡塞造成污染，为防止卡塞内部污染物对晶圆片产生影响，需要定期对卡塞进行清洗。
[0003]通常情况下，卡塞会定期在清洗槽内进行溢流清洗，但在此过程中由于水压及卡塞狭缝结构的问题并不能很好的清洗干净，因此长期积累会导致污染晶圆片从而影响良率。
[0004]公开号为CN102658270B的中国专利公开了一种晶圆盒清洗装置及其清洗方法，它是通过刷子上的刷头对晶圆盒的狭缝进行清扫，使附着在狭缝内的颗粒离开狭缝内表面，经过刷头清扫过的晶圆盒狭缝有易于利用去离子水进行再次清洗，从而达到清洗干净的目的。
[0005]然而，刷头在清扫卡塞的狭缝过程中，污染物会粘附到刷头上，无法祛除，且越积越多，导致刷头在后续清扫作业过程中，刷头上的污染物会转移到狭缝中，增加卡塞狭缝的污染程度，进而导致刷头继续清扫效果不佳，卡塞狭缝无法清洗干净，存在污染晶圆片风险，如果经常更换刷头，在费事费力，且成本增加。

技术实现思路

[0006]有鉴于此，本技术提出了一种卡塞清洗机构，来解决卡塞清洗过程中，污染物会粘附到刷头上，越积越多，容易增加卡塞狭缝的污染程度，进而导致刷头继续清扫效果不佳的问题。
[0007]本技术的技术方案是这样实现的：
[0008]本技术提供了一种卡塞清洗机构，其包括箱体、毛刷组件、驱动装置及定位件；其中，
[0009]所述毛刷组件水平转动设置在箱体内；
[0010]所述定位件固定设置在箱体内，用于对卡塞进行倒扣安装；
[0011]所述驱动装置设置在箱体外侧，用于驱动毛刷组件旋转以对定位件上的卡塞内部进行清洗；
[0012]还包括去污组件，所述去污组件固定设置在箱体内，用于对毛刷组件上的污垢进行去除。
[0013]在上述技术方案的基础上，优选的，所述毛刷组件包括辊筒、辊轴及刷毛，所述辊轴水平转动设置在箱体内，辊筒固定套设在辊轴上，刷毛均匀设置在辊筒的表面且与卡塞的狭缝对应。
[0014]进一步，优选的，还包括喷淋组件，所述喷淋组件包括第一清洗剂喷射装置及清水
喷射装置，所述第一清洗剂喷射装置位于毛刷组件水平方向一侧，其包括第一主管和第一喷射管，第一主管和辊筒平行，第一喷射管设置有多个，沿第一主管长度方向等间距设置，且第一喷射管朝辊筒方向向上倾斜设置；所述清水喷射装置，包括固定板、喷水管及进水主管，所述固定板水平设置定位件上方，且与箱体内壁固定连接，喷水管水平设置在固定板上，喷水管的两端分别位于辊筒轴线方向顶端，且喷水管的喷水口朝向辊筒顶部的刷毛。
[0015]在上述技术方案的基础上，优选的，所述去污组件包括去污板，所述去污板水平位于毛刷组件正下方，去污板的两端分别与箱体内壁固定连接，去污板朝向刷毛的一面绕辊筒转动方向呈弧形设置，所述去污板朝向刷毛的一面绕辊筒转动方向等间距设置有多条刮污凸缘。
[0016]进一步，优选的，所述刮污凸缘沿其长度方向设置有若干用于和刷毛相对应的刮槽。
[0017]更进一步，优选的，所述去污板上设置有多个贯通所述去污板的过液孔。
[0018]在上述技术方案的基础上，优选的，所述去污组件还包括第二清洗剂喷射装置，所述第二清洗剂喷射装置水平位于毛刷组件远离第一清洗剂喷射装置的一侧，第二清洗剂喷射装置包括第二主管和第二喷射管，第二主管和辊筒平行，第二喷射管设置有多个，沿第二主管长度方向等间距设置，且第二喷射管朝辊筒方向向上倾斜设置，所述箱体侧壁上固定设置有与第一主管和第二主管并联的清洗剂主管。
[0019]在上述技术方案的基础上，优选的，所述驱动装置包括手摇轮、大齿轮和小齿轮，所述大齿轮和小齿轮转动设置在箱体一侧外壁，且大齿轮和小齿轮相互啮合，小齿轮与辊轴的一端固定连接，手摇轮与大齿轮固定连接。
[0020]优选的，所述定位件间隔设置有四个，两两对称位于毛刷组件两侧，定位件的下端与箱体内底面固定连接，定位件的上端设置有用于安装卡塞的定位槽。
[0021]优选的，还包括活动设置在箱体开口端的箱盖，所述箱体下端设置有出水口。
[0022]本技术相对于现有技术具有以下有益效果：
[0023](1)本技术公开的卡塞清洗机构，通过在箱体内定位件，可以将卡塞倒扣设置在定位件上，通过设置毛刷组件及驱动装置，利用驱动装置驱动毛刷组件旋转，从而实现对卡塞内部进行清洗，同时在箱体内还设置去污组件，可以去除毛刷组件在清洗卡塞狭缝过程中粘附的污垢，从而保证毛刷组件表面尽可能少的粘附污染物，从而减少毛刷组件上的污染物向卡塞的狭缝中转移，提高卡塞狭缝的清洗效果；
