一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法技术

本发明专利技术公开了一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法，涉及数字成像技术领域，解决了现有技术处理之后，曝光图形位置精度各个区域不一致的技术问题；本发明专利技术不需要借助复杂的工具，曝光基板是激光直接成像设备常用的生成材料，标定条件及过程非常简单；本发明专利技术的数字直接成像设备的对位相机本身是一个经过校准的坐标系，可以识别所曝光图形中的标记图形精确位置，曝光图形的各个位置都可以使用不同的补偿参数进行补偿；本发明专利技术补偿成本低，通过对CAM图形进行数字补偿方式，不需要额外的成本提升优化硬件系统；而且补偿自由灵活，CAM图形进行数字补偿的方式，可以根据具体需求对每个细分的区域灵活使用相似变换、仿射变换及透视变换等。变换及透视变换等。变换及透视变换等。

【技术实现步骤摘要】
一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法


[0001]本专利技术属于数字成像领域，涉及数字直接成像设备曝光图形的位置精度补偿技术，具体是一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法。

技术介绍

[0002]数字直接成像设备的曝光工作过程为：载入CAM资料，获取CAM资料的位置尺寸信息，根据数字直接成像设备的曝光坐标系曝光区域定义或根据对位相机所抓取的基板位置、旋转、缩放、错切等信息计算CAM坐标系和曝光坐标系的映射关系，曝光运动系统计算运动信息并根据CAM坐标系和曝光坐标系的映射关系投影对应的CAM资料图形；由于一些硬件或环境的客观条件限制，如曝光运动系统的定位误差、结构件的机加工误差、光路特性误差以及一些固定的系统性误差等，在基板上所曝光出来的图形位置精度必然会存在误差，作为一款精密仪器设备，精度提升一直是最重要、最难处理的问题之一。
[0003]当前的处理方式是通过提升硬件指标、提升装配管控指标等优化整机设备各个模块的误差，以期减少最终设备的累积误差，如：使用更高规格的运动控制器以提升运动系统的定位精度、使用更高规格的光路系统以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数字直接成像设备曝光图形位置精度补偿方法，其特征在于，包括：S11：选择一个带有可识别标记图形的CAM资料；通过数字直接成像设备将带有可识别标记图形的CAM资料曝光在基板上，并显示曝光图形；S12：依次抓取显现在基板上标记图形的位置信息，将位置信息转换为数字直接成像设备曝光坐标系下的坐标，标记为实际坐标信息；S13：将CAM资料内的标记图形位于CAM坐标系中的位置信息转化为数字直接成像设备曝光坐标下的坐标，标记为理想坐标信息；S14：按照期望补偿精度将曝光坐标系下的坐标列表划分成若干区域；各区域带入标记图形的理想坐标信息和实际坐标信息获取对应区域的误差数据列表；S15：将区域以及对应的误差数据列表...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩非，高明，陈修涛，董辉，
申请(专利权)人：合肥众群光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：