一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀及连接器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀及连接器，涉及刀具技术领域。本实用新型专利技术燕尾刀用于刻蚀机反应腔的内衬加工上，刀具在使用时，需要与CNC配合，对内衬的格栅完成倒角操作，本实用新型专利技术的燕尾刀包括刀柄、连接部以及切削部，为保证刀柄流畅的运行在格栅之间，所述连接部的一端连接所述刀柄，另一端连接所述切削部，连接的作用是用于连接切削部和刀柄，且连接部的直径设计为2.6mm，这样便于一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀沿轴线做旋转运动，窄小的直径也使其可以灵活的在格栅之间移动加工格栅底部的倒角。本实用新型专利技术通过替代现有的钳工手动倒角，减少操作人员的工作强度提高加工效率，也提升了内衬的加工质量，节约成本。节约成本。节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀及连接器


[0001]本技术涉及刀具
，具体涉及一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀及连接器。

技术介绍

[0002]在半导体处理刻蚀工艺的过程中，腔室内部结构的优化设计对设备本身的工艺性能及刻蚀结果有着决定性的作用。目前，通常采用在腔室内部增加内衬的方法来约束等离子体，并保护腔室内侧壁和底部腔室壁不被等离子体刻蚀，同时还有利于简化腔室的日常维护。
[0003]在反应腔内衬的加工过程中，内衬装配其中一个关键尺寸是底部多达几百个的格栅倒角需满足图纸要求，但是现有内衬格栅在加工倒角过程中由于没有适合的刀具，无法在机加工过程中完成格栅倒角，需要通过钳工手动用倒角工具操作才能完成，手动倒角无法达到机台加工的精密度和齐整度，增加操作人员的劳动强度，耗时耗力，降低了加工效率，倒角加工是否到位也会影响后续电镀，不利于保护反应腔室的底部腔室壁和卡盘的外周壁不被等离子体刻蚀。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，能够加工内衬格栅，保证精密度和齐整度，且使用灵活，易于操作，减少操作人员的工作强度提高加工效率，也提升了内衬的加工质量。本技术还提出一种连接器，便于和三爪卡盘配合使用，固定效果更好，还能避免刀柄受损。
[0005]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0006]一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，包括一体成型的刀柄、连接部以及切削部，所述连接部的一端连接所述刀柄，另一端连接所述切削部，所述切削部的截面呈燕尾型，且切削部的外沿边构造有刀刃部，所述刀刃部与所述连接部的轴线形成的内角为锐角。
[0007]作为优选的技术方案，所述锐角为45
°
。
[0008]作为优选的技术方案，所述切削部截面最大直径长度大于所述连接部直径。
[0009]作为优选的技术方案，所述刀柄呈柱形。
[0010]作为优选的技术方案，所述刀柄呈正六边形。
[0011]本技术还提供一种连接器，所述连接器与上述燕尾刀配合使用，所述连接器包括连接杆，其一端构造有容纳槽，所述刀柄的一端插入至所述容纳槽内部，并与容纳槽内端部抵触，所述连接杆外周侧构造有连通所述容纳槽的定位销孔。
[0012]作为优选的技术方案，所述容纳槽的截面呈柱形。
[0013]作为优选的技术方案，所述容纳槽的截面呈正六边形。
[0014]作为优选的技术方案，所述连接杆包括连接段和与连接段可拆卸连接的安装段，所述容纳槽构造在所述安装段上。
[0015]作为优选的技术方案，所述安装段远离所述容纳槽的一端构造有螺纹接头，所述连接段上构造有与所述螺纹接头螺纹配合的螺纹槽。
[0016]本技术的有益效果如下：
[0017]本技术通过替代现有的钳工手动倒角，减少操作人员的工作强度提高加工效率，也提升了内衬的加工质量，节约成本，为后续电镀等工序的稳定执行奠定了坚实基础。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例一立体结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例一又一立体结构示意图；
[0020]图3是本技术图1的正视图；
[0021]图4是本技术图4中A
‑
A方向的剖视图；
[0022]图5是本技术实施例二正视图；
[0023]图6是本技术图5中B
‑
B方向的剖视图；
[0024]图7是本技术实施例二立体结构示意图；
[0025]图8是本技术实施例二又一立体结构示意图；
[0026]附图标记：1、刀柄；2、连接部；3、切削部；4、刀刃部；5、连接杆；501、连接段；502、安装段；503、螺纹接头；6、容纳槽；7、定位销孔。
