一种基于异步多精度协同测量估计的批间控制方法技术

本发明专利技术公开了一种基于异步多精度协同测量估计的批间控制方法，涉及智能制造技术领域，包括如下步骤：S100、建立模型，建立线性模型：y

【技术实现步骤摘要】
一种基于异步多精度协同测量估计的批间控制方法


[0001]本专利技术涉及智能制造
，尤其涉及一种基于异步多精度协同测量估计的批间控制方法。

技术介绍

[0002]在流程制造产业中，厂家重点关注的是如何提升成品的良品率，增加设备效率，从而增加利润。良品率是制程站生产合格产品和总产品数的比值，将每一个生产线上的制程站的良品率累乘起来就可以获得整个产线制造过程中的良品率，这一良品率也被称为CUM良品率(累计良品率)。
[0003]批间控制(Run
‑
to
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Run控制，R2R控制)就是用于解决流程制造中的间歇过程控制的问题，目前被广泛用于流程以及半导体的制造过程中，进而引起了大家的研究热情。批间控制方法是一种结合了统计过程控制(SPC)和先进过程控制(APC)的控制方法，并在这两种控制基础上进行优化。批间控制的目的就是解决制造工艺中的控制问题。批间控制是指在制造流程中，一个批次通常是指基于一个炉次的单独过程，而批间控制的基本思想就是通过两个批次之间的关系和前一个批次的测量结果作为依据来进行下一个批次的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于异步多精度协同测量估计的批间控制方法，其特征在于，包括如下步骤：S100、建立模型，建立线性模型：y
t
＝α+βx
t
‑1+ε
t
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(1)；S200、对参数α和β进行估计，使用贝叶斯公式对所述参数α和β进行估计，所述贝叶斯公式如下：S300、混合测量模式下对所述参数α和β进行估计，对所述参数α和β全条件概率分布进行Gibbs抽样，通过迭代得到所述参数α和β的边际概率分布；S400、混合测量模式下进行批间控制。2.如权利要求1所述的基于异步多精度协同测量估计的批间控制方法，其特征在于，所述步骤S300包括：S310、抽取一个y
t
的样本，根据所述y
t
的全条件概率分布，抽取一个y
t
样本；S320、更新所述参数α和β的全条件概率分布，将在上次迭代中获得的估计分布作为先验概率，然后根据S310中的抽样，对所述参数α和β的全条件概率分布进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚小雪，潘常春，王宏武，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：