影像感测器制造技术

一种影像感测器，包括：多个感测部；彩色滤光层，设置于感测部上；以及微透镜，设置于彩色滤光层上。微透镜包括正向曲率半径(radius of curvature)，且碟型结构(dish structure)是形成于微透镜内，碟型结构包括负向曲率半径。碟型结构包括负向曲率半径。碟型结构包括负向曲率半径。

【技术实现步骤摘要】
影像感测器


[0001]本公开实施例是关于影像感测器及其形成方法，特别是关于影像感测器的微透镜结构。

技术介绍

[0002]影像感测器，如互补式金属氧化物半导体影像感测器(complementary metal oxide semiconductor image sensor,CIS)，被广泛地运用在影像拍摄设备中，如数码静止影像相机、数码摄影相机、以及其他类似设备。影像感测器的光感测部可检测环境中的色彩变化，并可根据光感测部接收到的光量产生信号电荷。此外，可传输并放大在光感测部中所产生的信号电荷，从而获得影像信号。
[0003]基于业界需求，像素尺寸持续地缩小。为了维持高性能，可将一组像素(如相位差自动对焦(phase difference auto focus,PDAF)像素)与传统的像素阵列整合。这组像素接收到的光可通过彩色滤光片汇聚，并收集在底部对应的感测部，而检测到装置的影像对焦。然而，具有缩小像素尺寸的影像感测器可能因精准度的些许偏移，而显著地影响元件的整体性能。因此，需要通过影像感测器的设计和制造来解决这些相关问题。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种影像感测器，包括：多个感测部；一彩色滤光层，设置于所述感测部上；以及一微透镜，设置于该彩色滤光层上，其中该微透镜包括一正向曲率半径，且一碟型结构是形成于该微透镜内，该碟型结构包括一负向曲率半径。2.如权利要求1所述的影像感测器，更包括：一基底，其中所述感测部埋入于该基底内；多个深沟槽隔离结构，将所述感测部分隔开；一网格结构，于该彩色滤光层内；以及一遮光结构，埋入于该网格结构内。3.如权利要求1所述的影像感测器，更包括一顶膜，顺应性地设置于该微透镜上和该碟型结构内，其中该顶膜的折射率低于该微透镜的折射率，且该顶膜的折射率高于空气的折射率。4.如权利要求1所述的影像感测器，其中该碟型结构是设置在该微透镜的中心。5.如权利要求1所述的影像感测器，其中该碟型结构包括：一第一深度，其中该第一深度小于该微透镜的高度；以及一第一宽度，其中该第一宽度小于该微透镜的底宽度。6.一种影像感测器，包括：一第一组感测单元；一第二组感测单元；其中该第一组感测单元和该第二组感测单元的每一个包括多个感测部、一彩色滤光层、和一微透镜，该彩色滤光层设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：董耀中，涂宗儒，林绮涵，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：