【技术实现步骤摘要】
一种基于外腔双折射激光自混合位移测量装置及测量方法
[0001]本专利技术属于精密光学干涉测量
，尤其涉及一种外腔双折射激光自混合测量装置及测量方法。
技术介绍
[0002]激光自混合干涉仪是集光源、干涉具及检测器于一体的单光路测量仪。自混合干涉效应在检测领域是一种具有高灵敏度的新技术，可以测量多种物理参数，包括位移、速度、加速度、流量、折射率和激光线宽等，还有应用在生物医药、成像等方面。当激光器发出的激光通过外部物体的反射或散射后进入激光腔内，腔内光与反馈光发生自混合干涉，导致激光器输出光的光强和波长发生变化。与传统干涉仪原理相比，两种干涉信号波形的形状相似，条纹分辨率相同，但激光自混合干涉仪具有光路简单、不需要附加滤波器等优点。
[0003]但是传统的激光自混合干涉位移测量仪，需要激光器处于适度光反馈水平，从而利用自混合干涉信号的倾斜方向，提前判断目标位移方向，然后还进行相位展开重构目标位移。这种方法对目标表面的反射系数有一定的要求，不适用于微弱反馈水平，而且无法实现目标位移的实时重构，无法满足制造业不同工...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于外腔双折射激光自混合位移测量装置，其特征在于，包括：用于生成正交偏振信号，并进行相位差处理和分光处理得到两个相位差稳定可调的正交偏振信号的初始信号产生部件；用于接收初始信号，并对所述初始信号进行采集处理，以得到目标信号的信号传输部件；用于计算处理所述信号传输部件的采集结果，获取被测目标位移的信号处理部件；所述初始信号产生部件、所述信号传输部件和所述信号处理部件以所述初始信号产生部件
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所述信号传输部件
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所述信号处理部件依次连接。2.根据权利要求1所述的一种基于外腔双折射激光自混合位移测量装置，其特征在于，所述初始信号产生部件包括：用于产生初始激光信号的多纵模激光器；用于对所述初始激光信号进行相位差处理，以获得相位差稳定可调的正交偏振信号的1/4波片；用于对所述1/4波片的输出光进行分光，以得到两路振动方向互相垂直的光束的渥拉斯顿棱镜；用于连接所述多纵模激光器和待测目标的衰减片；以及待测目标；在同一水平线上所述多纵模激光器、1/4波片以及所述渥拉斯顿棱镜依次光路连接，所述多纵模激光器、所述衰减片以及所述待测目标依次光路连接；且，所述渥拉斯顿棱镜和所述待测目标位于同一水平线上的两个方向。3.根据权利要求2所述的一种基于外腔双折射激光自混合位移测量装置，其特征在于，所述信号传输部件，包括：用于接收所述渥拉斯顿棱镜分离出的一对干涉信号的第一光电探测器和第二光电探测器；用于采集所述干涉信号中具有相位差的自混合干涉信号并传送至信号处理部件的数据采集卡；其中，所述第一光电探测器和所述第二光电探测器均与所述渥拉斯顿棱镜光路连接，并且所述第一光电探测器和所述第二光电探测器均与所述数据采集卡信号连接。...
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