带有防止电极脱落装置的静电消除器制造方法及图纸

一种静电消除器，通过使具有一对电极的电极盒在壳体的电极安装口内绕中心轴线旋转，以此可自由拆装地进行安装，在该静电消除器中，在上述壳体上安装有防止脱落罩，在该防止脱落罩上，形成有上述电极盒所嵌合的嵌合孔，通过该嵌合孔限制该电极盒的旋转，以此防止电极盒的脱落。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于对带电的工件进行除电的静电消除器，更详细地说，是涉及具有防止脱落装置的静电消除器，所述防止脱落装置用于防止离子发生用电极的脱落。
技术介绍
在半导体晶片等的工件的处理工序中，使用静电消除器对由于静电而带电的工件进行除电。该静电消除器，例如如专利文献1所示，在壳体下面的电极安装口内配置有正电极和负电极，在正电极上施加有正脉冲状的高电压，在负电极上施加有负脉冲状的高电压，由此发生电晕放电、从两个电极产生正负离子。上述正负电极，由于附着垃圾而容易污染，并且由于反复进行电晕放电而容易消耗，因此需要经常进行清扫和更换，所以处于可自由拆装的状态，即，通过将上述一对电极保持在中空的电极保持件上而形成电极盒，将该电极盒可自由拆装地安装在壳体内。在该安装方式中，通常，将电极盒嵌合在形成于壳体上的上述电极安装口内，使该电极盒绕中心轴线旋转一定的角度，由此，将形成在该电极盒上的安装用突起卡定在形成于壳体上的安装用凹部中。但是，在该种静电消除器中，由于使用该静电消除器时的振动和冲击等，有可能使上述电极盒逐步旋转，并最终导致上述突起从凹部脱开、从电极安装口脱落的问题。因此，为了避免电极盒从壳体脱落，要求更切实地进行该电极盒的安装。专利文献1特开2005-108829号公报
技术实现思路
于是，本专利技术的目的是提供一种静电消除器，该静电消除器具有用于防止上述电极盒脱落的防止电极脱落装置。为了达到上述目的，本专利技术的静电消除器具有壳体、电极盒、防止脱落罩，所述壳体具有开设电极安装口的下面以及与该下面连接的两个侧面；所述电极盒可自由拆装地安装在上述电极安装口内；所述防止脱落罩安装在上述壳体上、防止该电极盒的脱落。所述电极盒，通过在具有长圆形剖面的中空的电极保持件上保持一对电极而形成，并且通过使所述电极盒在上述电极安装口内绕中心轴线旋转而使其相对于上述壳体可以自由拆装，并且，上述防止脱落罩可自由拆装地安装在上述壳体上，具有用于约束电极盒的约束部，通过利用该约束部限制该电极盒的旋转来防止该电极盒的脱落。在本专利技术中，优选地，上述防止脱落罩的约束部是上述电极盒所嵌合的长圆形的嵌合孔。在本专利技术中，优选地，上述防止脱落罩具有槽形剖面，在其底壁部分上具有上述嵌合孔，并且在上述壳体的下面安装成跨越该下面的状态。在这种情况下，优选地，上述壳体在两个侧面的下端的偏向上述下面的位置具有沿该壳体的长度方向延伸的一对安装槽，另外，上述防止脱落罩，其左右的侧壁可以向相互的开闭方向自由弹性变性，并具有在该侧壁的前端朝内突出的突缘，通过将该突缘弹性地卡定在上述安装槽上可以将上述防止脱落罩安装在上述壳体上。另外，在本专利技术中，上述防止脱落罩也可以具有卡定臂，该卡定臂从左右的侧壁向上延伸并与壳体的侧面或者上面卡定。或者，上述防止脱落罩也可以通过带安装在该壳体上，所述带用于卷绕该防止脱落罩和上述壳体。另外，所述防止脱落罩可以通过螺钉安装在上述壳体上。另外，在本专利技术中，在上述防止脱落罩的嵌合孔内，通过设置覆盖上述电极盒中的电极保持件前端的开口部的过滤器，使该防止脱落罩兼备过滤器保持件的功能。根据本专利技术，可自由拆装地将防止脱落罩安装在静电消除器的壳体上，并且，利用通过该防止脱落罩限制电极盒的旋转的简单的技术方法，可以切实地防止该电极盒的脱落。附图说明图1是表示本专利技术的静电消除器的第一实施方式的正视图。图2是图1的仰视图。图3是图1的侧视图，以剖切一部分的方式进行表示。图4是图1的分解图，以剖切防止脱落罩的一部分的方式进行表示。图5是图4的侧视图，以剖切一部分的方式进行表示。图6是电极盒的局部剖视图。图7是静电消除器本体的局部仰视图。图8是防止脱落罩的局部仰视图。图9是壳体的局部放大剖视图。图10是本专利技术的第二实施方式的正视图。图11是图10的侧视图，以剖切一部分的方式进行表示。图12是本专利技术的第3实施方式的正视图。图13是图12的侧视图。