一种近似无衍射白光线光源的生成装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种近似无衍射白光线光源的生成装置，包括沿光传输方向依次包括光源、第一透镜、荧光片、第二透镜、第三透镜及狭缝，其中，所述光源用于产生具有预设能量的激发光；所述第一透镜用于对所述激发光进行聚焦；所述荧光片用于根据入射的激发光产生白光；所述第二透镜用于对所述白光进行准直；所述第三透镜用于对准直后的白光产生近似无衍射白光；所述狭缝用于滤除近似无衍射白光的次级条纹以产生中心条纹为主的线性白光。本发明专利技术实施例能够兼顾光强利用率高且均匀性好，可广泛应用于光学器件技术领域。于光学器件技术领域。于光学器件技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种近似无衍射白光线光源的生成装置


[0001]本专利技术涉及光学器件
，尤其涉及一种近似无衍射白光线光源的生成装置。

技术介绍

[0002]在精密尺寸测量领域，线扫描测量是一种同时兼顾精度和效率的测量方式，而白光共聚焦线扫描测量由于其可以达到亚微米级的测量精度而广泛应用于半导体与芯片封测领域，另外，白光共聚焦原理由于其超高的信噪比而损失大部分的光学能量，故在线光谱共焦位移传感器中提高发射线光源的能量利用率具有重要的意义。
[0003]在线光谱共焦位移传感器中其发射狭缝只有5～50um，故发射线光源需要将光强能量集中在此宽度范围内，为保证测量线长范围内的精度及稳定性，通过狭缝的光强在线长范围内应保证基本一致。基于上述要求，目前生成白色线光源存在以下缺点：一、整个白色线光源生成装置的光强利用率不到50％，二、光线的均匀性较差。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例的目的是提供一种近似无衍射白光线光源的生成装置，光强利用率高且均匀性好。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种近似无衍射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种近似无衍射白光线光源的生成装置，其特征在于，沿光传输方向依次包括光源、第一透镜、荧光片、第二透镜、第三透镜及狭缝，其中，所述光源，用于产生具有预设能量的激发光；所述第一透镜，用于对所述激发光进行聚焦；所述荧光片，用于根据入射的激发光产生白光；所述第二透镜，用于对所述白光进行准直；所述第三透镜，用于对准直后的白光产生近似无衍射白光；所述狭缝，用于滤除近似无衍射白光的次级条纹以产生中心条纹为主的线性白光。2.根据权利要求1所述的生成装置，其特征在于，所述光源包括激光光源或白光LED光源，所述激光光源包括蓝色激光光源。3.根据权利要求1所述的生成装置，其特征在于，所述第一透镜包括平凸透镜或双凸透镜。4.根据权利要求3所述的生成装置，其特征在于，所述第一透镜的焦距及直径满足以下关系式：f1＜10mm，d1＜10mm其中，f1表示第一透镜的焦距，d1表示第一透镜的直径。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊志勇，曾成，张晶，
申请(专利权)人：长园视觉科技珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：