一种基于全介质材料的柔性可调制太赫兹滤波器制造技术

本发明专利技术是一种基于全介质材料的柔性可调制太赫兹滤波器，器件包括：上层为掺杂硅或无掺硅介质图案层，下层为聚二甲基硅氧烷柔性衬底层，上层掺杂硅或无掺硅介质图案层与下层衬底层的连接依靠硅与聚二甲基硅氧烷衬底间的成键作用；上层图案为对称三角形结构、对称扇环结构或不对称裂口环结构单元在平面内周期性阵列平铺，阵列与衬底的连接依靠硅与聚二甲基硅氧烷衬底间的成键作用。通过拉伸，器件在太赫兹波段实现明显的滤波位置调制与滤波深度调制。本发明专利技术具有初级材料成本低的优势，且与传统半导体制造工艺有很高的兼容性，在较宽的频率范围内具有较大深度的可调制性，满足太赫兹系统的许多应用要求，并有潜力替代传统的金属基超材料器件。金属基超材料器件。金属基超材料器件。

【技术实现步骤摘要】
一种基于全介质材料的柔性可调制太赫兹滤波器


[0001]本专利技术涉及一种基于全介质材料的柔性可调制太赫兹滤波器，属太赫兹超材料


技术介绍

[0002]太赫兹波是指波长在红外与微波之间的电磁频段，一般指0.1THz到10THz范围，数值上1THz＝10
12
Hz。太赫兹波具有光子能量低、脉冲宽度窄、频带宽等优点，在生化物品检测、新一代通信技术革命、太赫兹成像等多个研究领域有丰富的应用前景。与此同时，能与太赫兹波段产生强响应的自然材料较少，相应的功能性器件也因此面临匮乏，这些问题极大限制了太赫兹技术的运用。超材料是指具有限定周期并特定图案化的人工材料，利用该思路可以制作出性能优良的太赫兹滤波器、太赫兹吸收器等多种功能性器件，进而解决太赫兹器件的匮乏问题。
[0003]传统的金属基超材料一般采用金、银、铜等金属作为上层图案阵列材料，这些金属价格较为昂贵，同时如果不进行回收处理，会导致大量浪费与对环境的破坏。
[0004]为了解决金属基超材料的上述问题，全介质超材料逐渐受到人们关注。全介质概念即器件全部由介本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于全介质材料的柔性可调制太赫兹滤波器，其特征在于，上层为掺杂硅或无掺硅介质图案层(1)，下层为聚二甲基硅氧烷柔性衬底层(2)，上层掺杂硅或无掺硅介质图案层与下层衬底层的连接依靠硅与聚二甲基硅氧烷衬底间的成键作用；上层的图案为对称三角形结构、对称扇环结构或不对称裂口环结构单元在平面内周期性阵列平铺。2.如权利要求1所述的太赫兹滤波器，其特征在于，所述介质层(1)的掺杂硅或无掺硅厚度为5～30微米之间；所述柔性衬底层(2)的聚二甲基硅氧烷厚度为10～100微米。3.如权利要求1所述的太赫兹滤波器，其特征在于，所述柔性衬底层(2)的侧边边长为100～400微米，上层介质层(1)的最长外廓尺寸介于所述柔性衬底层(2)边长的二分之一至所述柔性衬底层(2)的侧边边长之间。4.如权利要求1所述的太赫兹滤波器，其特征在于，所述对称三角形结构，由两个形貌相同的等腰三角形对称排布组成；三角形结构底长为60...

【专利技术属性】
技术研发人员：马雷，郝丹妮，张毅，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：