图14是本专利技术的第4实施方式的正视图。图15是图14的侧视图。图16表示本专利技术的第5实施方式，表示拆下一部分螺钉的状态的正视图。具体实施例方式图1～图5表示本专利技术的静电消除器的第一实施方式。该静电消除器1A是在半导体晶片等的工件的处理工序中、用于对因静电而带电的该工件进行除电的装置，若从静电消除器1A对工件投射正负离子，则在该工件带正电时将吸附负离子、在该工件带负电时将吸附正离子，以此进行除电。对于上述静电消除器1A，在具有一对或一对以上、最好是多对的离子发生用的正负电极11，11的静电消除器本体2中，可拆装地安装有用于防止这些电极的脱落的防止脱落罩3。上述静电消除器本体2，在横向具有细长的中空壳体5。该壳体5在纵向具有细长矩形或者长圆形、或者与其类似的剖面形状，在其下面5a，在轴线方向(长度方向)具有细长的长圆形状的多个电极安装口6以等间隔形成在该轴线方向，在各电极安装口6上，可自由拆装地安装有电极盒7。图中的8表示封闭上述壳体5的长度方向的两端部的端板。从图6可知，上述电极盒7在剖面为长圆形的中空的电极保持件10的内部，保持有通过施加高电压而产生正负离子的上述一对正负电极11。在上述电极保持件10的中间部外周，设置有与上述电极安装口6和防止脱落罩3的嵌合孔13卡定的凸缘状的卡定部12，另外，在该电极保持件10的基端部的长圆的长度方向的两端部，形成有用于将电极盒7卡定于电极安装口6内的安装用突起14，14。上述电极保持件10，其长圆的长度方向及横向的尺寸，形成为充分小于该电极安装口6的长圆的长度方向以及宽度方向的尺寸，以便在上述电极安装口6内具有充分的余量。另一方面，上述卡定部12的长度方向及宽度方向的尺寸形成为大于该电极安装口6的长度方向及宽度方向的尺寸，以便在将该电极保持件10嵌合在上述电极安装口6时与该电极安装口6的口缘进行卡定。并且，如图7所示，上述电极盒7，在向上述电极安装口6内倾斜的状态、即、在使电极保持件10的长圆的长度方向的轴线L2相对于电极安装口6的长圆的长度方向的轴线L1倾斜的状态下进行嵌合，然后，使该电极盒7绕中心轴线L0旋转一定角度，使上述长度方向的轴线L2与电极安装口6的长度方向的轴线L1一致，以此上述安装用突起14与壳体5的安装用凹部(未图示)卡定，将该电极盒7安装在电极安装口6上。在将上述电极盒7从电极安装口6拆下时，在上述电极保持件10的长度方向的轴线L2相对于电极安装口6的长度方向的轴线L1倾斜的位置使该电极盒7旋转，以此上述安装用突起14从壳体5的安装用凹部脱开，可将其拆下。上述正负电极11虽然没有特别的图示，但它的工作原理如下，即，与产生正脉冲状高电压的正的高电压发生回路、和产生负脉冲状高电压的负的高电压发生回路分别连接，从周期性动作的这些高电压发生回路交替地施加正负的高电压，以此产生电晕放电，从正电极11放出正的离子，从负电极11放出负的离子。这些高电压发生回路和其控制装置，可以设置在上述壳体5的内部或设置在壳体5的外部的适当位置。另外，上述壳体5如图5明确示出，具有与上述下面5a相连的左右的侧面5b，5b，在这些侧面5b的下端的靠近上述下面5a的相互相对的位置，具有沿着该壳体5的轴线方向(长度方向)在整个长度上延伸的一对安装槽15，15。该安装槽15的截面形状，可以为V字形、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有防止电极脱落装置的静电消除器，其特征在于，具有：壳体、电极盒、防止脱落罩，所述壳体具有开设电极安装口的下面以及与该下面连接的两个侧面；所述电极盒可自由拆装地安装在上述电极安装口内；所述防止脱落罩安装在上述壳体上、防止该电极盒的脱落，　　　　所述电极盒，通过在具有长圆形剖面的中空的电极保持件上保持一对电极而形成，并且通过使所述电极盒在上述电极安装口内绕中心轴线旋转而使其相对于上述壳体可以自由拆装，　　　　上述防止脱落罩可自由拆装地安装在上述壳体上，具有用于约束电极盒的约束部，通过利用该约束部限制该电极盒的旋转来防止该电极盒的脱落。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤俊夫，鈴木智，土屋元，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]