具体实施方式
[0027]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028]实施例一
[0029]如图1、图3和图4所示，本技术实施例一提出的一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，本技术一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀用于刻蚀机反应腔的内衬加工上，刀具在使用时，需要与CNC配合，对内衬的格栅完成倒角操作，本技术一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀包括一体成型的刀柄1、连接部2以及切削部3，为保证刀柄1流畅的运行在格栅之间，刀柄1的直径为4mm，长度为50mm，所述连接部2的一端连接所述刀柄1，另一端连接所述切削部3，连接部2的作用是用于连接切削部3和刀柄1，且连接部的直径设计为2.6mm，这样便于一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀沿轴线做旋转运动，窄小的直径也使其可以灵活的在格栅之间移动加工格栅底部的倒角，所述切削部3的截面呈燕尾型，且切削部3的外沿边构造有刀刃部4，依靠刀刃部4完成格栅倒角作业工作，所述刀刃部4与所述连接部2的轴线形成的内角为锐角，所述锐角为45
°
，将切削部3设计为燕尾型，且刀刃部4与所述连接部2的轴线形成45
°
锐角，这样切削时刀刃部4与格栅的接触面较小，产生热量低，提高了刀具的使用寿命，减少了更换刀具的次数；
[0030]因此综上所述，本技术提出的一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀配合CNC设备使用，通过节能低耗，高效稳定的机加替代现有效率低效的人工操作，减少操作人员的工作强度提高加工效率，也提升了内衬的加工质量，节约成本，为后续电镀等工序的稳定执行奠定了坚实基础。
[0031]如图4所示，为提高刀具的质量和使用寿命，优选的，所述切削部3截面最大直径长
度大于所述连接部2直径，即切削部3在垂直于刀柄1的轴线方向上的最大长度大于连接部2的直径，即切削部3的外沿边刀刃部4的直径大于连接部2直径，这样可以减少对格栅的挤压避免了由于碎屑作用挤压变形，提高了刀具的工作效率和产品质量。
[0032]如图1
‑
图2所示，优选的，本技术刀柄1具有两种形状，所述刀柄1可呈柱形或正六边形，两种形状的刀柄1均可应用在格栅倒角的加工上。
[0033]实施例二
[0034]如图5
‑
图6所示，本技术实施例二还提出一种连接器，所述连接器与上述燕尾刀配合使用，由于刀具需要配合CNC设备使用，因此需要将其于三爪卡盘配合固定，但是受刀片直径尺寸影响，为便于与三爪卡盘配合使用，同时为保证对刀柄1的固定，因此本技术还提出了连接器，所述连接器包括连接杆5，其一端构造有容纳槽6，所述刀柄1的一端插入至所述容纳槽6内部，并与容纳槽6内端部抵触，其容纳槽6的总长度是小于刀柄1的总长度，也就是表明，刀柄1有一部分时外露至容纳槽6外部的，这是因为刀刃部4需要靠近内衬格栅的底部，因此外露部分的刀柄1配合连接部2和切削部3的总长度，满足对内衬格栅的底部倒角的加工距离需求，且刀柄1处于容纳槽6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，其特征在于，包括一体成型的刀柄（1）、连接部（2）以及切削部（3），所述连接部（2）的一端连接所述刀柄（1），另一端连接所述切削部（3），所述切削部（3）的截面呈燕尾型，且切削部（3）的外沿边构造有刀刃部（4），所述刀刃部（4）与所述连接部（2）的轴线形成的内角为锐角。2.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，其特征在于，所述锐角为45
°
。3.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，其特征在于，所述切削部（3）截面最大直径长度大于所述连接部（2）直径。4.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，其特征在于，所述刀柄（1）呈柱形。5.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机反应腔内衬的燕尾刀，其特征在于，所述刀柄（1）呈正六边形。6.一种连接器，所述连接器与如权利要求1
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：汤凌宇，游利，吴亮，袁洋，沈晨晨，
申请(专利权)人：江苏先锋精密科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：