[0024](2)通过在毛刷组件水平方向一侧设置第一清洗剂喷射装置，可以向刷毛上喷洒清洗剂，通过清洗剂能够有效的清理卡塞狭缝中的污垢，同时设置喷水管，喷水管的两端分别位于辊筒轴线方向顶端，且喷水管的喷水口朝向辊筒顶部的刷毛，刷毛在清洗卡塞时，通过向卡塞内部喷射高压水，可以将卡塞内部清洗掉的污水冲洗掉，提高卡塞的洁净度；
[0025](3)通过在毛刷组件的正下方设置去污板，同时去污板朝向刷毛的一面绕辊筒转动方向等间距设置有多条刮污凸缘，刷毛通过旋转来对卡塞狭缝进行清理，污垢会粘附到刷毛上，当刷毛旋转越过去污板时，刷毛上的污垢可以被刮污凸缘刮除掉，减少刷毛上污垢的粘附量，从而减少刷毛上的污染物向卡塞的狭缝中转移，提高卡塞狭缝的清洗效果；
[0026](4)通过刮污凸缘沿其长度方向设置有若干用于和刷毛相对应的刮槽，刷毛在越过刮污凸缘时，会经过刮槽，从而高效的将刷毛上粘附的污垢去除掉；
[0027](5)通过设置第二清洗剂喷射装置，可以对刷毛清洗卡塞后进行表面喷洒清洗剂，在配合去污板和刮污凸缘时，能够快速的将刷毛上的污垢去除掉，减少污垢在刷毛上的粘附量。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本技术公开的卡塞清洗机构的立体结构示意图；
[0030]图2为本技术公开的喷淋组件、毛刷组件及驱动装置的立体结构示意图；
[0031]图3为本技术公开的去污组件的立体结构示意图；
[0032]图4为本技术公开的去污板的立体结构示意图；
[0033]图5为图4中A处局部放大图；
[0034]图6为本技术公开的卡塞清洗机构平面结构示意图；
[0035]附图标记：
[0036]1、箱体；2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卡塞清洗机构，其包括箱体(1)、毛刷组件(2)、驱动装置(3)及定位件(4)；其中，所述毛刷组件(2)水平转动设置在箱体(1)内；所述定位件(4)固定设置在箱体(1)内，用于对卡塞(P)进行倒扣安装；所述驱动装置(3)设置在箱体(1)外侧，用于驱动毛刷组件(2)旋转以对定位件(4)上的卡塞内部进行清洗；其特征在于：还包括去污组件(5)，所述去污组件(5)固定设置在箱体(1)内，用于对毛刷组件(2)上的污垢进行去除。2.如权利要求1所述的卡塞清洗机构，其特征在于：所述毛刷组件(2)包括辊筒(21)、辊轴(22)及刷毛(23)，所述辊轴(22)水平转动设置在箱体(1)内，辊筒(21)固定套设在辊轴(22)上，刷毛(23)均匀设置在辊筒(21)的表面且与卡塞(P)的狭缝对应。3.如权利要求2所述的卡塞清洗机构，其特征在于：还包括喷淋组件(6)，所述喷淋组件(6)包括第一清洗剂喷射装置(61)及清水喷射装置(62)；其中，所述第一清洗剂喷射装置(61)位于毛刷组件(2)水平方向一侧，其包括第一主管(611)和第一喷射管(612)，第一主管(611)和辊筒(21)平行，第一喷射管(612)设置有多个，沿第一主管(611)长度方向等间距设置，且第一喷射管(612)朝辊筒(21)方向向上倾斜设置；所述清水喷射装置(62)，包括固定板(621)、喷水管(622)及进水主管(623)，所述固定板(621)水平设置定位件(4)上方，且与箱体(1)内壁固定连接，喷水管(622)水平设置在固定板(621)上，喷水管(622)的两端分别位于辊筒(21)轴线方向顶端，且喷水管(622)的喷水口朝向辊筒(21)顶部的刷毛(23)。4.如权利要求3所述的卡塞清洗机构，其特征在于：所述去污组件(5)包括去污板(51)，所述去污板(51)水平位于毛刷组件(2)正下方，去污板(51)的两端分别与箱体(1)内壁固定连接，去...

【专利技术属性】
技术研发人员：李明，尚博文，段会强，王虎，徐马记，贺慧婷，胡韵爽，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：